Oye ti o jinlẹ ti Eto SPC ni Ṣiṣẹpọ Wafer

1. Akopọ ti SPC System

SPC jẹ ọna ti o nlo awọn ilana iṣiro lati ṣe atẹle ati ṣakoso awọn ilana iṣelọpọ. Iṣe pataki rẹ ni lati ṣe awari awọn aiṣedeede ninu ilana iṣelọpọ nipasẹ ikojọpọ ati itupalẹ data akoko gidi, iranlọwọ awọn onimọ-ẹrọ ṣe awọn atunṣe akoko ati awọn ipinnu. Ibi-afẹde ti SPC ni lati dinku iyatọ ninu ilana iṣelọpọ, aridaju didara ọja wa ni iduroṣinṣin ati pade awọn pato.

A lo SPC ninu ilana etching lati:

Bojuto awọn ohun elo to ṣe pataki (fun apẹẹrẹ, oṣuwọn etch, agbara RF, titẹ iyẹwu, iwọn otutu, ati bẹbẹ lọ)

Ṣe itupalẹ awọn itọka didara ọja bọtini (fun apẹẹrẹ, ila laini, ijinle etch, aibikita eti, ati bẹbẹ lọ)

Nipa mimojuto awọn aye wọnyi, awọn onimọ-ẹrọ le rii awọn aṣa ti n tọka ibajẹ iṣẹ ṣiṣe ohun elo tabi awọn iyapa ninu ilana iṣelọpọ, nitorinaa idinku awọn oṣuwọn alokuirin.

2. Awọn ohun elo ipilẹ ti Eto SPC

Eto SPC ni ọpọlọpọ awọn modulu bọtini:

Module Gbigba Data: Gba data akoko gidi lati ẹrọ ati awọn ṣiṣan ilana (fun apẹẹrẹ, nipasẹ FDC, awọn eto EES) ati ṣe igbasilẹ awọn aye pataki ati awọn abajade iṣelọpọ.

Module Chart Iṣakoso: Nlo awọn shatti iṣakoso iṣiro (fun apẹẹrẹ, X-Bar chart, R chart, Cp/Cpk chart) lati wo iduroṣinṣin ilana ati iranlọwọ pinnu boya ilana naa wa ni iṣakoso.

Eto Itaniji: Awọn itaniji nfa nigbati awọn paramita to ṣe pataki kọja awọn opin iṣakoso tabi ṣafihan awọn ayipada aṣa, nfa awọn onimọ-ẹrọ lati ṣe iṣe.

Itupalẹ ati Modulu Ijabọ: Ṣe itupalẹ idi ipilẹ ti awọn aiṣedeede ti o da lori awọn shatti SPC ati nigbagbogbo n ṣe awọn ijabọ iṣẹ ṣiṣe fun ilana ati ẹrọ.

3. Alaye alaye ti Awọn shatti Iṣakoso ni SPC

Awọn shatti iṣakoso jẹ ọkan ninu awọn irinṣẹ ti o wọpọ julọ ni SPC, ṣe iranlọwọ lati ṣe iyatọ laarin “iyipada deede” (eyiti o fa nipasẹ awọn iyatọ ilana adayeba) ati “iyatọ ajeji” (ti o fa nipasẹ awọn ikuna ohun elo tabi awọn iyapa ilana). Awọn shatti iṣakoso ti o wọpọ pẹlu:

X-Bar ati R Charts: Ti a lo lati ṣe atẹle iwọn ati iwọn laarin awọn ipele iṣelọpọ lati ṣe akiyesi ti ilana naa ba jẹ iduroṣinṣin.

Awọn atọka Cp ati Cpk: Ti a lo lati wiwọn agbara ilana, ie, boya iṣelọpọ ilana le ṣe deede awọn ibeere sipesifikesonu. Cp ṣe iwọn agbara ti o pọju, lakoko ti Cpk ṣe akiyesi iyapa ti ile-iṣẹ ilana lati awọn opin sipesifikesonu.

Fun apẹẹrẹ, ninu ilana etching, o le ṣe atẹle awọn paramita bii oṣuwọn etch ati aibikita oju. Ti o ba jẹ pe oṣuwọn etch ti nkan elo kan ti kọja opin iṣakoso, o le lo awọn shatti iṣakoso lati pinnu boya eyi jẹ iyatọ adayeba tabi itọkasi ti aiṣedeede ohun elo.

4. Ohun elo ti SPC ni Etching Equipment

Ninu ilana etching, iṣakoso awọn paramita ohun elo jẹ pataki, ati SPC ṣe iranlọwọ ilọsiwaju iduroṣinṣin ilana ni awọn ọna atẹle:

Abojuto Ipo Ohun elo: Awọn ọna ṣiṣe bii FDC n gba data akoko gidi lori awọn ipilẹ bọtini ti ohun elo etching (fun apẹẹrẹ, agbara RF, ṣiṣan gaasi) ati ṣajọpọ data yii pẹlu awọn shatti iṣakoso SPC lati ṣawari awọn ọran ohun elo ti o pọju. Fun apẹẹrẹ, ti o ba rii pe agbara RF lori chart iṣakoso kan n yapa diẹdiẹ lati iye ti a ṣeto, o le ṣe igbese ni kutukutu fun atunṣe tabi itọju lati yago fun ni ipa lori didara ọja.

Abojuto Didara Ọja: O tun le tẹ awọn ipilẹ didara ọja bọtini (fun apẹẹrẹ, ijinle etch, laini ila) sinu eto SPC lati ṣe atẹle iduroṣinṣin wọn. Ti diẹ ninu awọn afihan ọja to ṣe pataki ni diėdiė yapa kuro ninu awọn iye ibi-afẹde, eto SPC yoo fun itaniji kan, nfihan pe awọn atunṣe ilana nilo.

Itọju Idena (PM): SPC le ṣe iranlọwọ lati mu iwọn itọju idena fun ohun elo. Nipa itupalẹ data igba pipẹ lori iṣẹ ẹrọ ati awọn abajade ilana, o le pinnu akoko ti o dara julọ fun itọju ohun elo. Fun apẹẹrẹ, nipa mimojuto agbara RF ati igbesi aye ESC, o le pinnu nigbati mimọ tabi rirọpo paati nilo, idinku awọn oṣuwọn ikuna ohun elo ati idinku akoko iṣelọpọ.

5. Awọn imọran Lilo ojoojumọ fun Eto SPC

Nigbati o ba nlo eto SPC ni awọn iṣẹ ojoojumọ, awọn igbesẹ wọnyi le tẹle:

Ṣetumo Awọn Ilana Iṣakoso Koko (KPI): Ṣe idanimọ awọn aye pataki julọ ninu ilana iṣelọpọ ati pẹlu wọn ninu ibojuwo SPC. Awọn paramita wọnyi yẹ ki o ni ibatan pẹkipẹki si didara ọja ati iṣẹ ṣiṣe ẹrọ.

Ṣeto Awọn idiwọn Iṣakoso ati Awọn opin Itaniji: Da lori data itan ati awọn ibeere ilana, ṣeto awọn opin iṣakoso oye ati awọn opin itaniji fun paramita kọọkan. Awọn ifilelẹ iṣakoso ni a ṣeto nigbagbogbo ni ± 3σ (awọn iyapa boṣewa), lakoko ti awọn opin itaniji da lori awọn ipo pataki ti ilana ati ẹrọ.

Abojuto Ilọsiwaju ati Itupalẹ: Ṣe atunyẹwo nigbagbogbo awọn shatti iṣakoso SPC lati ṣe itupalẹ awọn aṣa data ati awọn iyatọ. Ti diẹ ninu awọn paramita ba kọja awọn opin iṣakoso, igbese lẹsẹkẹsẹ ni a nilo, gẹgẹbi ṣiṣe atunṣe awọn paramita ohun elo tabi ṣiṣe itọju ohun elo.

Mimu Aiṣedeede ati Itupalẹ Idi Gbongbo: Nigbati ohun ajeji ba waye, eto SPC ṣe igbasilẹ alaye alaye nipa iṣẹlẹ naa. O nilo lati ṣe laasigbotitusita ati itupalẹ idi root ti aiṣedeede ti o da lori alaye yii. Nigbagbogbo o ṣee ṣe lati darapo data lati awọn eto FDC, awọn eto EES, ati bẹbẹ lọ, lati ṣe itupalẹ boya ọran naa jẹ nitori ikuna ohun elo, iyapa ilana, tabi awọn ifosiwewe ayika ita.

Ilọsiwaju Ilọsiwaju: Lilo data itan ti o gbasilẹ nipasẹ eto SPC, ṣe idanimọ awọn aaye ailagbara ninu ilana ati gbero awọn ero ilọsiwaju. Fun apẹẹrẹ, ninu ilana etching, ṣe itupalẹ ipa ti igbesi aye ESC ati awọn ọna mimọ lori awọn akoko itọju ohun elo ati mu awọn aye ṣiṣe ohun elo ṣiṣẹ nigbagbogbo.

6. Ohun elo ti o wulo

Gẹgẹbi apẹẹrẹ ti o wulo, ṣebi pe o ni iduro fun ohun elo etching E-MAX, ati pe chamber cathode n ni iriri yiya ti tọjọ, ti o yori si ilosoke ninu awọn iye D0 (aṣiṣe BARC). Nipa mimojuto agbara RF ati oṣuwọn etch nipasẹ eto SPC, o ṣe akiyesi aṣa kan nibiti awọn paramita wọnyi maa yapa lati awọn iye ṣeto wọn. Lẹhin ti itaniji SPC ti nfa, o darapọ data lati eto FDC ki o pinnu pe ọran naa jẹ nitori iṣakoso iwọn otutu ti ko duro ni inu iyẹwu naa. Lẹhinna o ṣe awọn ọna mimọ titun ati awọn ilana itọju, nikẹhin dinku iye D0 lati 4.3 si 2.4, nitorinaa imudarasi didara ọja.

7.In XINKEHUI o le gba.

Ni XINKEHUI, o le ṣaṣeyọri wafer pipe, boya o jẹ wafer silikoni tabi wafer SiC kan. A ṣe amọja ni jiṣẹ awọn wafers ti o ga julọ fun ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ, ni idojukọ lori pipe ati iṣẹ ṣiṣe.