Ninu ilana idagbasoke ariwo ti ile-iṣẹ semikondokito, okuta momọ kan didanohun alumọni wafersmu ipa pataki kan. Wọn ṣiṣẹ bi ohun elo ipilẹ fun iṣelọpọ ti ọpọlọpọ awọn ẹrọ microelectronic. Lati eka ati awọn iyika iṣọpọ kongẹ si awọn microprocessors iyara-giga ati awọn sensọ multifunctional, okuta didan ẹyọkan ti didanohun alumọni wafersjẹ pataki. Awọn iyatọ ninu iṣẹ wọn ati awọn pato ni ipa taara didara ati iṣẹ ti awọn ọja ikẹhin. Ni isalẹ wa ni awọn pato ti o wọpọ ati awọn ayeraye ti awọn wafer ohun alumọni okuta didan kan ṣoṣo:

Opin: Iwọn ti semikondokito awọn wafer ohun alumọni mọto kan jẹ iwọn nipasẹ iwọn ila opin wọn, ati pe wọn wa ni ọpọlọpọ awọn pato. Awọn iwọn ila opin ti o wọpọ pẹlu 2 inches (50.8mm), 3 inches (76.2mm), 4 inches (100mm), 5 inches (125mm), 6 inches (150mm), 8 inches (200mm), 12 inches (300mm), ati 18 inches (450mm). Awọn iwọn ila opin oriṣiriṣi ni ibamu fun ọpọlọpọ awọn iwulo iṣelọpọ ati awọn ibeere ilana. Fun apẹẹrẹ, awọn wafers iwọn ila opin ti o kere ju ni a lo fun pataki, awọn ẹrọ microelectronic iwọn kekere, lakoko ti awọn iwọn ila opin ti o tobi julọ ṣe afihan ṣiṣe iṣelọpọ ti o ga julọ ati awọn anfani idiyele ni iṣelọpọ iṣọpọ titobi nla. Awọn ibeere oju jẹ tito lẹšẹšẹ bi didan ẹgbẹ-ẹyọkan (SSP) ati didan ẹgbẹ-meji (DSP). Awọn wafer didan ẹgbẹ kan ni a lo fun awọn ẹrọ ti o nilo fifẹ giga ni ẹgbẹ kan, gẹgẹbi awọn sensọ kan. Awọn wafer didan ẹgbẹ-meji ni a lo nigbagbogbo fun awọn iyika iṣọpọ ati awọn ọja miiran ti o nilo konge giga lori awọn aaye mejeeji. Ibeere Iboju (Pari): SSP didan ẹgbẹ-ẹyọkan / DSP didan ẹgbẹ-meji.

Iru/Dopant: (1) N-type Semikondokito: Nigbati awọn ọta aimọ kan ti wa ni idasilẹ sinu semikondokito inu, wọn yi iyipada rẹ pada. Fun apẹẹrẹ, nigba ti awọn eroja pentavalent bi nitrogen (N), irawọ owurọ (P), arsenic (As), tabi antimony (Sb) ti wa ni afikun, awọn elekitironi valence wọn ṣe awọn ifunmọ covalent pẹlu awọn elekitironi valence ti awọn ọta ohun alumọni agbegbe, nlọ ohun elekitironi afikun ti kii ṣe adehun nipasẹ isunmọ covalent. Eyi ni abajade ni ifọkansi elekitironi ti o tobi ju ifọkansi iho lọ, ti o ṣẹda semikondokito iru N, ti a tun mọ ni semikondokito iru elekitironi. Awọn semikondokito iru N jẹ pataki ni awọn ẹrọ iṣelọpọ ti o nilo awọn elekitironi gẹgẹbi awọn gbigbe idiyele akọkọ, gẹgẹbi awọn ẹrọ agbara kan. (2) Semikondokito iru P: Nigbati awọn eroja aimọ mẹta bi boron (B), gallium (Ga), tabi indium (In) ti ṣe agbekalẹ sinu semikondokito silikoni, awọn elekitironi valence ti awọn ọta aimọ jẹ awọn ifunmọ covalent pẹlu awọn ọta ohun alumọni agbegbe, ṣugbọn wọn ko ni o kere ju ọkan valence elekitironi ati pe wọn ko le ṣe adehun idapọpọ pipe. Eyi nyorisi ifọkansi iho ti o tobi ju ifọkansi elekitironi lọ, ti o ṣẹda semikondokito iru P, ti a tun mọ ni semikondokito iru iho kan. Awọn semikondokito iru P ṣe ipa pataki ninu awọn ẹrọ iṣelọpọ nibiti awọn iho ṣiṣẹ bi awọn gbigbe idiyele akọkọ, gẹgẹbi awọn diodes ati awọn transistors kan.

Resistivity: Resistivity jẹ bọtini ti ara opoiye ti o ṣe iwọn ina eletiriki ti awọn wafer ohun alumọni okuta didan kan. Iye rẹ ṣe afihan iṣẹ ṣiṣe adaṣe ohun elo naa. Isalẹ awọn resistivity, awọn dara awọn conductivity ti awọn ohun alumọni wafer; Lọna miiran, awọn ti o ga awọn resistivity, awọn talaka awọn elekitiriki. Awọn resistivity ti ohun alumọni wafers jẹ ipinnu nipasẹ awọn ohun-ini ohun elo ti ara wọn, ati iwọn otutu ni ipa pataki paapaa. Ni gbogbogbo, awọn resistivity ti ohun alumọni wafers posi pẹlu iwọn otutu. Ni awọn ohun elo ti o wulo, awọn ẹrọ microelectronic oriṣiriṣi ni awọn ibeere resistivity oriṣiriṣi fun awọn wafers silikoni. Fun apẹẹrẹ, awọn wafers ti a lo ninu iṣelọpọ Circuit iṣọpọ nilo iṣakoso kongẹ ti resistivity lati rii daju iduroṣinṣin ati iṣẹ ẹrọ igbẹkẹle.

Iṣalaye: Iṣalaye kirisita ti wafer duro fun itọsọna crystallographic ti lattice silikoni, deede pato nipasẹ awọn atọka Miller gẹgẹbi (100), (110), (111), bbl Awọn iṣalaye gara ti o yatọ ni awọn ohun-ini ti ara ọtọtọ, gẹgẹbi iwuwo laini, eyiti o yatọ da lori iṣalaye. Iyatọ yii le ni ipa lori iṣẹ wafer ni awọn igbesẹ ṣiṣe atẹle ati iṣẹ ikẹhin ti awọn ẹrọ microelectronic. Ninu ilana iṣelọpọ, yiyan wafer ohun alumọni pẹlu iṣalaye ti o yẹ fun awọn ibeere ẹrọ oriṣiriṣi le mu iṣẹ ẹrọ pọ si, mu iṣelọpọ iṣelọpọ ṣiṣẹ, ati mu didara ọja dara.

Alapin / Ogbontarigi: Eti alapin (Flat) tabi V-notch (Ogbontarigi) lori iyipo ti wafer silikoni ṣe ipa pataki ni titete iṣalaye gara ati pe o jẹ idanimọ pataki ni iṣelọpọ ati sisẹ wafer. Wafers ti o yatọ si diameters badọgba lati yatọ si awọn ajohunše fun awọn ipari ti awọn Flat tabi ogbontarigi. Awọn egbegbe titete ti wa ni ipin si alapin akọkọ ati alapin Atẹle. Alapin akọkọ ni a lo ni akọkọ lati pinnu iṣalaye gara akọkọ ati itọkasi sisẹ ti wafer, lakoko ti alapin Atẹle siwaju ṣe iranlọwọ ni titete deede ati sisẹ, ni idaniloju iṣẹ ṣiṣe deede ati aitasera ti wafer jakejado laini iṣelọpọ.

Sisanra: Awọn sisanra ti wafer jẹ pato pato ni awọn micrometers (μm), pẹlu awọn sakani sisanra ti o wọpọ laarin 100μm ati 1000μm. Wafers ti awọn sisanra oriṣiriṣi dara fun awọn oriṣiriṣi awọn ẹrọ microelectronic. Tinrin wafers (fun apẹẹrẹ, 100μm – 300μm) ti wa ni igba ti a lo fun ërún ẹrọ ti o nbeere ti o muna sisanra Iṣakoso, atehinwa awọn iwọn ati ki o àdánù ti awọn ërún ati jijẹ awọn Integration iwuwo. Awọn wafers ti o nipọn (fun apẹẹrẹ, 500μm - 1000μm) ni lilo pupọ ni awọn ẹrọ ti o nilo agbara ẹrọ ti o ga julọ, gẹgẹbi awọn ẹrọ semikondokito agbara, lati rii daju iduroṣinṣin lakoko iṣẹ.

Roughness dada: Irẹlẹ dada jẹ ọkan ninu awọn aye bọtini fun iṣiro didara wafer, bi o ṣe ni ipa taara si adhesion laarin wafer ati awọn ohun elo fiimu tinrin ti o gbasilẹ, ati iṣẹ itanna ti ẹrọ naa. O maa n ṣafihan bi gbongbo tumọ onigun mẹrin (RMS) roughness (ni nm). Irẹlẹ dada isalẹ tumọ si dada wafer jẹ didan, eyiti o ṣe iranlọwọ lati dinku awọn iyalẹnu bii itọka elekitironi ati ilọsiwaju iṣẹ ẹrọ ati igbẹkẹle. Ni awọn ilana iṣelọpọ semikondokito ti ilọsiwaju, awọn ibeere roughness dada ti n di okun sii, ni pataki fun iṣelọpọ iyika iṣọpọ giga-giga, nibiti a gbọdọ ṣakoso roughness oju si awọn nanometer diẹ tabi paapaa kekere.

Lapapọ Iyatọ Sisanra (TTV): Lapapọ iyatọ sisanra n tọka si iyatọ laarin iwọn ti o pọju ati awọn sisanra ti o kere julọ ti a ṣewọn ni awọn aaye pupọ lori dada wafer, ni igbagbogbo ṣafihan ni μm. TTV giga kan le ja si awọn iyapa ninu awọn ilana bii fọtolithography ati etching, ni ipa aitasera iṣẹ ẹrọ ati ikore. Nitorinaa, iṣakoso TTV lakoko iṣelọpọ wafer jẹ igbesẹ bọtini ni idaniloju didara ọja. Fun iṣelọpọ ohun elo microelectronic to gaju, TTV ni igbagbogbo nilo lati wa laarin awọn micrometers diẹ.

Teriba: Teriba n tọka si iyapa laarin dada wafer ati ọkọ ofurufu alapin ti o dara julọ, ni deede iwọn ni μm. Wafers pẹlu teriba pupọ le fọ tabi ni iriri aapọn aiṣedeede lakoko sisẹ atẹle, ni ipa ṣiṣe iṣelọpọ ati didara ọja. Paapa ni awọn ilana ti o nilo fifẹ giga, gẹgẹbi fọtolithography, tẹriba gbọdọ wa ni iṣakoso laarin iwọn kan pato lati rii daju pe deede ati aitasera ti ilana fọtolithographic.

Warp: Warp tọkasi iyapa laarin dada wafer ati apẹrẹ iyipo to dara julọ, tun wọn ni μm. Iru si teriba, warp jẹ itọkasi pataki ti flatness wafer. Warp ti o pọju kii ṣe ni ipa lori iṣedede gbigbe ti wafer nikan ni ohun elo sisẹ ṣugbọn o tun le fa awọn ọran lakoko ilana iṣakojọpọ chirún, gẹgẹbi isomọ ti ko dara laarin chirún ati ohun elo apoti, eyiti o ni ipa lori igbẹkẹle ẹrọ naa. Ni iṣelọpọ semikondokito giga-giga, awọn ibeere warp n di okun sii lati pade awọn ibeere ti iṣelọpọ chirún ilọsiwaju ati awọn ilana iṣakojọpọ.

Profaili eti: Profaili eti ti wafer jẹ pataki fun sisẹ ati mimu atẹle rẹ. O jẹ deede ni pato nipasẹ Agbegbe Iyasoto Edge (EEZ), eyiti o ṣalaye ijinna lati eti wafer nibiti a ko gba laaye sisẹ. Profaili eti ti a ṣe apẹrẹ daradara ati iṣakoso EEZ deede ṣe iranlọwọ yago fun awọn abawọn eti, awọn ifọkansi aapọn, ati awọn ọran miiran lakoko sisẹ, imudarasi didara wafer gbogbogbo ati ikore. Ni diẹ ninu awọn ilana iṣelọpọ ilọsiwaju, konge profaili eti ni a nilo lati wa ni ipele kekere-micron.

Iwọn patiku: Nọmba ati pinpin iwọn ti awọn patikulu lori dada wafer ni ipa pataki iṣẹ ti awọn ẹrọ microelectronic. Pupọ tabi awọn patikulu nla le ja si awọn ikuna ẹrọ, gẹgẹbi awọn iyika kukuru tabi jijo, idinku ikore ọja. Nitorinaa, kika patiku nigbagbogbo ni iwọn nipasẹ kika awọn patikulu fun agbegbe ẹyọkan, gẹgẹbi nọmba awọn patikulu ti o tobi ju 0.3μm. Iṣakoso to muna ti kika patiku lakoko iṣelọpọ wafer jẹ iwọn pataki fun aridaju didara ọja. Awọn imọ-ẹrọ mimọ to ti ni ilọsiwaju ati agbegbe iṣelọpọ mimọ ni a lo lati dinku idoti patiku lori dada wafer.

Jẹmọ gbóògì

Ohun alumọni Crystal Kanṣoṣo Si Sobusitireti Iru N/P Iyan Silicon Carbide Wafer

FZ CZ Si wafer ni iṣura 12inch Silicon wafer Prime tabi Idanwo