Pẹlu idagbasoke ilọsiwaju ti imọ-ẹrọ semikondokito, ni ile-iṣẹ semikondokito ati paapaa ile-iṣẹ fọtovoltaic, awọn ibeere fun didara dada ti sobusitireti wafer tabi iwe epitaxial tun muna pupọ.Nitorinaa, kini awọn ibeere didara fun awọn wafers?Gbigba awọn wafers oniyebiye bi apẹẹrẹ, awọn itọkasi wo ni a le lo lati ṣe iṣiro didara dada ti wafers?
Kini awọn afihan igbelewọn wafers?
Awọn atọka mẹta
Fun awọn wafers oniyebiye, awọn afihan igbelewọn rẹ jẹ iyapa sisanra lapapọ (TTV), tẹ (Tẹriba) ati Warp (Warp).Awọn paramita mẹta wọnyi papọ ṣe afihan fifẹ ati iṣọkan sisanra ti wafer ohun alumọni, ati pe o le wọn iwọn ripple ti wafer.Awọn corrugation le ti wa ni idapo pelu awọn flatness lati akojopo awọn didara ti awọn wafer dada.
Kini TTV, BOW, Warp?
TTV (Iyatọ Sisanra Lapapọ)
TTV jẹ iyatọ laarin iwọn ti o pọju ati sisanra ti o kere julọ ti wafer.Paramita yii jẹ atọka pataki ti a lo lati wiwọn iṣọkan sisanra wafer.Ninu ilana semikondokito, sisanra ti wafer gbọdọ jẹ aṣọ pupọ lori gbogbo dada.Awọn wiwọn ni a maa n ṣe ni awọn ipo marun lori wafer ati iyatọ jẹ iṣiro.Ni ipari, iye yii jẹ ipilẹ pataki fun idajọ didara wafer.
Teriba
Teriba ni iṣelọpọ semikondokito tọka si tẹ ti wafer, ni ominira aaye laarin aaye aarin ti wafer ti ko ni ihamọ ati ọkọ ofurufu itọkasi.Ó ṣeé ṣe kí ọ̀rọ̀ náà wá láti inú àpèjúwe ìrísí ohun kan nígbà tí a bá tẹ̀, gẹ́gẹ́ bí ìrísí títẹ́ ọrun.Iye Teriba jẹ asọye nipasẹ wiwọn iyapa laarin aarin ati eti wafer ohun alumọni.Iye yii jẹ afihan nigbagbogbo ni awọn micrometers (µm).
Ijagun
Warp jẹ ohun-ini agbaye ti awọn wafer ti o ṣe iwọn iyatọ laarin iwọn to pọ julọ ati aaye to kere julọ laarin aarin wafer ti ko ni larọwọto ati ọkọ ofurufu itọkasi.Ṣe aṣoju aaye lati oju ti wafer silikoni si ọkọ ofurufu.
Kini iyato laarin TTV, Teriba, Warp?
TTV dojukọ awọn ayipada ninu sisanra ati pe ko ni ifiyesi pẹlu atunse tabi ipalọlọ ti wafer.
Teriba fojusi lori tẹ-ìwò, o kun considering awọn tẹ ti aarin ojuami ati awọn eti.
Warp jẹ okeerẹ diẹ sii, pẹlu atunse ati lilọ ti gbogbo dada wafer.
Botilẹjẹpe awọn paramita mẹta wọnyi ni ibatan si apẹrẹ ati awọn ohun-ini jiometirika ti wafer silikoni, wọn ṣe iwọn ati ṣapejuwe ni oriṣiriṣi, ati pe ipa wọn lori ilana semikondokito ati sisẹ wafer tun yatọ.
Awọn iwọn mẹta ti o kere ju, dara julọ, ati pe paramita ti o tobi, ti o tobi ni ipa odi lori ilana semikondokito.Nitorinaa, bi oṣiṣẹ semikondokito, a gbọdọ mọ pataki ti awọn aye profaili wafer fun gbogbo ilana ilana, ṣe ilana semikondokito, gbọdọ san ifojusi si awọn alaye.
(iwoye)
Akoko ifiweranṣẹ: Jun-24-2024