Silicon carbide (SiC), gẹgẹbi iru ohun elo aafo ẹgbẹ jakejado, ṣe ipa pataki ti o pọ si ni ohun elo ti imọ-jinlẹ ati imọ-ẹrọ ode oni. Ohun alumọni carbide ni iduroṣinṣin igbona ti o dara julọ, ifarada aaye ina mọnamọna giga, ifaramọ ifarakanra ati awọn ohun-ini ti o dara julọ ti ara ati opiti, ati pe o lo pupọ ni awọn ẹrọ optoelectronic ati awọn ẹrọ oorun. Nitori ibeere ti n pọ si fun awọn ẹrọ itanna ti o munadoko diẹ sii ati iduroṣinṣin, mimu imọ-ẹrọ idagbasoke ti ohun alumọni carbide ti di aaye ti o gbona.
Nitorinaa melo ni o mọ nipa ilana idagbasoke SiC?
Loni a yoo jiroro awọn ilana akọkọ mẹta fun idagba ti awọn kirisita ohun alumọni carbide ẹyọkan: gbigbe ọkọ oju omi ti ara (PVT), epitaxy alakoso omi (LPE), ati ifisilẹ ikemii otutu otutu giga (HT-CVD).
Ọna Gbigbe Ooru Ti ara (PVT)
Ọna gbigbe ọru ti ara jẹ ọkan ninu awọn ilana idagbasoke ohun alumọni carbide julọ ti a lo julọ. Idagba ti ohun alumọni ohun alumọni carbide jẹ o kun dale lori sublimation ti sic lulú ati atunkọ lori irugbin gara labẹ awọn ipo iwọn otutu giga. Ni kan titi lẹẹdi crucible, awọn ohun alumọni carbide lulú ti wa ni kikan si ga otutu, nipasẹ awọn iṣakoso ti otutu iwọn otutu, awọn ohun alumọni carbide nya condenses lori dada ti awọn irugbin gara, ati ki o maa dagba kan ti o tobi iwọn nikan gara.
Pupọ julọ ti SiC monocrystalline ti a pese lọwọlọwọ ni a ṣe ni ọna idagbasoke yii. O tun jẹ ọna akọkọ ni ile-iṣẹ naa.
Epitaxy alakoso olomi (LPE)
Awọn kirisita carbide ti alumọni ti pese sile nipasẹ apọju alakoso omi nipasẹ ilana idagbasoke gara ni wiwo olomi-lile. Ni ọna yii, ohun alumọni carbide lulú ti wa ni tituka ni ohun alumọni-erogba ojutu ni iwọn otutu ti o ga, ati lẹhinna iwọn otutu ti wa ni isalẹ ki ohun alumọni carbide ti wa ni ipoduduro lati ojutu ati dagba lori awọn kirisita irugbin. Anfani akọkọ ti ọna LPE ni agbara lati gba awọn kirisita ti o ni agbara giga ni iwọn otutu idagbasoke kekere, idiyele jẹ iwọn kekere, ati pe o dara fun iṣelọpọ iwọn-nla.
Isọsọ Ọru Kemikali otutu giga (HT-CVD)
Nipa iṣafihan gaasi ti o ni ohun alumọni ati erogba sinu iyẹwu ifaseyin ni iwọn otutu ti o ga, Layer okuta kan ti ohun alumọni carbide ti wa ni ipamọ taara lori dada ti kristali irugbin nipasẹ iṣesi kemikali. Awọn anfani ti ọna yii ni pe oṣuwọn sisan ati awọn ipo ifaseyin ti gaasi le jẹ iṣakoso ni deede, nitorinaa lati gba okuta momọ carbide silikoni pẹlu mimọ giga ati awọn abawọn diẹ. Ilana HT-CVD le ṣe awọn kirisita carbide silikoni pẹlu awọn ohun-ini to dara julọ, eyiti o niyelori pataki fun awọn ohun elo nibiti awọn ohun elo ti o ga julọ ti nilo.
Ilana idagbasoke ti ohun alumọni carbide jẹ okuta igun-ile ti ohun elo ati idagbasoke rẹ. Nipasẹ ĭdàsĭlẹ imọ-ẹrọ ti nlọsiwaju ati iṣapeye, awọn ọna idagbasoke mẹta wọnyi ṣe awọn ipa wọn lati pade awọn iwulo ti awọn iṣẹlẹ oriṣiriṣi, ni idaniloju ipo pataki ti ohun alumọni carbide. Pẹlu jinlẹ ti iwadii ati ilọsiwaju imọ-ẹrọ, ilana idagbasoke ti awọn ohun elo carbide silikoni yoo tẹsiwaju lati wa ni iṣapeye, ati pe iṣẹ awọn ẹrọ itanna yoo ni ilọsiwaju siwaju sii.
(iwoye)
Akoko ifiweranṣẹ: Jun-23-2024