Atọka akoonu
1.Akopọ ati Awọn iṣẹ pataki ti FOUP
2.Itumọ ati Awọn ẹya apẹrẹ ti FOUP
3.Classification ati Awọn Itọsọna Ohun elo ti FOUP
4.Operations ati Pataki ti FOUP ni Semikondokito Manufacturing
5. Awọn italaya Imọ-ẹrọ ati Awọn aṣa Idagbasoke Ọjọ iwaju
Awọn Solusan Adani ti 6.XKH ati Atilẹyin Iṣẹ
Ninu ilana iṣelọpọ semikondokito, Pod Iṣọkan Iṣọkan Iwaju (FOUP) jẹ eiyan to ṣe pataki ti a lo fun aabo, gbigbe, ati titoju awọn wafers. Inu inu rẹ le gba awọn ege 25 ti awọn wafers 300mm, ati awọn paati akọkọ rẹ pẹlu apoti ṣiṣi iwaju ati fireemu ilẹkun igbẹhin fun ṣiṣi ati pipade. FOUP naa jẹ agbẹru mojuto ninu eto gbigbe aladaaṣe laarin awọn ohun ọṣọ wafer 12inch. Nigbagbogbo o jẹ gbigbe ni ipo pipade ati ṣiṣi nikan nigbati a ba titari si ibudo fifuye ohun elo, gbigba awọn wafer lati gbe lọ si ibudo ikojọpọ / ikojọpọ ohun elo naa.
Apẹrẹ ti FOUP ti ni ibamu si awọn ibeere agbegbe micro-. O ṣe awọn iho ni ẹhin fun ifibọ wafer, ati pe ideri jẹ apẹrẹ pataki lati baamu dimole ti ṣiṣi. Awọn roboti mimu wafer ṣiṣẹ ni agbegbe afẹfẹ mimọ Kilasi 1, ni idaniloju pe awọn wafers ko ni idoti lakoko gbigbe. Pẹlupẹlu, FOUP ti gbe laarin awọn irinṣẹ ilana nipasẹ ẹrọ mimu ohun elo adaṣe (AMHS). Awọn ile-ọṣọ wafer ode oni lo julọ awọn ọna iṣinipopada ori oke fun gbigbe, lakoko ti awọn fabs agbalagba diẹ le lo awọn ọkọ ayọkẹlẹ adaṣe adaṣe ti ilẹ (AGVs).
FOUP naa kii ṣe mu ki gbigbe wafer adaṣe ṣiṣẹ nikan ṣugbọn tun ṣe iṣẹ iṣẹ ibi ipamọ kan. Nitori awọn igbesẹ iṣelọpọ lọpọlọpọ, awọn wafers le gba awọn oṣu lati pari gbogbo sisan ilana. Ni idapọ pẹlu awọn iwọn iṣelọpọ oṣooṣu giga, eyi tumọ si pe ẹgbẹẹgbẹrun awọn wafers laarin fab kan wa nigbagbogbo ni gbigbe tabi ibi ipamọ igba diẹ ni akoko eyikeyi. Lakoko ibi ipamọ, awọn FOUPs ti wa ni mimọ lorekore pẹlu nitrogen lati ṣe idiwọ awọn contaminants lati kan si awọn wafers, ni idaniloju ilana iṣelọpọ mimọ ati igbẹkẹle.
1. Awọn iṣẹ ati Pataki ti FOUP
Išẹ akọkọ ti FOUP ni lati daabobo awọn wafer lati mọnamọna ita ati idoti, ni pataki yago fun awọn ipa lori ikore lakoko gbigbe. O ṣe idiwọ ọrinrin ni imunadoko nipasẹ awọn ọna bii mimu gaasi ati Iṣakoso Oju aye Agbegbe (LAC), aridaju awọn wafers wa ni ipo ailewu lakoko ti o n duro de igbesẹ iṣelọpọ atẹle. Eto ti o ni edidi ati iṣakoso ngbanilaaye awọn agbo ogun pataki ati awọn eroja lati wọ, ni pataki idinku awọn ipa buburu ti awọn VOC, atẹgun, ati ọrinrin lori awọn wafers.
Niwọn bi FOUP ti kojọpọ ni kikun pẹlu awọn wafers 25 le ṣe iwuwo to awọn kilo 9, gbigbe ọkọ rẹ gbọdọ dale lori Eto Imudani Ohun elo Aifọwọyi (AMHS). Lati dẹrọ eyi, FOUP ti ṣe apẹrẹ pẹlu ọpọlọpọ awọn akojọpọ ti awọn awopọ pọ, awọn pinni, ati awọn iho, ati pe o ni ipese pẹlu awọn afi itanna RFID fun idanimọ irọrun ati iyasọtọ. Mimu adaṣe adaṣe nilo fere ko si iṣẹ afọwọṣe, dinku awọn oṣuwọn aṣiṣe pupọ ati imudara aabo ati deede ti ilana iṣelọpọ.
2. Ilana ati Isọri ti FOUP
Awọn iwọn aṣoju ti FOUP jẹ isunmọ 420 mm ni iwọn, 335 mm ni ijinle, ati 335 mm ni giga. Awọn paati igbekalẹ akọkọ rẹ pẹlu: OHT oke kan (ori olu) fun gbigbe gbigbe oke; ilekun iwaju fun wiwọle wafer ẹrọ; Awọn Imudani ẹgbẹ, nigbagbogbo ni awọ lati ṣe iyatọ awọn agbegbe ilana pẹlu awọn ipele idoti oriṣiriṣi; agbegbe Kaadi fun gbigbe awọn kaadi ifiranṣẹ; ati aami RFID isalẹ ti o ṣiṣẹ bi idanimọ alailẹgbẹ fun FOUP, gbigba awọn irinṣẹ ati awọn hoists lori oke lati ṣe idanimọ rẹ. Ipilẹ naa tun ni ipese pẹlu idanimọ mẹrin ati awọn ihò ipo fun ibaramu pẹlu awọn irinṣẹ ati awọn agbegbe ilana iyatọ.
Da lori lilo, awọn FOUP ti pin si awọn oriṣi mẹta: PRD (fun iṣelọpọ), ENG (fun awọn wafers imọ-ẹrọ), ati MON (fun awọn wafers atẹle). Awọn PRD FOUPs le ṣee lo fun iṣelọpọ ọja, awọn oriṣi ENG jẹ o dara fun R&D tabi awọn adanwo, ati awọn iru MON jẹ igbẹhin si ibojuwo ilana fun awọn igbesẹ bii CMP ati DIFF. O ṣe pataki lati ṣe akiyesi pe awọn PRD FOUPs le ṣee lo fun mejeeji ENG ati awọn idi MON, ati pe awọn iru ENG le ṣee lo fun MON, ṣugbọn iṣiṣẹ yiyipada jẹ awọn eewu didara.
Ni ipin nipasẹ ipele idoti, awọn FOUP le pin si FE FOUP (ilana iwaju-ipari, irin-ọfẹ), BE FOUP (ilana ipari-ipari, ti o ni irin), ati awọn ti o ṣe amọja fun awọn ilana irin kan pato bi NI FOUP, CU FOUP, ati CO FOUP. Awọn FOUPs fun awọn ilana ti o yatọ jẹ iyasọtọ nipasẹ awọ ti awọn ọwọ ẹgbẹ tabi awọn panẹli ilẹkun. Awọn FOUP lati awọn ilana iwaju-ipari le ṣee lo ni awọn ilana ipari-ipari, ṣugbọn awọn FOUPs-ipari ko gbọdọ ṣee lo ni awọn ilana ipari-iwaju, nitori eyi yoo fa awọn eewu ibajẹ.
Gẹgẹbi olutaja bọtini ni iṣelọpọ semikondokito, FOUP, nipasẹ adaṣe giga ati iṣakoso idoti ti o muna, ṣe idaniloju aabo ati mimọ ti awọn wafers lakoko ilana iṣelọpọ, ti o jẹ ki o jẹ awọn amayederun pataki ni awọn ile-iṣẹ wafer ode oni.
Ipari
XKH ṣe adehun lati pese awọn alabara pẹlu awọn solusan Iwaju-iṣaaju Iṣọkan Iṣọkan (FOUP), ni ifaramọ ni ibamu si awọn ibeere ilana rẹ pato ati awọn alaye ni wiwo ohun elo. Lilo imọ-ẹrọ ohun elo to ti ni ilọsiwaju ati awọn ilana iṣelọpọ deede, a rii daju pe gbogbo ọja FOUP n pese ailagbara airotẹlẹ, mimọ, ati iduroṣinṣin ẹrọ. Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa ni oye ile-iṣẹ ti o jinlẹ, ti n funni ni atilẹyin igbesi aye okeerẹ — lati ijumọsọrọ yiyan ati iṣapeye igbekalẹ si mimọ ati itọju - ni idaniloju isọpọ ailopin ati ifowosowopo daradara laarin FOUP ati Eto mimu Ohun elo Aifọwọyi (AMHS) ati ohun elo iṣelọpọ. A ṣe pataki ni aabo nigbagbogbo ti awọn wafers ati imudara ti iṣelọpọ bi awọn ibi-afẹde pataki wa. Nipasẹ awọn ọja imotuntun ati awọn iṣẹ imọ-ẹrọ gbogbo, a pese iṣeduro ti o lagbara fun awọn ilana iṣelọpọ semikondokito rẹ, nikẹhin igbelaruge ṣiṣe iṣelọpọ ati ikore ọja.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹsan-08-2025