Awọn ọkọ ofurufu Crystal ati iṣalaye gara jẹ awọn imọran pataki meji ni crystallography, ti o ni ibatan pẹkipẹki si eto gara ni imọ-ẹrọ iyika ti o da lori ohun alumọni.
1.Definition ati Awọn ohun-ini ti Iṣalaye Crystal
Iṣalaye Crystal duro fun itọsọna kan pato laarin okuta kristal kan, ti a fihan ni igbagbogbo nipasẹ awọn atọka iṣalaye gara. Iṣalaye Crystal jẹ asọye nipa sisopọ eyikeyi awọn aaye lattice meji laarin ilana gara, ati pe o ni awọn abuda wọnyi: Iṣalaye gara kọọkan ni nọmba ailopin ti awọn aaye latissi; Iṣalaye kirisita kan le ni ọpọlọpọ awọn iṣalaye gara aga ti o jọmọ idile iṣalaye gara; idile iṣalaye gara ni wiwa gbogbo awọn aaye latissi laarin gara.
Pataki ti iṣalaye gara wa ni afihan iṣeto itọnisọna ti awọn ọta laarin okuta momọ. Fun apẹẹrẹ, iṣalaye gara [111] duro fun itọsọna kan pato nibiti awọn ipin isọtẹlẹ ti awọn aake ipoidojuko mẹta jẹ 1:1:1.
2. Definition ati Properties ti Crystal ofurufu
Ofurufu gara jẹ ọkọ ofurufu ti eto atomu laarin kirisita kan, ti o jẹ aṣoju nipasẹ awọn atọka ọkọ ofurufu gara (awọn atọka Miller). Fun apẹẹrẹ, (111) tọkasi pe awọn atunṣe ti awọn idilọwọ ti ọkọ ofurufu gara lori awọn aake ipoidojuko wa ni ipin ti 1: 1: 1. Ọkọ ofurufu gara ni awọn ohun-ini wọnyi: ọkọ ofurufu kọọkan ni nọmba ailopin ti awọn aaye lattice; ọkọ ofurufu gara kọọkan ni nọmba ailopin ti awọn ọkọ ofurufu ti o jọra ti o ṣẹda idile ọkọ ofurufu gara; ebi gara ofurufu bo gbogbo gara.
Ipinnu ti awọn atọka Miller pẹlu gbigbe awọn idalọwọduro ti ọkọ ofurufu gara lori ipo ipoidojuko kọọkan, wiwa awọn ipadasẹhin wọn, ati yiyipada wọn sinu ipin odidi o kere julọ. Fun apẹẹrẹ, ọkọ ofurufu gara (111) ni awọn idalọwọduro lori awọn aake x, y, ati z ni ipin 1:1:1.
3. Ibasepo Laarin Awọn ọkọ ofurufu Crystal ati Iṣalaye Crystal
Awọn ọkọ ofurufu Crystal ati iṣalaye gara jẹ awọn ọna oriṣiriṣi meji ti ijuwe eto jiometirika ti okuta momọ gara. Iṣalaye Crystal n tọka si iṣeto ti awọn ọta pẹlu itọsọna kan pato, lakoko ti ọkọ ofurufu gara tọka si iṣeto ti awọn ọta lori ọkọ ofurufu kan pato. Awọn meji wọnyi ni iwe-kikọ kan, ṣugbọn wọn ṣe aṣoju awọn imọran ti ara ti o yatọ.
Ibasepo bọtini: Fekito deede ti ọkọ ofurufu gara (ie, fekito papẹndikula si ọkọ ofurufu yẹn) ṣe deede si iṣalaye gara. Fun apẹẹrẹ, fekito deede ti ọkọ ofurufu gara (111) ni ibamu pẹlu iṣalaye gara [111], afipamo pe eto atomiki lẹgbẹẹ itọsọna [111] jẹ papẹndicular si ọkọ ofurufu yẹn.
Ni awọn ilana semikondokito, yiyan ti awọn ọkọ ofurufu gara ni ipa lori iṣẹ ẹrọ pupọ. Fun apẹẹrẹ, ni awọn semikondokito ti o da lori silikoni, awọn ọkọ ofurufu kirisita ti a lo nigbagbogbo jẹ awọn ọkọ ofurufu (100) ati (111) nitori wọn ni awọn eto atomiki oriṣiriṣi ati awọn ọna isọpọ ni awọn itọsọna oriṣiriṣi. Awọn ohun-ini bii iṣipopada elekitironi ati agbara dada yatọ lori oriṣiriṣi awọn ọkọ ofurufu gara, ni ipa iṣẹ ṣiṣe ati ilana idagbasoke ti awọn ẹrọ semikondokito.
4. Awọn ohun elo ti o wulo ni Awọn ilana Semikondokito
Ninu iṣelọpọ semikondokito ti o da lori ohun alumọni, iṣalaye gara ati awọn ọkọ ofurufu gara ni a lo ni ọpọlọpọ awọn aaye:
Growth Crystal: Awọn kirisita semikondokito jẹ igbagbogbo dagba pẹlu awọn iṣalaye gara kan pato. Awọn kirisita silikoni ti o wọpọ julọ dagba pẹlu awọn itọnisọna [100] tabi [111] nitori iduroṣinṣin ati eto atomiki ni awọn iṣalaye wọnyi jẹ ọjo fun idagbasoke gara.
Ilana Etching: Ni tutu etching, o yatọ si awọn ọkọ ofurufu gara ni orisirisi etching awọn ošuwọn. Fun apẹẹrẹ, awọn oṣuwọn etching lori (100) ati (111) awọn ọkọ ofurufu ti ohun alumọni yatọ, ti o fa awọn ipa etching anisotropic.
Awọn abuda ẹrọ: Arinrin elekitironi ninu awọn ẹrọ MOSFET ni ipa nipasẹ ọkọ ofurufu gara. Ni deede, iṣipopada naa ga julọ lori ọkọ ofurufu (100), eyiti o jẹ idi ti MOSFET ti o da lori ohun alumọni ti ode oni lo julọ (100) wafers.
Ni akojọpọ, awọn ọkọ ofurufu kirisita ati awọn iṣalaye kirisita jẹ awọn ọna ipilẹ meji lati ṣapejuwe igbekalẹ ti awọn kirisita ni crystallography. Iṣalaye Crystal duro fun awọn ohun-ini itọsọna laarin okuta momọ gara, lakoko ti awọn ọkọ ofurufu kirisita ṣapejuwe awọn ọkọ ofurufu kan pato laarin gara. Awọn imọran meji wọnyi ni ibatan pẹkipẹki ni iṣelọpọ semikondokito. Yiyan ti awọn ọkọ ofurufu gara taara ni ipa lori ohun elo ti ara ati awọn ohun-ini kemikali, lakoko ti iṣalaye gara ni ipa lori idagbasoke gara ati awọn ilana ṣiṣe. Loye ibatan laarin awọn ọkọ ofurufu gara ati awọn iṣalaye jẹ pataki fun iṣapeye awọn ilana semikondokito ati ilọsiwaju iṣẹ ẹrọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa 08-2024