Nínú ìlànà ìdàgbàsókè tó ń pọ̀ sí i ní ilé iṣẹ́ semiconductor, kristal kan ṣoṣo tí a fi didan ṣe,àwọn wafers silikoniipa pàtàkì ni wọ́n ń kó. Wọ́n ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ohun èlò pàtàkì fún ṣíṣe onírúurú ẹ̀rọ microelectronic. Láti àwọn iyika tí a ti sopọ̀ mọ́ra tí ó díjú àti tí ó péye sí àwọn microprocessors oníyàrá gíga àti àwọn sensọ multifunctional, kristal kan tí a ti dán mọ́lẹ̀àwọn wafers silikoniÓ ṣe pàtàkì. Àwọn ìyàtọ̀ nínú iṣẹ́ àti àwọn ìlànà wọn ní ipa tààrà lórí dídára àti iṣẹ́ àwọn ọjà ìkẹyìn. Àwọn ìlànà àti àwọn pàrámítà tí ó wọ́pọ̀ fún àwọn wafers silicon kan ṣoṣo tí a lẹ̀ mọ́lẹ̀ nìyí:

Ìwọ̀n Ìwọ̀n: A ń wọn ìwọ̀n ìwọ̀n ... Ohun tí a nílò láti fi ṣe ojú ilẹ̀ (Parti): SSP tí a fi ṣe ojú ilẹ̀ lẹ́gbẹ̀ẹ́ kan/DSP tí a fi ṣe ojú ilẹ̀ lẹ́gbẹ̀ẹ́ méjì.

Iru/Dopant: (1) Semiconductor Iru N: Nígbà tí a bá fi àwọn átọ̀mù àìmọ́ kan sínú semiconductor intrinsic, wọ́n máa ń yí conductivity rẹ̀ padà. Fún àpẹẹrẹ, nígbà tí a bá fi àwọn èròjà pentavalent bíi nitrogen (N), phosphorus (P), arsenic (As), tàbí antimony (Sb) kún un, àwọn elekitiron valence wọn máa ń ṣe ìdè covalent pẹ̀lú àwọn elekitiron valence ti àwọn átọ̀mù silicon tó yí i ká, tí wọ́n sì máa ń fi elekitiron afikún sílẹ̀ tí kò ní ìdè covalent. Èyí máa ń yọrí sí ìdúró elekitiron tó pọ̀ ju ìdúró ihò lọ, tó ń ṣe semiconductor Iru N, tí a tún mọ̀ sí semiconductor Iru Electron. Àwọn semiconductor Iru N ṣe pàtàkì nínú ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ tí ó nílò àwọn elekitiron gẹ́gẹ́ bí àwọn olùgbé agbára pàtàkì, bíi àwọn ẹ̀rọ agbára kan. (2) Semiconductor Iru P: Nígbà tí a bá fi àwọn èròjà àìmọ́ trivalent bíi boron (B), gallium (Ga), tàbí indium (In) sínú semiconductor silicon, àwọn elekitiron valence ti àwọn átọ̀mù àìmọ́ máa ń ṣe ìdè covalent pẹ̀lú àwọn átọ̀mù silicon tó yí i ká, ṣùgbọ́n wọn kò ní o kere ju elekitiron valence kan ṣoṣo tí wọn kò sì lè ṣe ìdè covalent pípé. Èyí yóò mú kí ìpele ihò tó ju ìpele elekitironi lọ, èyí tó máa ń ṣẹ̀dá semiconductor irú P, tí a tún mọ̀ sí semiconductor irú ihò. Àwọn semiconductor irú P máa ń kó ipa pàtàkì nínú ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ níbi tí àwọn ihò ti ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun èlò ìdíyelé pàtàkì, bíi diódì àti àwọn transistor kan.

Resistivity: Resistivity jẹ́ iye ara pàtàkì tí ó ń wọn conductivity ina ti awọn wafers silikoni kan ṣoṣo tí a ti dán. Iye rẹ̀ ń fi iṣẹ́ conductivity ohun èlò náà hàn. Bí resistivity ṣe dínkù, bẹ́ẹ̀ ni conductivity ti wafer silikoni ṣe dára síi; ní ọ̀nà mìíràn, resistivity náà ga síi, conductivity náà sì kéré síi. Resistivity ti wafers silikoni ni a pinnu nípasẹ̀ àwọn ohun ìní ohun èlò wọn, àti pé ìwọ̀n otútù náà ní ipa pàtàkì pẹ̀lú. Ní gbogbogbòò, resistivity ti wafers silikoni ń pọ̀ síi pẹ̀lú ìwọ̀n otútù. Nínú àwọn ohun èlò ìṣe, onírúurú ẹ̀rọ microelectronic ní àwọn ìbéèrè resistivity ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀ fún wafers silikoni. Fún àpẹẹrẹ, wafers tí a lò nínú iṣẹ́ ẹ̀rọ aláfọwọ́pọ̀ nílò ìṣàkóso resistivity pípé láti rí i dájú pé iṣẹ́ ẹ̀rọ náà dúró ṣinṣin àti èyí tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé.

Ìtọ́sọ́nà: Ìtọ́sọ́nà kirisita ti wafer dúró fún ìtọ́sọ́nà kirisita ti lattice silicon, tí Miller máa ń sọ ní pàtó gẹ́gẹ́ bí (100), (110), (111), àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn ìtọ́sọ́nà kirisita oriṣiriṣi ní àwọn ànímọ́ ti ara tó yàtọ̀ síra, bíi ìwọ̀n ìlà, èyí tó yàtọ̀ síra ní ìbámu pẹ̀lú ìtọ́sọ́nà. Ìyàtọ̀ yìí lè ní ipa lórí iṣẹ́ wafer ní àwọn ìgbésẹ̀ ìṣiṣẹ́ tó tẹ̀lé e àti iṣẹ́ ìkẹyìn ti àwọn ẹ̀rọ microelectronic. Nínú ìlànà ìṣelọ́pọ́, yíyan wafer silicon pẹ̀lú ìtọ́sọ́nà tó yẹ fún àwọn ohun èlò tó yàtọ̀ síra lè mú iṣẹ́ ẹ̀rọ náà sunwọ̀n síi, mú kí iṣẹ́ ṣíṣe sunwọ̀n síi, kí ó sì mú kí dídára ọjà náà sunwọ̀n síi.

Àfonífojì/Àfonífojì: Etí títẹ́jú (Flat) tàbí V-notch (Notch) lórí àyíká wafer silicon kó ipa pàtàkì nínú títẹ̀jú ìlà krístàlì, ó sì jẹ́ àmì pàtàkì nínú ṣíṣe àti ṣíṣe wafer náà. Àwọn wafer tí ó ní àwọn ìlà onígun mẹ́rin tó yàtọ̀ síra bá àwọn ìlànà tó yàtọ̀ síra mu fún gígùn Flat tàbí Notch. A pín àwọn etí ìlà sí àfonífojì alákọ́bẹ̀rẹ̀ àti àfonífojì alákọ́bẹ̀rẹ̀. A sábà máa ń lo flat àkọ́kọ́ láti pinnu ìtọ́sọ́nà kristali àti ìtọ́kasí ìṣiṣẹ́ wafer náà, nígbà tí flat kejì tún ń ran lọ́wọ́ nínú títẹ̀jú àti ìṣiṣẹ́ tó péye, ní rírí i dájú pé wafer náà ṣiṣẹ́ dáadáa àti pé ó dúró ṣinṣin jákèjádò ìlà ìṣẹ̀dá.

Sisanra: Sisanra wafer kan maa n tọka si awọn micrometers (μm), pẹlu sisanra ti o wọpọ laarin 100μm ati 1000μm. Awọn wafer ti o ni sisanra oriṣiriṣi dara fun awọn oriṣiriṣi awọn ẹrọ microelectronic. Awọn wafer tinrin (fun apẹẹrẹ, 100μm – 300μm) ni a maa n lo fun iṣelọpọ awọn chip ti o nilo iṣakoso sisanra ti o muna, dinku iwọn ati iwuwo ti chip naa ati jijẹ iwuwo isọdọkan. Awọn wafer ti o nipọn (fun apẹẹrẹ, 500μm – 1000μm) ni a nlo ni gbogbogbo ninu awọn ẹrọ ti o nilo agbara ẹrọ ti o ga julọ, gẹgẹbi awọn ẹrọ semiconductor agbara, lati rii daju pe o duro ṣinṣin lakoko iṣẹ.

Ríro ojú: Ríro ojú jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn pàrámítà pàtàkì fún ṣíṣe àyẹ̀wò dídára wafer, nítorí pé ó ní ipa lórí ìsopọ̀ láàrín wafer àti àwọn ohun èlò fíìmù tín-tín tí a fi pamọ́ lẹ́yìn náà, àti iṣẹ́ iná mànàmáná ti ẹ̀rọ náà. A sábà máa ń sọ ọ́ gẹ́gẹ́ bí híro ojú onígun mẹ́rin (RMS) (ní nm). Ríro ojú ìsàlẹ̀ túmọ̀ sí pé ojú wafer náà mọ́lẹ̀, èyí tí ó ń ran lọ́wọ́ láti dín àwọn ìṣẹ̀lẹ̀ bí ìtúká elekitironi kù, ó sì ń mú iṣẹ́ àti ìgbẹ́kẹ̀lé ẹ̀rọ sunwọ̀n sí i. Nínú àwọn ìlànà ìṣelọ́pọ́ semiconductor tó ti ní ìlọsíwájú, àwọn ohun tí a nílò láti ṣe híro ojú ìsàlẹ̀ ń di líle sí i, pàápàá jùlọ fún iṣẹ́ ṣíṣe Circuit tó ga jùlọ, níbi tí híro ojú ìsàlẹ̀ gbọ́dọ̀ jẹ́ èyí tí a ń ṣàkóso sí àwọn nanometer díẹ̀ tàbí kí ó kéré sí i.

Ìyàtọ̀ Sísanra Gbogbo (TTV): Ìyàtọ̀ sísanra gbogbo tọ́ka sí ìyàtọ̀ láàrín àwọn ìwọ̀n tó pọ̀ jùlọ àti èyí tó kéré jùlọ tí a wọ̀n ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ibi lórí ojú wafer, tí a sábà máa ń fihàn ní μm. TTV tó ga lè fa ìyàtọ̀ nínú àwọn iṣẹ́ bíi photolithography àti etching, èyí tó lè ní ipa lórí bí ẹ̀rọ náà ṣe ń ṣiṣẹ́ àti ìyọrísí rẹ̀. Nítorí náà, ṣíṣàkóso TTV nígbà tí a bá ń ṣe wafer jẹ́ ìgbésẹ̀ pàtàkì nínú rírí dájú pé ọjà náà dára. Fún ṣíṣe ẹ̀rọ microelectronic tó péye, a sábà máa ń béèrè pé kí TTV wà láàrín àwọn micrometer díẹ̀.

Ọrun: Ọrun túmọ̀ sí ìyàtọ̀ láàárín ojú ilẹ̀ wafer àti ibi tí ó tẹ́jú tó dára jùlọ, tí a sábà máa ń wọ̀n ní μm. Àwọn wafer tí wọ́n ní ìtẹríba tó pọ̀ jù lè fọ́ tàbí kí wọ́n ní ìṣòro àìdọ́gba nígbà tí a bá ń ṣe é, èyí tí yóò nípa lórí bí iṣẹ́ ṣe ń lọ àti dídára ọjà. Pàápàá jùlọ nínú àwọn iṣẹ́ tí ó nílò ìtẹríba gíga, bíi photolithography, ìtẹríba gbọ́dọ̀ wà láàrín ìwọ̀n pàtó kan láti rí i dájú pé ìlànà photolithographic péye àti pé ó báramu.

Ìfọ́: Ìfọ́ náà fi ìyàtọ̀ hàn láàárín ojú ilẹ̀ wafer àti ìrísí oníyípo tó dára jùlọ, tí a tún wọ̀n ní μm. Gẹ́gẹ́ bí ìfọ́ náà, ìfọ́ náà jẹ́ àmì pàtàkì fún ìfọ́ wafer. Ìfọ́ náà tó pọ̀ jù kì í ṣe pé ó ní ipa lórí bí a ṣe gbé wafer sí nínú àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ nìkan ni, ṣùgbọ́n ó tún lè fa àwọn ìṣòro nígbà tí a bá ń ṣe ìfọ́ náà, bíi bí kò ṣe ní ìsopọ̀ tó dára láàárín ìfọ́ náà àti ohun èlò ìfọ́ náà, èyí tó máa ń nípa lórí ìgbẹ́kẹ̀lé ẹ̀rọ náà. Nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor tó ga jùlọ, àwọn ohun tí a nílò láti ṣe ìfọ́ náà ti ń le sí i láti bá àwọn ìbéèrè iṣẹ́ ṣíṣe chip àti ìfọ́ náà mu.

Ìrísí Ẹ̀gbẹ́: Ìrísí ẹ̀gbẹ́ wafer ṣe pàtàkì fún ṣíṣe àti mímú rẹ̀ lẹ́yìn náà. A sábà máa ń sọ ọ́ nípa Edge Exclusion Zone (EEZ), èyí tí ó ń ṣàlàyé ìjìnnà sí etí wafer níbi tí a kò gbà láàyè láti ṣe é. Ìrísí ẹ̀gbẹ́ tí a ṣe ní ọ̀nà tí ó tọ́ àti ìṣàkóso EEZ tí ó péye ń ran lọ́wọ́ láti yẹra fún àbùkù etí, ìṣọ̀kan wahala, àti àwọn ìṣòro mìíràn nígbà ìṣiṣẹ́, èyí tí ó ń mú kí dídára gbogbogbòò wafer àti ìbísí rẹ̀ sunwọ̀n síi. Nínú àwọn ìlànà ìṣelọ́pọ́ tí ó ti lọ síwájú, a nílò kí ó péye lórí ìrísí ẹ̀gbẹ́ láti wà ní ìpele sub-micron.

Iye Àwọn Pátákì: Iye àti ìwọ̀n ìpínkiri àwọn pátákì lórí ojú wafer ní ipa pàtàkì lórí iṣẹ́ àwọn ẹ̀rọ microelectronic. Pátákì tó pọ̀ jù tàbí tó tóbi lè fa ìkùnà ẹ̀rọ, bíi àwọn ìyípo kúkúrú tàbí jíjó, èyí tó lè dín ìyọrísí ọjà kù. Nítorí náà, a sábà máa ń wọn iye pátákì nípa kíkà àwọn pátákì fún agbègbè kan, bíi iye àwọn pátákì tó tóbi ju 0.3μm lọ. Ìṣàkóso tó lágbára lórí iye pátákì nígbà tí a bá ń ṣe wafer jẹ́ ìwọ̀n pàtàkì fún rírí dájú pé ọjà dára. Àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ tó ti pẹ́ àti àyíká iṣẹ́ tó mọ́ ni a ń lò láti dín ìbàjẹ́ pátákì lórí ojú wafer kù.

Ìṣẹ̀dá tó jọra

Iru Substrate Crystal Silicon Wafer Si Kanṣoṣo N/P Wafer Silicon Carbide Aṣayan

FZ CZ Si wafer wafer wafer 12inch ti o wa ninu iṣura wafer Silicon Prime tabi Test