Kí ni TGV?
TGV, (Láti ọwọ́ gilasi), ìmọ̀ ẹ̀rọ láti ṣẹ̀dá àwọn ihò inú gíláàsì, Ní ṣókí, TGV jẹ́ ilé gíga kan tí ó ń gbá, ó ń kún, ó sì ń so mọ́ òkè àti ìsàlẹ̀ gíláàsì láti kọ́ àwọn àyíká tí a ti so pọ̀ sí ilẹ̀ dígí. A kà ìmọ̀ ẹ̀rọ yìí sí ìmọ̀ ẹ̀rọ pàtàkì fún ìran tí ń bọ̀ ti ìdìpọ̀ 3D.
Kí ni àwọn ànímọ́ TGV?
1. Ìṣètò: TGV jẹ́ ọ̀nà ìfàgùn tí ó ń wọ inú ihò tí a ṣe lórí àsopọ̀ dígí. Nípa fífi irin onígun mẹ́rin sí ògiri ihò náà, àwọn ìpele òkè àti ìsàlẹ̀ ti àwọn àmì iná mànàmáná ni a so pọ̀ mọ́ra.
2. Ilana iṣelọpọ: Iṣelọpọ TGV pẹlu itọju ipilẹ̀, ṣiṣe ihò, fifi ipele irin silẹ, kikun ihò ati awọn igbesẹ fifẹ. Awọn ọna iṣelọpọ ti o wọpọ ni fifọ kemikali, lilu lesa, fifi itanna ati bẹẹbẹ lọ.
3. Àwọn àǹfààní ìlò: Ní ìfiwéra pẹ̀lú irin tí a fi ń gba ihò, TGV ní àwọn àǹfààní bí ìwọ̀n kékeré, ìwọ̀n wáyà tí ó ga, iṣẹ́ ìtújáde ooru tí ó dára jù àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. A ń lò ó ní gbogbogbòò nínú àwọn ẹ̀rọ microelectronics, optoelectronics, MEMS àti àwọn ẹ̀ka ìsopọ̀pọ̀ gíga mìíràn.
4. Ìdàgbàsókè: Pẹ̀lú ìdàgbàsókè àwọn ọjà ẹ̀rọ itanna sí ìdàgbàsókè kékeré àti ìṣọ̀kan gíga, ìmọ̀ ẹ̀rọ TGV ń gba àfiyèsí àti ìlò sí i. Ní ọjọ́ iwájú, a ó máa tẹ̀síwájú láti mú kí iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́ rẹ̀ sunwọ̀n sí i, àti pé ìwọ̀n àti iṣẹ́ rẹ̀ yóò máa sunwọ̀n sí i.
Kí ni ilana TGV:
1. Ìpèsè ohun èlò dígí (a): Múra ohun èlò dígí kan sílẹ̀ ní ìbẹ̀rẹ̀ láti rí i dájú pé ojú rẹ̀ mọ́ tónítóní àti pé ó mọ́ tónítóní.
2. Lílo gíláàsì (b): A máa ń lo léṣà láti ṣe ihò ìfàmọ́ra nínú àpò dígí náà. Apá ihò náà sábà máa ń jẹ́ kọ́nẹ́ẹ̀tì, lẹ́yìn tí a bá ti tọ́jú léṣà ní apá kan, a máa ń yí i padà tí a sì máa ń ṣe é ní apá kejì.
3. Ìṣẹ̀dá ògiri ihò (c): A máa ń ṣe ìṣẹ̀dá ògiri ihò náà, nígbà gbogbo nípasẹ̀ PVD, CVD àti àwọn ọ̀nà míràn láti ṣe ìpele irúgbìn irin tí ń darí ògiri ihò náà, bíi Ti/Cu, Cr/Cu, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
4. Lithography (d): A fi photoresist bo ojú ilẹ̀ dígí náà, a sì fi photopattern bo ojú rẹ̀. Fi àwọn ẹ̀yà tí kò nílò plating hàn, kí àwọn ẹ̀yà tí ó nílò plating nìkan lè fara hàn.
5. Kíkún ihò (e): Fífi bàbà ṣe iná mànàmáná láti fi kún gíláàsì náà láti ṣe ipa ọ̀nà tí ó lè darí gbogbo nǹkan. Ó pọndandan kí ihò náà kún pátápátá láìsí ihò kankan. Ṣàkíyèsí pé Cu nínú àwòrán náà kò kún gbogbo rẹ̀.
6. Oju ilẹ pẹlẹbẹ ti ipilẹ ilẹ (f): Awọn ilana TGV kan yoo tẹ oju ilẹ gilasi ti a fi kun lati rii daju pe oju ilẹ naa jẹ didan, eyiti o ṣe iranlọwọ fun awọn igbesẹ ilana ti o tẹle.
7. Ìpele ààbò àti ìsopọ̀ ìpele (g): A ń ṣe ìpele ààbò kan (bíi polyimide) lórí ojú ilẹ̀ ìpele dígí náà.
Ni kukuru, gbogbo igbesẹ ti ilana TGV ṣe pataki ati pe o nilo iṣakoso ati imudarasi deede. A n pese imọ-ẹrọ iho gilasi TGV lọwọlọwọ ti o ba nilo. Jọwọ lero ọfẹ lati kan si wa!
(Àwọn ìwífún tí a kọ sí òkè yìí wá láti inú Íńtánẹ́ẹ̀tì, ìfòfindè)
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹfà-25-2024