Dagba afikun Layer ti awọn ọta ohun alumọni lori sobusitireti wafer ohun alumọni ni awọn anfani pupọ:
Ninu awọn ilana ohun alumọni CMOS, idagba epitaxial (EPI) lori sobusitireti wafer jẹ igbesẹ ilana to ṣe pataki.
1, Imudara didara gara
Awọn abawọn sobusitireti akọkọ ati awọn aimọ: Lakoko ilana iṣelọpọ, sobusitireti wafer le ni awọn abawọn kan ati awọn aimọ. Idagba ti Layer epitaxial le ṣe agbejade Layer ohun alumọni monocrystalline ti o ni agbara pẹlu awọn ifọkansi kekere ti awọn abawọn ati awọn aimọ lori sobusitireti, eyiti o ṣe pataki fun iṣelọpọ ẹrọ atẹle.
Ẹya kristali Aṣọ: Idagba Epitaxial ṣe idaniloju ọna kika kristasi kan diẹ sii, idinku ipa ti awọn aala ọkà ati awọn abawọn ninu ohun elo sobusitireti, nitorinaa imudarasi didara gara gbogbogbo ti wafer.
2, mu itanna iṣẹ ṣiṣe.
Imudara awọn abuda ẹrọ: Nipa didasilẹ Layer epitaxial lori sobusitireti, ifọkansi doping ati iru ohun alumọni le ni iṣakoso ni deede, jijẹ iṣẹ itanna ti ẹrọ naa. Fun apẹẹrẹ, doping ti Layer epitaxial le ṣe atunṣe daradara lati ṣakoso foliteji ala ti MOSFET ati awọn aye itanna miiran.
Idinku lọwọlọwọ jijo: Layer epitaxial ti o ni agbara giga ni iwuwo abawọn kekere, eyiti o ṣe iranlọwọ lati dinku jijo lọwọlọwọ ninu awọn ẹrọ, nitorinaa imudarasi iṣẹ ẹrọ ati igbẹkẹle.
3, mu iṣẹ itanna ṣiṣẹ.
Idinku Iwọn Ẹya: Ni awọn apa ilana ti o kere ju (bii 7nm, 5nm), iwọn ẹya ti awọn ẹrọ tẹsiwaju lati dinku, nilo awọn ohun elo ti a ti tunṣe ati ti o ga julọ. Imọ-ẹrọ idagbasoke Epitaxial le pade awọn ibeere wọnyi, ni atilẹyin iṣelọpọ ti iṣẹ ṣiṣe giga ati awọn iyika iṣọpọ iwuwo giga.
Igbelaruge Foliteji Ilọkuro: Awọn fẹlẹfẹlẹ Epitaxial le jẹ apẹrẹ pẹlu awọn foliteji didenukole giga, eyiti o ṣe pataki fun iṣelọpọ agbara-giga ati awọn ẹrọ foliteji giga. Fun apẹẹrẹ, ninu awọn ẹrọ agbara, awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial le ṣe ilọsiwaju foliteji didenukole ẹrọ, jijẹ iwọn iṣẹ ṣiṣe ailewu.
4, Ibamu ilana ati Awọn ẹya Multilayer
Awọn ẹya Multilayer: Imọ-ẹrọ idagbasoke Epitaxial ngbanilaaye fun idagbasoke awọn ẹya multilayer lori awọn sobusitireti, pẹlu awọn ipele oriṣiriṣi ti o ni awọn ifọkansi doping oriṣiriṣi ati awọn oriṣi. Eyi jẹ anfani pupọ fun iṣelọpọ awọn ẹrọ CMOS eka ati mimuuṣiṣẹpọ onisẹpo mẹta ṣiṣẹ.
Ibamu: Ilana idagba epitaxial jẹ ibamu pupọ pẹlu awọn ilana iṣelọpọ CMOS ti o wa tẹlẹ, ti o jẹ ki o rọrun lati ṣepọ sinu awọn iṣan-iṣẹ iṣelọpọ lọwọlọwọ laisi iwulo fun awọn iyipada pataki si awọn laini ilana.
Lakotan: Ohun elo ti idagbasoke epitaxial ni awọn ilana ohun alumọni CMOS ni akọkọ ni ifọkansi lati jẹki didara wafer gara, mu iṣẹ ṣiṣe itanna ẹrọ pọ si, ṣe atilẹyin awọn apa ilana ilọsiwaju, ati pade awọn ibeere ti iṣẹ ṣiṣe giga ati iṣelọpọ iwuwo iwuwo giga. Imọ-ẹrọ idagbasoke Epitaxial ngbanilaaye fun iṣakoso kongẹ ti doping ohun elo ati igbekalẹ, imudarasi iṣẹ gbogbogbo ati igbẹkẹle awọn ẹrọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa-16-2024