Ohun èlò amúlétutù Silicon carbide (SiC), gẹ́gẹ́ bí irú ohun èlò amúlétutù àlàfo onípele, ń kó ipa pàtàkì nínú lílo ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì àti ìmọ̀ ẹ̀rọ òde òní. Silicon carbide ní ìdúróṣinṣin ooru tó dára, ìfaradà pápá iná mànàmáná gíga, ìṣiṣẹ́ amúlétutù àti àwọn ohun ìní ara àti opitika tó tayọ mìíràn, a sì ń lò ó fún àwọn ẹ̀rọ optoelectronic àti àwọn ẹ̀rọ oòrùn. Nítorí pé ìbéèrè fún àwọn ẹ̀rọ itanna tó gbéṣẹ́ jù àti tó dúró ṣinṣin ń pọ̀ sí i, mímọ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìdàgbàsókè silicon carbide ti di ibi tó gbajúmọ̀.
Nítorí náà, báwo ni o ṣe mọ̀ nípa ìlànà ìdàgbàsókè SiC?
Lónìí, a ó jíròrò àwọn ọ̀nà pàtàkì mẹ́ta fún ìdàgbàsókè àwọn kirisita silikoni carbide kan ṣoṣo: physical vapor transport (PVT), liquid phase epitaxy (LPE), àti high temperature chemical vapor deposition (HT-CVD).
Ọ̀nà Gbígbé Afẹ́fẹ́ Tí A Fíṣe (PVT)
Ọ̀nà ìyípadà afẹ́fẹ́ ara jẹ́ ọ̀kan lára àwọn ìlànà ìdàgbàsókè afẹ́fẹ́ ara tí a sábà máa ń lò jùlọ. Ìdàgbàsókè afẹ́fẹ́ ara ...
Ọ̀pọ̀lọpọ̀ SiC monocrystalline tí a ń pèsè lọ́wọ́lọ́wọ́ ni a ṣe ní ọ̀nà ìdàgbàsókè yìí. Ó tún jẹ́ ọ̀nà pàtàkì nínú iṣẹ́ náà.
Epitaxy ìpele omi (LPE)
Àwọn kirisita silikon carbide ni a ń pèsè nípasẹ̀ ìpele omi epitaxy nípasẹ̀ ìlànà ìdàgbàsókè kirisita ní ìsopọ̀ solid-liquid. Nínú ọ̀nà yìí, a máa ń yọ́ lulú silikon carbide nínú omi silikon-carbon ní iwọ̀n otútù gíga, lẹ́yìn náà a máa ń dín iwọ̀n otútù náà kù kí silikon carbide náà lè jáde láti inú omi náà kí ó sì dàgbàsókè lórí àwọn kirisita irugbin. Àǹfààní pàtàkì ti ọ̀nà LPE ni agbára láti rí àwọn kirisita tó dára ní iwọ̀n otútù ìdàgbàsókè tó kéré, owó tí wọ́n ná kò pọ̀, ó sì yẹ fún iṣẹ́ ọnà tó pọ̀.
Ìtújáde Afẹ́fẹ́ Kẹ́míkà ní iwọ̀n otútù gíga (HT-CVD)
Nípa fífi gáàsì tí ó ní sílíkọ́nì àti erogba sínú yàrá ìṣesí ní iwọ̀n otútù gíga, a máa gbé ìpele kírísítà kan ṣoṣo ti sílíkọ́nì káàbídì síta tààrà sí ojú kírísítà irúgbìn nípasẹ̀ ìṣesí kẹ́míkà. Àǹfààní ọ̀nà yìí ni pé a lè ṣàkóso ìwọ̀n ìṣàn àti ipò ìṣesí ti gaasi náà dáadáa, kí a lè rí kírísítà sílíkọ́nì káàbídì sílíkọ́nì pẹ̀lú ìwẹ̀nùmọ́ gíga àti àwọn àbùkù díẹ̀. Ìlànà HT-CVD lè ṣe àwọn kírísítà sílíkọ́nì káàbídì sílíkọ́nì pẹ̀lú àwọn ànímọ́ tó dára, èyí tó ṣe pàtàkì fún lílò níbi tí a ti nílò àwọn ohun èlò tó ga jùlọ.
Ìlànà ìdàgbàsókè ti silicon carbide ni ipilẹ̀ ìlò àti ìdàgbàsókè rẹ̀. Nípasẹ̀ ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ àti ìmúdàgbàsókè tí ń bá a lọ, àwọn ọ̀nà ìdàgbàsókè mẹ́ta wọ̀nyí ń kó ipa tiwọn láti bá àìní àwọn ìṣẹ̀lẹ̀ ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀ mu, ní rírí i dájú pé silicon carbide jẹ́ pàtàkì. Pẹ̀lú ìwádìí àti ìlọsíwájú ìmọ̀-ẹ̀rọ jinlẹ̀ sí i, ìlànà ìdàgbàsókè ti àwọn ohun èlò silicon carbide yóò máa bá a lọ láti jẹ́ kí ó dára sí i, àti pé iṣẹ́ àwọn ẹ̀rọ itanna yóò túbọ̀ sunwọ̀n sí i.
(ìfọwọ́sowọ́pọ̀)
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹfà-23-2024