Àwọn ìpele kírísítàlì àti ìtọ́sọ́nà kírísítàlì jẹ́ àwọn èrò pàtàkì méjì nínú kírísítàlì, tí ó ní í ṣe pẹ̀lú ìṣètò kírísítàlì nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ tí a fi sílíkọ́nì ṣe.
1. Ìtumọ̀ àti Àwọn Ohun-ìní Ìtọ́sọ́nà Kírísítà
Ìtọ́sọ́nà kirisita dúró fún ìtọ́sọ́nà pàtó kan láàrín kirisita, tí a sábà máa ń fi àwọn àmì ìtọ́sọ́nà kirisita hàn. Ìtọ́sọ́nà kirisita ni a ń túmọ̀ nípa sísopọ̀ àwọn àmì ìtọ́sọ́nà méjì láàrín ìṣètò kirisita, ó sì ní àwọn ànímọ́ wọ̀nyí: ìtọ́sọ́nà kirisita kọ̀ọ̀kan ní iye àìlópin ti àwọn àmì ìtọ́sọ́nà kirisita; ìtọ́sọ́nà kirisita kan ṣoṣo lè ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìtọ́sọ́nà kirisita tí ó para pọ̀ tí ó ń ṣe ìdílé ìtọ́sọ́nà kirisita; ìdílé ìtọ́sọ́nà kirisita bo gbogbo àwọn àmì ìtọ́sọ́nà kirisita náà láàrín kirisita náà.
Pàtàkì ìtọ́sọ́nà kírísítàlì wà nínú fífi ìtòlẹ́sẹẹsẹ ìtọ́sọ́nà àwọn átọ̀mù láàrín kírísítàlì náà hàn. Fún àpẹẹrẹ, ìtọ́sọ́nà kírísítàlì [111] dúró fún ìtọ́sọ́nà pàtó kan níbi tí àwọn ìpíndọ́gba ìtọ́sọ́nà àwọn àáké ìṣọ̀kan mẹ́ta náà jẹ́ 1:1:1.
2. Ìtumọ̀ àti Àwọn Ohun Ànímọ́ Àwọn Pẹpẹ Kírísítà
Pẹ́lẹ́ẹ̀tì kírísítàlì jẹ́ ètò atọ́mù nínú kírísítàlì, tí àwọn àmì ìpele kírísítàlì dúró fún (àmì Miller). Fún àpẹẹrẹ, (111) fihàn pé àwọn ìdàpọ̀ àwọn ìdènà ti pẹ́lẹ́ẹ̀tì kírísítàlì lórí àwọn àáké ìṣọ̀kan wà ní ìpíndọ́gba 1:1:1. Pẹ́lẹ́ẹ̀tì kírísítàlì ní àwọn ànímọ́ wọ̀nyí: pẹ́lẹ́ẹ̀tì kírísítàlì kọ̀ọ̀kan ní iye àìlópin ti àwọn àmì ìpele; pẹ́lẹ́ẹ̀tì kírísítàlì kọ̀ọ̀kan ní iye àìlópin ti àwọn pẹ́lẹ́ẹ̀tì onípele tí ó ń ṣe ìdílé pẹ́lẹ́ẹ̀tì kírísítàlì kan; ìdílé pẹ́lẹ́ẹ̀tì kírísítàlì bo gbogbo kírísítàlì náà.
Ìpinnu àwọn àmì Miller níí ṣe pẹ̀lú gbígba àwọn àmì ìdábùú ti àmì ìdábùú kristali lórí ìlà ìṣọ̀kan kọ̀ọ̀kan, wíwá àwọn àmì ìdábùú wọn, àti yíyípadà wọn sí ìpíndọ́gba odidi tó kéré jùlọ. Fún àpẹẹrẹ, àmì ìdábùú kristali (111) ní àwọn àmì ìdábùú lórí àwọn àmì x, y, àti z nínú ìpíndọ́gba 1:1:1.
3. Àjọṣepọ̀ Láàárín Àwọn Pẹ́lẹ́ẹ̀tì Kírísítàlì àti Ìtọ́sọ́nà Kírísítàlì
Àwọn ìpele kírísítàlì àti ìtọ́sọ́nà kírísítàlì jẹ́ ọ̀nà méjì tí ó yàtọ̀ síra láti fi ṣàpèjúwe ìṣètò onípele-ẹ̀rọ kírísítàlì. Ìtọ́sọ́nà kírísítàlì tọ́ka sí ìtò àwọn átọ̀mù ní ìtọ́sọ́nà pàtó kan, nígbà tí ìpele kírísítàlì tọ́ka sí ìtò àwọn átọ̀mù lórí ìpele pàtó kan. Àwọn méjèèjì yìí ní ìbáramu kan, ṣùgbọ́n wọ́n dúró fún àwọn èrò ara tí ó yàtọ̀ síra.
Ìbáṣepọ̀ pàtàkì: Fẹ́kítà déédé ti ìpele kírísítàlì (ìyẹn ni pé, fẹ́kítà tí ó dúró ní ìpele yẹn) bá ìpele kírísítàlì mu. Fún àpẹẹrẹ, fẹ́kítà déédé ti ìpele kírísítàlì (111) bá ìpele kírísítàlì [111] mu, èyí tí ó túmọ̀ sí wípé ìṣètò átọ̀mù ní ìtọ́sọ́nà [111] dúró ní ìpele náà.
Nínú àwọn ìlànà semiconductor, yíyan àwọn planes kristal ní ipa lórí iṣẹ́ ẹ̀rọ náà gidigidi. Fún àpẹẹrẹ, nínú àwọn semiconductor tí a fi silicon ṣe, àwọn planes kristal tí a sábà máa ń lò ni planes (100) àti (111) nítorí pé wọ́n ní àwọn ètò atomu àti àwọn ọ̀nà ìsopọ̀ tó yàtọ̀ síra ní àwọn ìtọ́sọ́nà tó yàtọ̀ síra. Àwọn ànímọ́ bíi electron mobility àti dada energy yàtọ̀ síra lórí àwọn planes kristal tó yàtọ̀ síra, èyí sì ní ipa lórí iṣẹ́ àti ìdàgbàsókè àwọn ẹ̀rọ semiconductor.
4. Àwọn Ohun Èlò Tó Wúlò Nínú Àwọn Ìlànà Semiconductor
Nínú iṣẹ́-ṣíṣe semikondokito tí a fi silicon ṣe, a lo ìtọ́sọ́nà kristali àti àwọn ọkọ̀ ojú irin kristali ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ọ̀nà:
Ìdàgbàsókè Kírísítàlì: Àwọn kírísítà semiconductor ni a sábà máa ń gbìn ní àwọn ìtọ́sọ́nà kírísítàlì pàtó kan. Àwọn kírísítà sílíkọ́nì sábà máa ń dàgbà ní àwọn ìtọ́sọ́nà [100] tàbí [111] nítorí pé ìdúróṣinṣin àti ìṣètò átọ́mù nínú àwọn ìtọ́sọ́nà wọ̀nyí dára fún ìdàgbàsókè kírísítàlì.
Ìlànà Ìfọṣọ: Nínú ìfọṣọ tí a fi omi rọ̀, àwọn ìfọṣọ tí a fi omi rọ̀ ní oríṣiríṣi ní ìwọ̀n ìfọṣọ tí ó yàtọ̀ síra. Fún àpẹẹrẹ, ìwọ̀n ìfọṣọ tí a fi omi rọ̀ lórí àwọn ìfọṣọ (100) àti (111) ti silikoni yàtọ̀ síra, èyí tí ó yọrí sí àwọn ipa ìfọṣọ tí a fi omi rọ̀.
Àwọn Àmì Ẹ̀rọ: Ìṣíkirisitì tó wà nínú àwọn ẹ̀rọ MOSFET ló máa ń ní ipa lórí bí crystal plane ṣe ń ṣiṣẹ́. Lọ́pọ̀ ìgbà, ìṣíkirisi náà ga jù lórí ìpele (100), ìdí nìyí tí MOSFET òde òní fi máa ń lo (100) wafers.
Ní ṣókí, àwọn ìpele kírísítàlì àti ìtọ́sọ́nà kírísítàlì jẹ́ ọ̀nà méjì pàtàkì láti ṣe àpèjúwe ìṣètò àwọn kírísítàlì nínú kírísítàlì. Ìtọ́sọ́nà kírísítàlì dúró fún àwọn ohun ìní ìtọ́sọ́nà nínú kírísítàlì, nígbà tí àwọn ìpele kírísítàlì ṣàpèjúwe àwọn ìpele pàtó nínú kírísítàlì. Àwọn èrò méjì wọ̀nyí ní ìbáṣepọ̀ tímọ́tímọ́ nínú iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor. Yíyan àwọn ìpele kírísítàlì ní ipa taara lórí àwọn ohun-ini ti ara àti kẹ́míkà ti ohun-elo náà, nígbà tí ìtọ́sọ́nà kírísítàlì ní ipa lórí ìdàgbàsókè kírísítàlì àti àwọn ọ̀nà ìṣiṣẹ́. Lílóye ìbáṣepọ̀ láàrín àwọn ìpele kírísítàlì àti ìtọ́sọ́nàlì ṣe pàtàkì fún ṣíṣe àtúnṣe àwọn ilana semiconductor àti mímú iṣẹ́ ẹ̀rọ sunwọ̀n síi.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹ̀wàá-08-2024