Dídàgbà fẹlẹfẹlẹ afikun ti awọn ọta silikoni lori ipilẹ wafer silikoni ni awọn anfani pupọ:
Nínú àwọn ìlànà silikoni CMOS, ìdàgbàsókè epitaxial (EPI) lórí substrate wafer jẹ́ ìgbésẹ̀ ìlànà pàtàkì kan.
1, Imudarasi didara kirisita
Àbùkù àti àìmọ́ ìpìlẹ̀ ...
Ìṣètò kirisita kan náà: Ìdàgbàsókè epitaxial ń rí i dájú pé ìṣètò kirisita kan náà wà ní ìṣọ̀kan, ó ń dín ipa àwọn ààlà ọkà àti àbùkù nínú ohun èlò ìpìlẹ̀ kù, èyí sì ń mú kí dídára kirisita gbogbogbòò ti wafer náà sunwọ̀n sí i.
2, mu iṣẹ ṣiṣe itanna dara si.
Ṣíṣe àtúnṣe àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ: Nípa gbígbin fẹlẹfẹlẹ epitaxial kan lórí substrate, a lè ṣàkóso ìṣọ̀kan doping àti irú silicon ní pàtó, èyí tí ó ń mú kí iṣẹ́ iná mànàmáná ẹ̀rọ náà dára síi. Fún àpẹẹrẹ, doping ti fẹlẹfẹlẹ epitaxial lè ṣeé ṣe àtúnṣe dáradára láti ṣàkóso foliteji ààlà ti MOSFETs àti àwọn paramita itanna mìíràn.
Dínkù ìṣàn omi jíjìn: Fẹ́ẹ̀lì epitaxial tó dára ní ìwọ̀n àbùkù tó kéré, èyí tó ń dín ìṣàn omi jíjìn kù nínú àwọn ẹ̀rọ, èyí sì ń mú kí iṣẹ́ ẹ̀rọ náà sunwọ̀n sí i àti ìgbẹ́kẹ̀lé rẹ̀.
3, mu iṣẹ ina dara si.
Dín Ìwọ̀n Ẹ̀yà Ara Rẹ̀ Kú: Nínú àwọn ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ kéékèèké (bíi 7nm, 5nm), ìwọ̀n ẹ̀rọ náà ń tẹ̀síwájú láti dínkù, ó sì ń béèrè fún àwọn ohun èlò tí a ti túnṣe àti tí ó dára jù. Ìmọ̀-ẹ̀rọ ìdàgbàsókè Epitaxial lè bá àwọn ìbéèrè wọ̀nyí mu, ó sì ń ṣètìlẹ́yìn fún ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ tí ó ní agbára gíga àti ìwọ̀n gíga.
Ṣíṣe àgbékalẹ̀ Fólítììdì Ìfọ́: A lè ṣe àwọn fólítììdì ìfọ́ tó ga jù, èyí tó ṣe pàtàkì fún ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ agbára gíga àti fólítììdì gíga. Fún àpẹẹrẹ, nínú àwọn ẹ̀rọ agbára, àwọn fólítììdì ìfọ́ lè mú kí fólítììdì ìfọ́ ẹ̀rọ náà sunwọ̀n síi, èyí tó lè mú kí ibi tí agbára ń lọ dára síi.
4, Ilana ibamu ati Awọn ẹya Oniruuru
Àwọn Ìṣètò Onípele-pupọ: Ìmọ̀-ẹ̀rọ ìdàgbàsókè Epitaxial gba ààyè fún ìdàgbàsókè àwọn ìṣètò onípele-pupọ lórí àwọn ohun èlò, pẹ̀lú àwọn ìpele oríṣiríṣi tí ó ní onírúurú ìfọ́pọ̀ àti irú àwọn ohun èlò ìtọ́jú. Èyí ṣe àǹfààní púpọ̀ fún ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ CMOS onípele-pupọ àti mímú kí ìṣọ̀kan onípele-pupọ ṣeé ṣe.
Ibamu: Ilana idagbasoke epitaxial baamu pẹlu awọn ilana iṣelọpọ CMOS ti o wa tẹlẹ, ti o jẹ ki o rọrun lati ṣepọ sinu awọn iṣan-iṣẹ iṣelọpọ lọwọlọwọ laisi iwulo fun awọn iyipada pataki si awọn laini ilana.
Àkótán: Lílo ìdàgbàsókè epitaxial nínú àwọn ìlànà silicon CMOS ní pàtàkì ni láti mú kí dídára wafer kristal pọ̀ sí i, mú kí iṣẹ́ itanna ẹ̀rọ sunwọ̀n sí i, láti ṣètìlẹ́yìn fún àwọn nódù ilana tó ti ní ìlọsíwájú, àti láti bá àwọn ìbéèrè ti iṣẹ́-ṣíṣe onípele gíga àti gíga mu. Ìmọ̀-ẹ̀rọ ìdàgbàsókè epitaxial gba ààyè fún ìṣàkóso pípéye ti doping ohun èlò àti ìṣètò, láti mú kí iṣẹ́ àti ìgbẹ́kẹ̀lé gbogbo àwọn ẹ̀rọ sunwọ̀n sí i.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹ̀wàá-16-2024