Oye Jijinle ti Eto SPC ninu Iṣelọpọ Wafer

1. Àkótán nípa Ètò SPC

SPC jẹ́ ọ̀nà kan tí ó ń lo àwọn ọ̀nà ìṣirò láti ṣe àbójútó àti láti ṣàkóso àwọn ìlànà ìṣelọ́pọ́. Iṣẹ́ pàtàkì rẹ̀ ni láti ṣàwárí àwọn àìṣedéédéé nínú ìlànà ìṣelọ́pọ́ nípa gbígbà àti ṣíṣàyẹ̀wò àwọn dátà ní àkókò gidi, láti ran àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ lọ́wọ́ láti ṣe àwọn àtúnṣe àti ìpinnu ní àkókò. Ète SPC ni láti dín ìyàtọ̀ nínú ìlànà ìṣelọ́pọ́ kù, láti rí i dájú pé dídára ọjà dúró ṣinṣin àti pé ó bá àwọn ìlànà mu.

A lo SPC ninu ilana fifin si:

Ṣe àgbéyẹ̀wò àwọn pàrámítà ohun èlò pàtàkì (fún àpẹẹrẹ, ìwọ̀n etch, agbára RF, ìfúnpá yàrá, iwọn otutu, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ)

Ṣe àyẹ̀wò àwọn àmì dídára ọjà pàtàkì (fún àpẹẹrẹ, ìwọ̀n ìlà, ìjìnlẹ̀ etch, àìṣeéṣe etí, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ)

Nípa ṣíṣe àkíyèsí àwọn ìlànà wọ̀nyí, àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ lè ṣàwárí àwọn àṣà tó ń fi hàn pé iṣẹ́ ẹ̀rọ náà ti bàjẹ́ tàbí pé ó ń yà kúrò nínú iṣẹ́ náà, èyí sì ń dín iye ìfọ́kù kù.

2. Àwọn Ẹ̀yà Pàtàkì ti Ètò SPC

Eto SPC ni o ni awọn modulu pataki pupọ:

Módù Gbígbà Dátà: Ó ń kó dátà ní àkókò gidi láti inú ẹ̀rọ àti ìṣàn iṣẹ́ (fún àpẹẹrẹ, nípasẹ̀ àwọn ètò FDC, EES) ó sì ń kọ àwọn pàrámítà pàtàkì àti àwọn àbájáde iṣẹ́.

Modulu Àtẹ Ìṣàkóso: Lo àwọn àtẹ ìṣàkóṣo ìṣirò (fún àpẹẹrẹ, àtẹ X-Bar, àtẹ R, àtẹ Cp/Cpk) láti fojú inú wo ìdúróṣinṣin ìlànà àti láti rànlọ́wọ́ láti mọ̀ bóyá ìlànà náà wà ní ìkáwọ́.

Ètò Ìkìlọ̀: Ó máa ń fa ìkìlọ̀ nígbà tí àwọn ìlànà pàtàkì bá kọjá ààlà ìṣàkóso tàbí tí wọ́n bá ń fi àwọn ìyípadà àṣà hàn, èyí sì máa ń mú kí àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ gbé ìgbésẹ̀.

Módù Ìṣàyẹ̀wò àti Ìròyìn: Ó ń ṣe àyẹ̀wò ìdí pàtàkì ti àwọn àìṣedéédéé nípa lílo àwọn àtẹ SPC, ó sì ń ṣe àwọn ìròyìn ìṣe fún ìlànà àti ohun èlò déédéé.

3. Àlàyé Àlàyé Nípa Àwọn Àwòrán Ìṣàkóso Nínú SPC

Àtẹ ìṣàkóso jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn irinṣẹ́ tí a sábà máa ń lò jùlọ nínú SPC, tí ó ń ran lọ́wọ́ láti ṣe ìyàtọ̀ láàrín "ìyípadà déédé" (tí àwọn ìyàtọ̀ ìlànà àdánidá ń fà) àti "ìyípadà tí kò dára" (tí ìkùnà ẹ̀rọ tàbí ìyàtọ̀ ìlànà ń fà). Àtẹ ìṣàkóso tí ó wọ́pọ̀ ní nínú rẹ̀:

Àtẹ X-Bar àti R: A lò ó láti ṣe àyẹ̀wò àròpọ̀ àti ìwọ̀n láàárín àwọn ìṣètò láti kíyèsí bóyá ìlànà náà dúró ṣinṣin.

Àwọn Àmì Cp àti Cpk: A lò ó láti wọn agbára iṣẹ́, ìyẹn ni pé, bóyá àbájáde iṣẹ́ náà lè bá àwọn ìbéèrè pàtó mu nígbà gbogbo. Cp ń wọn agbára tó ṣeé ṣe, nígbà tí Cpk ń wo ìyàtọ̀ àárín iṣẹ́ náà láti àwọn ààlà pàtó.

Fún àpẹẹrẹ, nínú ìlànà ìfọṣọ, o lè ṣe àkíyèsí àwọn pàrámítà bíi ìwọ̀n ìfọṣọ àti ìfọṣọ ojú ilẹ̀. Tí ìwọ̀n ìfọṣọ ti ohun èlò kan bá ju ààlà ìṣàkóso lọ, o lè lo àwọn àtẹ ìṣàkóso láti mọ̀ bóyá èyí jẹ́ ìyàtọ̀ àdánidá tàbí àmì àìṣiṣẹ́ ẹ̀rọ.

4. Lilo SPC ninu Erọ Egbin

Nínú ilana ìfọṣọ, ìṣàkóso àwọn ìlànà ohun èlò ṣe pàtàkì, àti SPC ń ran lọ́wọ́ láti mú ìdúróṣinṣin ilana pọ̀ sí i ní àwọn ọ̀nà wọ̀nyí:

Àbójútó Ipò Ohun Èlò: Àwọn ètò bíi FDC ń kó ìwífún ní àkókò gidi jọ lórí àwọn pàrámítà pàtàkì ti ohun èlò ìfọṣọ (fún àpẹẹrẹ, agbára RF, ìṣàn gaasi) wọ́n sì ń so ìwífún yìí pọ̀ mọ́ àwọn àtẹ ìṣàkóso SPC láti ṣàwárí àwọn ìṣòro ohun èlò tó lè ṣẹlẹ̀. Fún àpẹẹrẹ, tí o bá rí i pé agbára RF lórí àtẹ ìṣàkóso ń yí padà díẹ̀díẹ̀ láti iye tí a ṣètò, o lè gbé ìgbésẹ̀ ní ìbẹ̀rẹ̀ fún àtúnṣe tàbí ìtọ́jú láti yẹra fún ipa lórí dídára ọjà.

Àbójútó Dídára Ọjà: O tún le tẹ àwọn pàrámítà dídára ọjà pàtàkì (fún àpẹẹrẹ, ìjìnlẹ̀ etch, ìbúdó ìlà) sínú ètò SPC láti ṣe àkíyèsí ìdúróṣinṣin wọn. Tí àwọn àmì ọjà pàtàkì kan bá yípadà díẹ̀díẹ̀ láti inú àwọn iye tí a fẹ́ fojú sí, ètò SPC yóò fúnni ní ìkìlọ̀, èyí tí yóò fi hàn pé a nílò àtúnṣe sí iṣẹ́ náà.

Ìtọ́jú Ìdènà (PM): SPC le ṣe iranlọwọ lati mu iyipo itọju idena dara si fun awọn ohun elo. Nipa itupalẹ data igba pipẹ lori iṣẹ ẹrọ ati awọn abajade ilana, o le pinnu akoko ti o dara julọ fun itọju ohun elo. Fun apẹẹrẹ, nipa ṣiṣe abojuto agbara RF ati igbesi aye ESC, o le pinnu nigbati o nilo mimọ tabi rirọpo awọn paati, dinku awọn oṣuwọn ikuna ohun elo ati akoko idaduro iṣelọpọ.

5. Àwọn ìmọ̀ràn fún lílo ojoojúmọ́ fún Ètò SPC

Nigbati o ba nlo eto SPC ni awọn iṣẹ ojoojumọ, awọn igbesẹ wọnyi le tẹle:

Ṣàlàyé Àwọn Pílánẹ́ẹ̀tì Ìṣàkóso Pàtàkì (KPI): Ṣe àwárí àwọn pílánẹ́ẹ̀tì pàtàkì jùlọ nínú ìlànà iṣẹ́-ṣíṣe kí o sì fi wọ́n sínú ìṣàyẹ̀wò SPC. Àwọn pílánẹ́ẹ̀tì wọ̀nyí yẹ kí ó ní ìbáṣepọ̀ pẹ̀lú dídára ọjà àti iṣẹ́ ẹ̀rọ.

Ṣètò Ààlà Ìṣàkóso àti Ààlà Ìkìlọ̀: Ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ìwádìí ìtàn àti àwọn ohun tí a nílò nípa ìlànà, ṣètò àwọn ààlà ìṣàkóso àti ààlà ìkìlọ̀ tó bójú mu fún gbogbo pàrámítà. A sábà máa ń ṣètò àwọn ààlà ìṣàkóso ní ±3σ (àwọn ìyàtọ̀ tó wọ́pọ̀), nígbà tí àwọn ààlà ìkìlọ̀ dá lórí àwọn ipò pàtó ti ìlànà àti ohun èlò.

Àbójútó àti Ìṣàyẹ̀wò Lẹ́ẹ̀kan síi: Ṣe àtúnyẹ̀wò àwọn àtẹ ìṣàkóso SPC déédéé láti ṣe àtúpalẹ̀ àwọn ìyípadà dátà àti àwọn ìyípadà. Tí àwọn ààlà kan bá kọjá ààlà ìṣàkóso, a nílò ìgbésẹ̀ lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀, bíi ṣíṣe àtúnṣe àwọn ààlà ohun èlò tàbí ṣíṣe àtúnṣe ohun èlò.

Ìtọ́jú Àìdọ́gba àti Ìṣàyẹ̀wò Okùnfà Àrùn: Nígbà tí àìdọ́gba bá ṣẹlẹ̀, ètò SPC máa ń kọ ìròyìn nípa ìṣẹ̀lẹ̀ náà sílẹ̀. O nílò láti yanjú ìṣòro náà kí o sì ṣàyẹ̀wò ohun tó fa àìdọ́gba náà ní ìbámu pẹ̀lú ìwífún yìí. Ó ṣeé ṣe láti so àwọn dátà láti inú àwọn ètò FDC, àwọn ètò EES, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ pọ̀, láti ṣàyẹ̀wò bóyá ìṣòro náà jẹ́ nítorí àìṣiṣẹ́ ẹ̀rọ, ìyàtọ̀ nínú iṣẹ́, tàbí àwọn ohun tó ń fa àyíká láti òde.

Ìdàgbàsókè Tó Ń Tẹ̀síwájú: Nípa lílo àwọn ìwádìí ìtàn tí ètò SPC kọ sílẹ̀, ṣàwárí àwọn ibi tí kò lágbára nínú ìlànà náà kí o sì dábàá àwọn ètò ìdàgbàsókè. Fún àpẹẹrẹ, nínú ìlànà ìfọṣọ, ṣàyẹ̀wò ipa tí ìgbé ayé ESC àti ọ̀nà ìwẹ̀nùmọ́ rẹ̀ ní lórí àwọn àkókò ìtọ́jú ohun èlò àti mú kí àwọn ìlànà iṣẹ́ ohun èlò sunwọ̀n síi.

6. Ọ̀ràn Ìlò Tó Wúlò

Fún àpẹẹrẹ tó wúlò, ká sọ pé ìwọ ni o ni ẹrù iṣẹ́ fún ohun èlò ìfọṣọ E-MAX, àti pé cathode yàrá náà ń ní ìrírí ìbàjẹ́ tí kò tó, èyí tó ń yọrí sí ìbísí nínú àwọn iye D0 (BARC defect). Nípa ṣíṣàkíyèsí agbára RF àti ìwọ̀n etch nípasẹ̀ ètò SPC, o kíyèsí àṣà kan níbi tí àwọn pàrámítà wọ̀nyí ti ń yà kúrò nínú àwọn iye tí a ṣètò wọn díẹ̀díẹ̀. Lẹ́yìn tí a bá ti fa ìkìlọ̀ SPC, o máa ń kó àwọn dátà láti inú ètò FDC jọ, o sì máa ń pinnu pé ìṣàkóṣo ooru tí kò dúró ṣinṣin nínú yàrá náà ló fa ìṣòro náà. Lẹ́yìn náà, o máa ń lo àwọn ọ̀nà ìwẹ̀nùmọ́ àti àwọn ọgbọ́n ìtọ́jú tuntun, nígbẹ̀yìn-gbẹ́yín, o máa ń dín iye D0 kù láti 4.3 sí 2.4, èyí á sì mú kí dídára ọjà sunwọ̀n sí i.

7.Nínú XINKEHUI o lè rí i.

Ní XINKEHUI, o le ṣe àṣeyọrí wafer pípé, yálà ó jẹ́ wafer silicon tàbí wafer SiC. A ṣe àṣeyọrí nínú pípèsè wafers tó dára jùlọ fún onírúurú iṣẹ́, a sì ń dojúkọ ìṣe déédé àti ìṣe.