Oniyebiye jẹ kirisita kan ti alumina, jẹ ti eto kirisita tripartite, eto hexagonal, eto crystal rẹ jẹ ti awọn ọta atẹgun mẹta ati awọn ọta aluminiomu meji ni iru mnu covalent, ti a ṣeto ni pẹkipẹki, pẹlu pq isunmọ to lagbara ati agbara latissi, lakoko ti o ni agbara. inu ilohunsoke ti o fẹrẹ ko si awọn aimọ tabi awọn abawọn, nitorinaa o ni idabobo itanna ti o dara julọ, akoyawo, iba ina gbigbona ti o dara ati awọn abuda rigidity giga. Ti a lo jakejado bi window opiti ati awọn ohun elo sobusitireti iṣẹ giga. Bibẹẹkọ, eto molikula ti oniyebiye jẹ eka ati pe anisotropy wa, ati pe ipa lori awọn ohun-ini ti ara ti o baamu tun yatọ pupọ fun sisẹ ati lilo awọn itọnisọna garawa oriṣiriṣi, nitorinaa lilo tun yatọ. Ni gbogbogbo, awọn sobusitireti sapphire wa ni awọn itọsọna ọkọ ofurufu C, R, A ati M.
Awọn ohun elo tiC-ofurufu oniyebiye wafer
Gallium nitride (GaN) gẹgẹbi ẹgbẹ kẹta ẹgbẹ bandgap jakejado, ni aafo ẹgbẹ taara jakejado, asopọ atomiki to lagbara, iba ina gbigbona giga, iduroṣinṣin kemikali ti o dara (o fẹrẹ jẹ pe ko ba nipasẹ eyikeyi acid) ati agbara anti-irradiation ti o lagbara, ati pe o ni awọn ireti gbooro ninu ohun elo ti optoelectronics, iwọn otutu giga ati awọn ẹrọ agbara ati awọn ẹrọ makirowefu igbohunsafẹfẹ giga. Bibẹẹkọ, nitori aaye yo giga ti GaN, o ṣoro lati gba awọn ohun elo kristali kan ti o tobi pupọ, nitorinaa ọna ti o wọpọ ni lati gbe idagbasoke heteroepitaxy lori awọn sobusitireti miiran, eyiti o ni awọn ibeere ti o ga julọ fun awọn ohun elo sobusitireti.
Akawe pẹlu awọnoniyebiye sobusitiretipẹlu awọn oju kristali miiran, iwọn aiṣedeede nigbagbogbo laarin ọkọ ofurufu C-ofurufu (<0001> Iṣalaye) wafer oniyebiye ati awọn fiimu ti a gbe sinu awọn ẹgbẹ Ⅲ-Ⅴ ati Ⅱ-Ⅵ (bii GaN) kere pupọ, ati pe aiṣedeede ibakan lattice oṣuwọn laarin awọn meji ati awọnAwọn fiimu AlNti o le ṣee lo bi fifẹ Layer jẹ paapaa kere, ati pe o pade awọn ibeere ti iwọn otutu giga ni ilana ilana crystallization GaN. Nitorina, o jẹ ohun elo sobusitireti ti o wọpọ fun idagbasoke GaN, eyiti o le ṣee lo lati ṣe awọn awọ funfun / buluu / alawọ ewe, awọn diodes laser, awọn aṣawari infurarẹẹdi ati bẹbẹ lọ.
O tọ lati darukọ pe fiimu GaN ti o dagba lori sobusitireti oniyebiye C-ofurufu dagba pẹlu ipo pola rẹ, iyẹn ni, itọsọna ti C-axis, eyiti kii ṣe ilana idagbasoke ogbo nikan ati ilana epitaxy, idiyele kekere diẹ, iduroṣinṣin ti ara ati kemikali-ini, sugbon tun dara processing iṣẹ. Awọn ọta ti C-Oorun wafer oniyebiye oniyebiye jẹ isomọ ninu eto O-al-al-o-al-O kan, lakoko ti awọn kirisita oniyebiye ti o wa ni M-Oorun ati A-Oorun ni asopọ ni al-O-al-O. Nitori Al-Al ni o ni kekere imora agbara ati alailagbara imora ju Al-O, akawe pẹlu awọn M-Oorun ati A-Oorun kirisita oniyebiye, Awọn processing ti C- oniyebiye jẹ o kun lati ṣii Al-Al bọtini, eyi ti o jẹ rọrun lati lọwọ. , ati pe o le gba didara dada ti o ga julọ, lẹhinna gba didara gallium nitride epitaxial ti o dara julọ, eyiti o le mu didara didara imọlẹ ultra-ga funfun/buluu LED dara si. Ni apa keji, awọn fiimu ti o dagba lẹgbẹẹ C-axis ni awọn ipa lẹẹkọkan ati piezoelectric polarization, ti o mu ki aaye ina mọnamọna ti inu ti o lagbara ninu awọn fiimu naa (kuantum Layer Layer ti nṣiṣe lọwọ), eyiti o dinku iṣẹ ṣiṣe itanna ti awọn fiimu GaN.
A-ofurufu oniyebiye waferohun elo
Nitori iṣẹ ṣiṣe okeerẹ rẹ ti o dara julọ, paapaa gbigbejade ti o dara julọ, okuta oniyebiye ẹyọkan le jẹki ipa ilaluja infurarẹẹdi, ati di ohun elo window aarin-infurarẹẹdi ti o dara julọ, eyiti o ti lo pupọ ni ohun elo fọtoelectric ologun. Nibiti oniyebiye kan jẹ ọkọ ofurufu pola (C ofurufu) ni itọsọna deede ti oju, jẹ oju ti kii ṣe pola. Ni gbogbogbo, didara okuta oniyebiye oniyebiye A-Oorun dara ju ti C-Oorun gara, pẹlu idinku ti o dinku, eto Mosaic ti o dinku ati ilana pipe gara, nitorinaa o ni iṣẹ gbigbe ina to dara julọ. Ni akoko kan naa, nitori awọn Al-O-Al-O atomiki mode imora on ofurufu a, awọn líle ati wọ resistance ti A-Oorun oniyebiye jẹ significantly ti o ga ju ti C-Oorun oniyebiye. Nitorina, awọn eerun A-itọnisọna ni a lo julọ bi awọn ohun elo window; Ni afikun, Sapphire tun ni igbagbogbo dielectric aṣọ ati awọn ohun-ini idabobo giga, nitorinaa o le lo si imọ-ẹrọ microelectronics arabara, ṣugbọn tun fun idagbasoke ti awọn oludari ti o dara julọ, gẹgẹbi lilo TlBaCaCuO (TbBaCaCuO), Tl-2212, idagba naa. ti orisirisi awọn fiimu superconducting epitaxial lori cerium oxide (CeO2) oniyebiye eroja sobusitireti. Sibẹsibẹ, tun nitori ti awọn ti o tobi mnu agbara ti Al-O, o jẹ diẹ soro lati ilana.
Ohun elo tiR / M ofurufu oniyebiye wafer
R-ofurufu ni awọn ti kii-pola dada ti a oniyebiye, ki awọn iyipada ninu awọn R-ofurufu ẹrọ ni a oniyebiye ẹrọ yoo fun o yatọ si darí, gbona, itanna, ati opitika-ini. Ni gbogbogbo, R-dada oniyebiye sobusitireti jẹ ayanfẹ fun ifisilẹ heteroepitaxial ti ohun alumọni, nipataki fun semikondokito, makirowefu ati microelectronics ese awọn ohun elo Circuit, ni iṣelọpọ ti asiwaju, awọn paati superconducting miiran, awọn alatako resistance giga, gallium arsenide tun le ṣee lo fun R- iru sobusitireti idagbasoke. Ni lọwọlọwọ, pẹlu olokiki ti awọn foonu smati ati awọn eto kọnputa tabulẹti, sobusitireti oniyebiye R-oju ti rọpo awọn ohun elo SAW ti o wa tẹlẹ ti a lo fun awọn foonu smati ati awọn kọnputa tabulẹti, pese sobusitireti fun awọn ẹrọ ti o le mu iṣẹ dara si.
Ti irufin ba wa, kan si paarẹ
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Keje-16-2024