Kini TTV, BOW, WARP, ati TIR tumọ si ni Wafers?

Nigbati o ba n ṣe ayẹwo awọn wafer silikoni semikondokito tabi awọn sobusitireti ti a ṣe ti awọn ohun elo miiran, a nigbagbogbo pade awọn itọkasi imọ-ẹrọ gẹgẹbi: TTV, BOW, WARP, ati boya TIR, STIR, LTV, laarin awọn miiran. Awọn paramita wo ni iwọnyi ṣe aṣoju?

TTV - Lapapọ Iyatọ Sisanra
BOW - Teriba
WARP - Ogun
TIR - Lapapọ kika kika
STIR - Lapapọ Itọkasi Kika Aye
LTV - Agbegbe Sisanra Iyatọ

1. Lapapọ Sisanra Iyatọ - TTV

Iyatọ laarin iwọn ti o pọju ati sisanra ti o kere julọ ti wafer ojulumo si ọkọ ofurufu itọkasi nigbati wafer ti wa ni dimole ati ni ibatan sunmọ. O jẹ afihan ni gbogbogbo ni awọn micrometers (μm), nigbagbogbo ni aṣoju bi: ≤15 μm.

2. Teriba - BOW

Iyapa laarin aaye ti o kere ju ati aaye ti o pọju lati aaye aarin ti dada wafer si ọkọ ofurufu itọkasi nigbati wafer wa ni ipo ọfẹ (ainidi). Eyi pẹlu mejeeji concave (ọrun odi) ati awọn ọran convex (ọrun rere). O jẹ afihan ni igbagbogbo ni awọn micrometers (μm), nigbagbogbo ni aṣoju bi: ≤40 μm.

3. Ogun - WARP

Iyapa laarin aaye ti o kere julọ ati aaye ti o pọju lati oju wafer si ọkọ ofurufu itọkasi (nigbagbogbo oju ẹhin ti wafer) nigbati wafer ba wa ni ipo ọfẹ (unclamped). Eyi pẹlu mejeeji concave (warp odi) ati awọn ọran convex (warp rere). O jẹ afihan ni gbogbogbo ni awọn micrometers (μm), nigbagbogbo ni aṣoju bi: ≤30 μm.

4. Lapapọ kika kika - TIR

Nigbati wafer ti wa ni dimole ati ni isunmọ isunmọ, lilo ọkọ ofurufu itọkasi ti o dinku apao awọn idilọwọ ti gbogbo awọn aaye laarin agbegbe didara tabi agbegbe agbegbe kan pato lori dada wafer, TIR jẹ iyapa laarin iwọn to pọ julọ ati awọn aaye to kere julọ lati oju wafer si ọkọ ofurufu itọkasi yii.

Ti a da lori imọ-jinlẹ jinlẹ ni awọn pato ohun elo semikondokito bii TTV, BOW, WARP, ati TIR, XKH n pese awọn iṣẹ ṣiṣe wafer aṣa deede ti a ṣe deede si awọn iṣedede ile-iṣẹ stringent. A pese ati atilẹyin ọpọlọpọ awọn ohun elo ti o ga julọ pẹlu oniyebiye, silikoni carbide (SiC), silikoni wafers, SOI, ati quartz, aridaju flatness exceptional, sisanra aitasera, ati dada didara fun awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju ni optoelectronics, awọn ẹrọ agbara, ati MEMS. Gbekele wa lati ṣafipamọ awọn solusan ohun elo ti o gbẹkẹle ati ẹrọ ṣiṣe deede ti o pade awọn ibeere apẹrẹ ti o nbeere julọ.