Imọ-ẹrọ dicing Wafer, gẹgẹbi igbesẹ to ṣe pataki ninu ilana iṣelọpọ semikondokito, ni asopọ taara si iṣẹ ṣiṣe chirún, ikore, ati awọn idiyele iṣelọpọ.
# 01 Lẹhin ati Pataki ti Wafer Dicing
1.1 Definition ti Wafer Dicing
Wafer dicing (ti a tun mọ si iwe kikọ) jẹ igbesẹ pataki ni iṣelọpọ semikondokito, ti a pinnu lati pin awọn wafers ti a ṣe ilana si awọn iku kọọkan. Awọn ku wọnyi ni igbagbogbo ni iṣẹ ṣiṣe Circuit pipe ati pe o jẹ awọn paati mojuto ti a lo nikẹhin ni iṣelọpọ awọn ẹrọ itanna. Bi awọn apẹrẹ chirún ṣe di eka sii ati awọn iwọn ti n tẹsiwaju lati dinku, konge ati awọn ibeere ṣiṣe fun imọ-ẹrọ dicing wafer ti n di okun sii.
Ninu awọn iṣẹ ṣiṣe, wafer dicing ni igbagbogbo lo awọn irinṣẹ pipe-giga gẹgẹbi awọn abẹfẹlẹ diamond lati rii daju pe iku kọọkan wa ni mimule ati ṣiṣe ni kikun. Awọn igbesẹ bọtini pẹlu igbaradi ṣaaju gige, iṣakoso gangan lakoko ilana gige, ati ayewo didara lẹhin gige.
Ṣaaju gige, wafer gbọdọ wa ni samisi ati ipo lati rii daju awọn ọna gige deede. Lakoko gige, awọn paramita bii titẹ ọpa ati iyara gbọdọ wa ni iṣakoso muna lati yago fun ibajẹ si wafer. Lẹhin gige, awọn ayewo didara okeerẹ ni a ṣe lati rii daju pe gbogbo ërún ni ibamu pẹlu awọn iṣedede iṣẹ.
Awọn ilana ipilẹ ti imọ-ẹrọ dicing wafer kii ṣe yiyan ti ohun elo gige nikan ati eto awọn ilana ilana ṣugbọn tun ipa ti awọn ohun-ini ẹrọ ati awọn abuda ti awọn ohun elo lori didara gige. Fun apẹẹrẹ, kekere-k dielectric silikoni wafers, nitori awọn ohun-ini ẹrọ ti o kere julọ, ni ifaragba pupọ si ifọkansi aapọn lakoko gige, ti o yori si awọn ikuna bii chipping ati fifọ. Lile kekere ati brittleness ti awọn ohun elo kekere-k jẹ ki wọn ni itara si ibajẹ igbekale labẹ agbara ẹrọ tabi aapọn gbona, ni pataki lakoko gige. Awọn olubasọrọ laarin awọn ọpa ati awọn wafer dada, pelu pẹlu awọn iwọn otutu ti o ga, le siwaju sii mu ifọkansi wahala.
Pẹlu awọn ilọsiwaju ninu imọ-jinlẹ ohun elo, imọ-ẹrọ dicing wafer ti gbooro kọja awọn semikondokito ti o da lori ohun alumọni lati pẹlu awọn ohun elo tuntun bii gallium nitride (GaN). Awọn ohun elo tuntun wọnyi, nitori lile wọn ati awọn ohun-ini igbekale, ṣe awọn italaya tuntun fun awọn ilana dicing, nilo awọn ilọsiwaju siwaju sii ni gige awọn irinṣẹ ati awọn imuposi.
Gẹgẹbi ilana to ṣe pataki ni ile-iṣẹ semikondokito, dicing wafer tẹsiwaju lati wa ni iṣapeye ni idahun si awọn ibeere idagbasoke ati awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ, fifi ipilẹ ipilẹ fun microelectronics iwaju ati awọn imọ-ẹrọ iyika iṣọpọ.
Awọn ilọsiwaju ni imọ-ẹrọ dicing wafer lọ kọja idagbasoke awọn ohun elo iranlọwọ ati awọn irinṣẹ. Wọn tun yika iṣapeye ilana, awọn imudara ni iṣẹ ohun elo, ati iṣakoso deede ti awọn aye dicing. Awọn ilọsiwaju wọnyi ni ifọkansi lati rii daju pe konge giga, ṣiṣe, ati iduroṣinṣin ninu ilana dicing wafer, pade iwulo ile-iṣẹ semikondokito fun awọn iwọn kekere, isọpọ giga, ati awọn ẹya chirún eka diẹ sii.
| imudarasi Area | Awọn wiwọn kan pato | Awọn ipa |
| Imudara ilana | - Ṣe ilọsiwaju awọn igbaradi ibẹrẹ, gẹgẹbi ipo wafer deede diẹ sii ati igbero ọna. | - Din gige awọn aṣiṣe ati ki o mu iduroṣinṣin. |
| - Dinku awọn aṣiṣe gige ati mu iduroṣinṣin pọ si. | - Gba ibojuwo akoko gidi ati awọn ẹrọ esi lati ṣatunṣe titẹ ọpa, iyara, ati iwọn otutu. | |
| - Isalẹ wafer breakage awọn ošuwọn ati ki o mu ërún didara. | ||
| Equipment Performance Imudara | - Lo awọn ọna ṣiṣe ẹrọ pipe-giga ati imọ-ẹrọ iṣakoso adaṣe ilọsiwaju. | - Imudara gige iṣedede ati dinku idinku ohun elo. |
| - Ṣe afihan imọ-ẹrọ gige laser ti o dara fun awọn wafers ohun elo lile-giga. | - Ṣe ilọsiwaju iṣelọpọ iṣelọpọ ati dinku awọn aṣiṣe afọwọṣe. | |
| - Mu adaṣe ohun elo pọ si fun ibojuwo laifọwọyi ati awọn atunṣe. | ||
| Iṣakoso paramita kongẹ | - Ṣe atunṣe daradara bi ijinle gige, iyara, iru irinṣẹ ati awọn ọna itutu agbaiye. | - Rii daju pe iyege ati iṣẹ itanna. |
| - Ṣe akanṣe awọn aye ti o da lori ohun elo wafer, sisanra, ati eto. | - Igbelaruge awọn oṣuwọn ikore, dinku egbin ohun elo, ati awọn idiyele iṣelọpọ kekere. | |
| Ilana Pataki | - Tẹsiwaju ṣawari awọn ọna imọ-ẹrọ tuntun, mu awọn ilana ṣiṣẹ, ati mu awọn agbara ohun elo ṣiṣẹ lati pade awọn ibeere ọja. | - Imudara ikore iṣelọpọ chirún ati iṣẹ ṣiṣe, atilẹyin idagbasoke ti awọn ohun elo tuntun ati awọn apẹrẹ chirún ilọsiwaju. |
1.2 Pataki ti Wafer Dicing
Wafer dicing ṣe ipa pataki ninu ilana iṣelọpọ semikondokito, ni ipa taara awọn igbesẹ ti o tẹle bi didara ati iṣẹ ti ọja ikẹhin. Pataki rẹ le ṣe alaye bi atẹle:
Ni akọkọ, deede ati aitasera ti dicing jẹ bọtini lati ṣe idaniloju ikore ërún ati igbẹkẹle. Lakoko iṣelọpọ, awọn wafers gba awọn igbesẹ sisẹ lọpọlọpọ lati dagba ọpọlọpọ awọn ẹya intricate Circuit, eyiti o gbọdọ pin ni deede si awọn eerun kọọkan (ku). Ti awọn aṣiṣe pataki ba wa ni titete tabi gige lakoko ilana dicing, awọn iyika le bajẹ, ni ipa lori iṣẹ ṣiṣe ati igbẹkẹle ti ërún. Nitorinaa, imọ-ẹrọ dicing pipe-giga kii ṣe idaniloju iduroṣinṣin ti chirún kọọkan ṣugbọn tun ṣe idiwọ ibajẹ si awọn iyika inu, imudarasi oṣuwọn ikore gbogbogbo.
Ni ẹẹkeji, dicing wafer ni ipa pataki lori ṣiṣe iṣelọpọ ati iṣakoso idiyele. Gẹgẹbi igbesẹ to ṣe pataki ninu ilana iṣelọpọ, ṣiṣe rẹ taara ni ipa lori ilọsiwaju ti awọn igbesẹ atẹle. Nipa jijẹ ilana dicing, jijẹ awọn ipele adaṣe, ati imudarasi awọn iyara gige, ṣiṣe iṣelọpọ gbogbogbo le ni ilọsiwaju pupọ.
Ni apa keji, ipadanu ohun elo lakoko dicing jẹ ifosiwewe pataki ni iṣakoso idiyele. Lilo awọn imọ-ẹrọ dicing ti ilọsiwaju kii ṣe dinku awọn adanu ohun elo ti ko wulo lakoko ilana gige ṣugbọn tun mu lilo wafer pọ si, nitorinaa dinku awọn idiyele iṣelọpọ.
Pẹlu awọn ilọsiwaju ninu imọ-ẹrọ semikondokito, awọn iwọn ila opin wafer tẹsiwaju lati pọ si, ati awọn iwuwo iyika dide ni ibamu, gbigbe awọn ibeere ti o ga julọ lori imọ-ẹrọ dicing. Awọn wafers ti o tobi ju nilo iṣakoso kongẹ diẹ sii ti awọn ipa-ọna gige, pataki ni awọn agbegbe iyika iwuwo giga, nibiti paapaa awọn iyapa kekere le jẹ ki ọpọlọpọ awọn eerun ni alebu awọn. Ni afikun, awọn wafers ti o tobi ju pẹlu awọn laini gige diẹ sii ati awọn igbesẹ ilana eka diẹ sii, pataki awọn ilọsiwaju siwaju ni konge, aitasera, ati ṣiṣe ti awọn imọ-ẹrọ dicing lati pade awọn italaya wọnyi.
1.3 Wafer Dicing ilana
Ilana dicing wafer ni gbogbo awọn igbesẹ lati ipele igbaradi si ayewo didara ikẹhin, pẹlu ipele kọọkan jẹ pataki si idaniloju didara ati iṣẹ ti awọn eerun diced. Ni isalẹ ni alaye alaye ti ipele kọọkan.
| Ipele | Alaye Apejuwe |
| Ipele Igbaradi | -Wafer Cleaning: Lo omi mimọ-giga ati awọn aṣoju mimọ amọja, ni idapo pẹlu ultrasonic tabi fifọ ẹrọ, lati yọ awọn aimọ, awọn patikulu, ati awọn idoti kuro, ni idaniloju oju ti o mọ. -Ipo ti o tọ: Lo awọn ohun elo to gaju lati rii daju pe wafer ti pin ni deede pẹlu awọn ọna gige ti a ṣe apẹrẹ. -Wafer imuduro: Ṣe aabo wafer sori fireemu teepu lati ṣetọju iduroṣinṣin lakoko gige, idilọwọ ibajẹ lati gbigbọn tabi gbigbe. |
| Ipele gige | -Blade Dicing: Gba awọn ipele ti o wa ni okuta iyebiye ti o ni iyara ti o ga julọ fun gige ti ara, ti o dara fun awọn ohun elo ti o da lori silikoni ati iye owo-doko. -Dicing lesa: Lo awọn ina ina laser ti o ga julọ fun gige ti kii ṣe olubasọrọ, apẹrẹ fun brittle tabi awọn ohun elo lile-giga bi gallium nitride, ti o funni ni pipe ti o ga julọ ati pipadanu ohun elo ti o dinku. -Awọn Imọ-ẹrọ Tuntun: Ṣe afihan laser ati awọn imọ-ẹrọ gige pilasima lati mu ilọsiwaju siwaju sii daradara ati deede lakoko ti o dinku awọn agbegbe ti o ni ipa lori ooru. |
| Ninu Alakoso | - Lo omi deionized (omi DI) ati awọn aṣoju mimọ amọja, ni idapo pẹlu ultrasonic tabi fifọ sokiri, lati yọ idoti ati eruku ti ipilẹṣẹ lakoko gige, idilọwọ awọn iṣẹku lati ni ipa awọn ilana atẹle tabi iṣẹ itanna chirún. - Omi DI mimọ-giga yago fun iṣafihan awọn idoti tuntun, ni idaniloju agbegbe wafer mimọ. |
| Igbeyewo Alakoso | -Ayẹwo opitika: Lo awọn ọna ṣiṣe wiwa opiti ni idapo pẹlu awọn algoridimu AI lati ṣe idanimọ awọn abawọn ni kiakia, aridaju ko si awọn dojuijako tabi chipping ninu awọn eerun diced, imudarasi ṣiṣe ayewo, ati idinku aṣiṣe eniyan. -Iwọn Iwọn: Daju pe awọn iwọn ërún pade awọn pato apẹrẹ. -Itanna Performance Igbeyewo: Rii daju pe iṣẹ itanna ti awọn eerun pataki ni ibamu pẹlu awọn iṣedede, iṣeduro igbẹkẹle ninu awọn ohun elo atẹle. |
| Ilana tito lẹsẹsẹ | - Lo awọn apa roboti tabi awọn agolo igbale lati ya awọn eerun ti o peye kuro ni fireemu teepu ati lẹsẹsẹ wọn laifọwọyi da lori iṣẹ ṣiṣe, ni idaniloju ṣiṣe iṣelọpọ ati irọrun lakoko imudara konge. |
Ilana gige wafer pẹlu mimọ wafer, ipo, gige, mimọ, ayewo, ati yiyan, pẹlu igbesẹ kọọkan jẹ pataki. Pẹlu awọn ilọsiwaju ni adaṣe, gige laser, ati awọn imọ-ẹrọ ayewo AI, awọn ọna gige wafer ode oni le ṣaṣeyọri pipe ti o ga julọ, iyara, ati pipadanu ohun elo kekere. Ni ọjọ iwaju, awọn imọ-ẹrọ gige tuntun bii lesa ati pilasima yoo rọpo gige gige abẹfẹlẹ ti aṣa lati pade awọn iwulo ti awọn aṣa chirún eka ti o pọ si, siwaju iwakọ idagbasoke ti awọn ilana iṣelọpọ semikondokito.
Imọ-ẹrọ Ige Wafer ati Awọn Ilana Rẹ
Aworan naa ṣapejuwe awọn imọ-ẹrọ gige wafer mẹta ti o wọpọ:Blade Dicing,Dicing lesa, atiPilasima Dicing. Ni isalẹ ni itupalẹ alaye ati alaye afikun ti awọn imọ-ẹrọ mẹta wọnyi:
Ni iṣelọpọ semikondokito, gige wafer jẹ igbesẹ pataki ti o nilo yiyan ọna gige ti o yẹ ti o da lori sisanra wafer. Igbesẹ akọkọ ni lati pinnu sisanra wafer. Ti sisanra wafer ba kọja 100 microns, dicing abẹfẹlẹ le yan bi ọna gige. Ti dicing abẹfẹlẹ ko ba dara, ọna dicing ṣẹ egungun le ṣee lo, eyiti o pẹlu gige gige akọwe mejeeji ati awọn ilana dicing abẹfẹlẹ.
Nigbati sisanra wafer ba wa laarin 30 ati 100 microns, ọna DBG (Dice Ṣaaju Lilọ) ni iṣeduro. Ni ọran yii, gige akọwe, dicing abẹfẹlẹ, tabi ṣatunṣe ọna gige bi o ṣe nilo ni a le yan lati ṣaṣeyọri awọn abajade to dara julọ.
Fun awọn wafers tinrin pẹlu sisanra ti o kere ju 30 microns, gige lesa di ọna ti o fẹ nitori agbara rẹ lati ge awọn wafers tinrin ni pipe laisi fa ibajẹ pupọ. Ti gige laser ko ba le pade awọn ibeere kan pato, gige pilasima le ṣee lo bi yiyan. Aworan ṣiṣan yii n pese ọna ipinnu ipinnu lati rii daju pe imọ-ẹrọ gige wafer ti o dara julọ ni a yan labẹ awọn ipo sisanra oriṣiriṣi.
2.1 Mechanical Ige Technology
Imọ-ẹrọ gige ẹrọ jẹ ọna ibile ni dicing wafer. Ilana ipilẹ ni lati lo kẹkẹ lilọ diamond yiyi iyara to ga bi ohun elo gige kan lati ge wafer. Ohun elo bọtini pẹlu spindle ti nru afẹfẹ, eyiti o ṣe awakọ ohun elo kẹkẹ didimu diamond ni awọn iyara giga lati ṣe gige kongẹ tabi gbigbe ni ọna gige ti a ti pinnu tẹlẹ. Imọ-ẹrọ yii jẹ lilo pupọ ni ile-iṣẹ nitori idiyele kekere rẹ, ṣiṣe giga, ati lilo gbooro.
Awọn anfani
Lile giga ati yiya resistance ti awọn irinṣẹ kẹkẹ lilọ diamond jẹki imọ-ẹrọ gige ẹrọ lati ṣe deede si awọn iwuge gige ti awọn ohun elo wafer pupọ, boya awọn ohun elo ti o da lori ohun alumọni tabi awọn semikondokito tuntun tuntun. Iṣiṣẹ rẹ rọrun, pẹlu awọn ibeere imọ-ẹrọ kekere ti o kere, siwaju igbega olokiki rẹ ni iṣelọpọ ibi-pupọ. Ni afikun, ni akawe si awọn ọna gige miiran bi gige laser, gige ẹrọ ni awọn idiyele iṣakoso diẹ sii, ti o jẹ ki o dara fun awọn iwulo iṣelọpọ iwọn-giga.
Awọn idiwọn
Pelu awọn anfani lọpọlọpọ rẹ, imọ-ẹrọ gige ẹrọ tun ni awọn idiwọn. Ni akọkọ, nitori olubasọrọ ti ara laarin ọpa ati wafer, konge gige jẹ iwọn to lopin, nigbagbogbo ti o yori si awọn iyapa iwọn ti o le ni ipa deede ti iṣakojọpọ chirún atẹle ati idanwo. Ni ẹẹkeji, awọn abawọn bii chipping ati dojuijako le waye ni irọrun lakoko ilana gige ẹrọ, eyiti kii ṣe ni ipa lori oṣuwọn ikore nikan ṣugbọn o tun le ni odi ni igbẹkẹle igbẹkẹle ati igbesi aye awọn eerun igi. Ibajẹ aapọn ti ẹrọ jẹ ipalara paapaa fun iṣelọpọ chirún iwuwo giga, paapaa nigba gige awọn ohun elo brittle, nibiti awọn ọran wọnyi jẹ olokiki diẹ sii.
Awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ
Lati bori awọn idiwọn wọnyi, awọn oniwadi n ṣe ilọsiwaju nigbagbogbo ilana gige ẹrọ. Awọn ilọsiwaju bọtini pẹlu imudara apẹrẹ ati yiyan ohun elo ti awọn kẹkẹ lilọ lati mu ilọsiwaju gige gige ati agbara duro. Ni afikun, iṣapeye apẹrẹ igbekalẹ ati awọn eto iṣakoso ti awọn ohun elo gige ti ni ilọsiwaju ilọsiwaju si iduroṣinṣin ati adaṣe ti ilana gige. Awọn ilọsiwaju wọnyi dinku awọn aṣiṣe ti o ṣẹlẹ nipasẹ awọn iṣẹ eniyan ati ilọsiwaju aitasera ti awọn gige. Ifihan ti iṣayẹwo ilọsiwaju ati awọn imọ-ẹrọ iṣakoso didara fun ibojuwo akoko gidi ti awọn asemase lakoko ilana gige ti tun ṣe ilọsiwaju igbẹkẹle gige ati ikore pupọ.
Idagbasoke ojo iwaju ati Awọn imọ-ẹrọ Tuntun
Botilẹjẹpe imọ-ẹrọ gige ẹrọ tun di ipo pataki ni gige wafer, awọn imọ-ẹrọ gige tuntun n ni ilọsiwaju ni iyara bi awọn ilana semikondokito ti dagbasoke. Fun apẹẹrẹ, ohun elo ti imọ-ẹrọ gige ina lesa gbona pese awọn solusan tuntun si konge ati awọn ọran abawọn ni gige ẹrọ. Ọna gige ti kii ṣe olubasọrọ yii dinku aapọn ti ara lori wafer, ni pataki idinku isẹlẹ ti chipping ati fifọ, paapaa nigbati gige awọn ohun elo brittle diẹ sii. Ni ọjọ iwaju, iṣọpọ ti imọ-ẹrọ gige ẹrọ pẹlu awọn imuposi gige ti n yọ jade yoo pese iṣelọpọ semikondokito pẹlu awọn aṣayan diẹ sii ati irọrun, imudara ilọsiwaju iṣelọpọ ati didara chirún.
Ni ipari, botilẹjẹpe imọ-ẹrọ gige ẹrọ ni awọn aalọ kan, awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ ti nlọ lọwọ ati iṣọpọ rẹ pẹlu awọn imuposi gige tuntun gba ọ laaye lati tun ṣe ipa pataki ni iṣelọpọ semikondokito ati ṣetọju ifigagbaga rẹ ni awọn ilana iwaju.
2.2 Lesa Ige Technology
Imọ-ẹrọ gige lesa, bi ọna tuntun ni gige wafer, ti gba akiyesi ni ibigbogbo ni ile-iṣẹ semikondokito nitori iṣedede giga rẹ, aini ibajẹ olubasọrọ ẹrọ, ati awọn agbara gige iyara. Imọ-ẹrọ yii nlo iwuwo agbara giga ati agbara idojukọ ti ina ina lesa lati ṣẹda agbegbe ti o kan ooru kekere lori oju ohun elo wafer. Nigbati ina ina lesa ti wa ni lilo si wafer, aapọn igbona ti ipilẹṣẹ fa ohun elo lati fọ ni ipo ti a yan, ni iyọrisi gige pipe.
Anfani ti lesa Ige Technology
• Ga konge: Agbara ipo ti kongẹ ti ina lesa ngbanilaaye fun micron tabi paapaa gige gige ipele nanometer, pade awọn ibeere ti imudara giga-giga ti ode oni, iṣelọpọ iṣọpọ iwuwo giga-giga.
• Ko si Olubasọrọ ẹrọ: Ige laser yago fun ifarakanra ti ara pẹlu wafer, idilọwọ awọn ọran ti o wọpọ ni gige ẹrọ, bii chipping ati fifẹ, ni pataki imudarasi oṣuwọn ikore ati igbẹkẹle ti awọn eerun igi.
• Yara Ige Iyara: Iyara giga ti gige laser ṣe alabapin si iṣelọpọ iṣelọpọ pọ si, ṣiṣe ni pataki julọ fun iwọn-nla, awọn oju iṣẹlẹ iṣelọpọ iyara.
Awọn italaya ti o dojukọ
• Ga Equipment iye owo: Idoko-owo akọkọ fun ohun elo gige laser jẹ giga, eyiti o ṣafihan titẹ ọrọ-aje, paapaa fun awọn ile-iṣẹ iṣelọpọ kekere si alabọde.
• Iṣakoso ilana eka: Ige laser nilo iṣakoso kongẹ ti ọpọlọpọ awọn paramita, pẹlu iwuwo agbara, ipo idojukọ, ati iyara gige, ṣiṣe ilana ilana.
• Awọn oran Agbegbe ti o ni OoruBotilẹjẹpe iseda ti kii ṣe olubasọrọ lesa gige dinku ibajẹ ẹrọ, aapọn igbona ti o ṣẹlẹ nipasẹ agbegbe ti o kan ooru (HAZ) le ni odi ni ipa lori awọn ohun-ini ohun elo wafer. Imudara ilọsiwaju ti ilana naa nilo lati dinku ipa yii.
Awọn Itọsọna Imudara Imọ-ẹrọ
Lati koju awọn italaya wọnyi, awọn oniwadi n dojukọ lori idinku awọn idiyele ohun elo, imudarasi ṣiṣe gige, ati jijẹ ṣiṣan ilana.
• Awọn Lasers to munadoko ati Awọn ọna ẹrọ Optical: Nipa idagbasoke awọn lasers ti o munadoko diẹ sii ati awọn ọna ẹrọ opiti ilọsiwaju, o ṣee ṣe lati dinku awọn idiyele ohun elo lakoko imudara gige titọ ati iyara.
• Ti o dara ju Ilana Parameters: Iwadi ti o jinlẹ lori ibaraenisepo laarin awọn lasers ati awọn ohun elo wafer ti wa ni ṣiṣe lati mu awọn ilana ti o dinku agbegbe ti o ni ipa lori ooru, nitorinaa imudarasi didara gige.
• Ni oye Iṣakoso Systems: Idagbasoke ti awọn imọ-ẹrọ iṣakoso oye ni ifọkansi lati ṣe adaṣe ati mu ilana gige laser, imudarasi iduroṣinṣin ati iduroṣinṣin rẹ.
Imọ-ẹrọ gige lesa jẹ doko gidi ni pataki ni awọn wafers tinrin ati awọn oju iṣẹlẹ gige pipe-giga. Bi awọn iwọn wafer ṣe n pọ si ati awọn iwuwo iyika ti dide, awọn ọna gige ẹrọ ibile n tiraka lati pade pipe-giga ati awọn ibeere ṣiṣe-giga ti iṣelọpọ semikondokito ode oni. Nitori awọn anfani alailẹgbẹ rẹ, gige laser n di ojutu ti o fẹ julọ ni awọn aaye wọnyi.
Botilẹjẹpe imọ-ẹrọ gige laser tun dojukọ awọn italaya bii awọn idiyele ohun elo giga ati idiju ilana, awọn anfani alailẹgbẹ rẹ ni pipe giga ati ibajẹ ti kii ṣe olubasọrọ jẹ ki o jẹ itọsọna pataki fun idagbasoke ni iṣelọpọ semikondokito. Bii imọ-ẹrọ laser ati awọn eto iṣakoso oye ti tẹsiwaju lati ni ilọsiwaju, gige lesa ni a nireti lati mu ilọsiwaju gige gige wafer siwaju ati didara, ṣiṣe idagbasoke idagbasoke ti ile-iṣẹ semikondokito.
2.3 Plasma Ige Technology
Imọ-ẹrọ gige pilasima, gẹgẹbi ọna dicing wafer ti n yọ jade, ti ni akiyesi pataki ni awọn ọdun aipẹ. Imọ-ẹrọ yii nlo awọn opo pilasima agbara-giga lati ge awọn wafer ni deede nipasẹ ṣiṣakoso agbara, iyara, ati ọna gige ti tan ina pilasima, ṣiṣe awọn abajade gige ti o dara julọ.
Ilana Ṣiṣẹ ati Awọn anfani
Ilana ti gige pilasima da lori iwọn otutu ti o ga, ti o ni agbara-agbara pilasima ti ipilẹṣẹ nipasẹ ẹrọ. Tan ina yii le gbona ohun elo wafer si yo tabi aaye vaporization ni iye akoko kukuru pupọ, ṣiṣe gige gige ni iyara. Ti a ṣe afiwe si ẹrọ ibile tabi gige laser, gige pilasima yiyara ati ṣe agbejade agbegbe ti o kan ooru ti o kere ju, ni imunadoko idinku iṣẹlẹ ti awọn dojuijako ati ibajẹ lakoko gige.
Ni awọn ohun elo ti o wulo, imọ-ẹrọ gige pilasima jẹ ogbon ni pataki ni mimu wafers pẹlu awọn apẹrẹ eka. Agbara-giga rẹ, tan ina pilasima adijositabulu le ni rọọrun ge awọn wafer ti o ni irisi alaibamu pẹlu konge giga. Nitorinaa, ni iṣelọpọ microelectronics, ni pataki ni iṣelọpọ ti adani ati kekere-ipele ti awọn eerun giga-giga, imọ-ẹrọ yii ṣafihan ileri nla fun lilo kaakiri.
Awọn italaya ati Awọn idiwọn
Pelu ọpọlọpọ awọn anfani ti imọ-ẹrọ gige pilasima, o tun dojukọ awọn italaya diẹ.
• eka ilana: Ilana gige pilasima jẹ eka ati pe o nilo awọn ohun elo ti o ga julọ ati awọn oniṣẹ iriri lati rii dajuišedede ati iduroṣinṣin ni gige.
• Iṣakoso Ayika ati Aabo: Iwọn otutu ti o ga, agbara-agbara ti pilasima ina nilo iṣakoso ayika ti o lagbara ati awọn ọna ailewu, eyi ti o mu ki iṣoro ati iye owo imuse.
Awọn itọsọna Idagbasoke Ọjọ iwaju
Pẹlu awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ, awọn italaya ti o nii ṣe pẹlu gige pilasima ni a nireti lati bori diẹdiẹ. Nipa idagbasoke ijafafa ati ohun elo gige iduroṣinṣin diẹ sii, igbẹkẹle lori awọn iṣẹ afọwọṣe le dinku, nitorinaa imudarasi ṣiṣe iṣelọpọ. Ni akoko kanna, iṣapeye awọn ilana ilana ati agbegbe gige yoo ṣe iranlọwọ kekere awọn eewu ailewu ati awọn idiyele iṣẹ.
Ninu ile-iṣẹ semikondokito, awọn imotuntun ni gige wafer ati imọ-ẹrọ dicing jẹ pataki lati wakọ idagbasoke ile-iṣẹ naa. Imọ-ẹrọ gige Plasma, pẹlu iṣedede giga rẹ, ṣiṣe, ati agbara lati mu awọn apẹrẹ wafer eka, ti farahan bi oṣere tuntun pataki ni aaye yii. Botilẹjẹpe diẹ ninu awọn italaya wa, awọn ọran wọnyi yoo ni idojukọ diẹdiẹ pẹlu ĭdàsĭlẹ imọ-ẹrọ ti o tẹsiwaju, mimu awọn iṣeeṣe diẹ sii ati awọn aye wa si iṣelọpọ semikondokito.
Awọn ireti ohun elo ti imọ-ẹrọ gige pilasima jẹ nla, ati pe o nireti lati ṣe ipa pataki diẹ sii ni iṣelọpọ semikondokito ni ọjọ iwaju. Nipasẹ imotuntun imọ-ẹrọ ti nlọsiwaju ati iṣapeye, gige pilasima kii yoo koju awọn italaya ti o wa tẹlẹ ṣugbọn tun di awakọ ti o lagbara ti idagbasoke ile-iṣẹ semikondokito.
2.4 Didara Didara ati Awọn Okunfa Ipa
Didara gige gige jẹ pataki fun iṣakojọpọ chirún atẹle, idanwo, ati iṣẹ gbogbogbo ati igbẹkẹle ti ọja ikẹhin. Awọn ọran ti o wọpọ ti o pade lakoko gige pẹlu awọn dojuijako, chipping, ati awọn iyapa gige. Awọn iṣoro wọnyi ni ipa nipasẹ awọn ifosiwewe pupọ ṣiṣẹ papọ.
| Ẹka | Akoonu | Ipa |
| Ilana Ilana | Iyara gige, oṣuwọn ifunni, ati ijinle gige taara ni ipa lori iduroṣinṣin ati deede ti ilana gige. Awọn eto ti ko tọ le ja si ifọkansi aapọn ati agbegbe ti o ni ipa ooru ti o pọ ju, ti o fa awọn dojuijako ati chipping. Ṣatunṣe awọn paramita ni deede ti o da lori ohun elo wafer, sisanra, ati awọn ibeere gige jẹ bọtini lati ṣaṣeyọri awọn abajade gige ti o fẹ. | Awọn paramita ilana ti o tọ rii daju gige kongẹ ati dinku eewu awọn abawọn bi awọn dojuijako ati chipping. |
| Ohun elo ati Ohun elo Okunfa | -Didara abẹfẹlẹ: Awọn ohun elo, líle, ati yiya resistance ti abẹfẹlẹ ni ipa awọn smoothness ti awọn Ige ilana ati awọn flatness ti awọn ge dada. Awọn abẹfẹlẹ ti ko ni agbara ṣe alekun ija ati aapọn gbona, ti o le ja si awọn dojuijako tabi chipping. Yiyan ohun elo abẹfẹlẹ ti o tọ jẹ pataki. -Coolant Performance: Awọn itutu ṣe iranlọwọ lati dinku iwọn otutu gige, dinku ija, ati idoti kuro. Itutu agbaiye ti ko ni agbara le ja si awọn iwọn otutu giga ati ikojọpọ idoti, ni ipa didara gige ati ṣiṣe. Yiyan daradara ati awọn itutu ọrẹ ayika jẹ pataki. | Didara abẹfẹlẹ ni ipa lori konge ati didan ti ge. Ailokun ailagbara le ja si didara gige ti ko dara ati ṣiṣe, ti n ṣe afihan iwulo fun lilo itutu to dara julọ. |
| Iṣakoso ilana ati Ayẹwo Didara | -Iṣakoso ilana: Abojuto akoko gidi ati atunṣe awọn ipilẹ gige bọtini lati rii daju iduroṣinṣin ati aitasera ninu ilana gige. -Ayẹwo didara: Awọn sọwedowo hihan lẹhin-gige, awọn wiwọn onisẹpo, ati idanwo iṣẹ ṣiṣe itanna ṣe iranlọwọ idanimọ ati koju awọn ọran didara ni kiakia, imudarasi gige deede ati aitasera. | Iṣakoso ilana ti o tọ ati ayewo didara ṣe iranlọwọ rii daju pe o ni ibamu, awọn abajade gige didara giga ati wiwa ni kutukutu ti awọn ọran ti o pọju. |
Imudara Didara Ige
Imudara didara gige nilo ọna pipe ti o ṣe akiyesi awọn ilana ilana, ohun elo ati yiyan ohun elo, iṣakoso ilana, ati ayewo. Nipa ṣiṣe atunṣe awọn imọ-ẹrọ gige nigbagbogbo ati awọn ọna ilana iṣapeye, konge ati iduroṣinṣin ti gige wafer le ni ilọsiwaju siwaju sii, pese atilẹyin imọ-ẹrọ igbẹkẹle diẹ sii fun ile-iṣẹ iṣelọpọ semikondokito.
# 03 Ifiweranṣẹ-Ige mimu ati Idanwo
3.1 Ninu ati gbigbe
Awọn igbesẹ mimọ ati gbigbe lẹhin gige wafer jẹ pataki fun aridaju didara ërún ati lilọsiwaju didan ti awọn ilana atẹle. Lakoko ipele yii, o ṣe pataki lati yọ idoti ohun alumọni daradara, iyoku tutu, ati awọn idoti miiran ti ipilẹṣẹ lakoko gige. O tun ṣe pataki lati rii daju pe awọn eerun igi ko bajẹ lakoko ilana mimọ, ati lẹhin gbigbe, rii daju pe ko si ọrinrin ti o wa lori dada chirún lati yago fun awọn ọran bii ipata tabi itujade elekitirosita.
Imudani Ige-lẹhin: Isọgbẹ ati Ilana gbigbe
| Igbesẹ Ilana | Akoonu | Ipa |
| Ninu Ilana | -ỌnaLo awọn aṣoju mimọ pataki ati omi mimọ, ni idapo pẹlu ultrasonic tabi awọn ilana fifọ ẹrọ fun mimọ. | Ṣe idaniloju yiyọkuro pipe ti awọn contaminants ati idilọwọ ibajẹ si awọn eerun nigba mimọ. |
| -Ninu Aṣoju Aṣayan: Yan da lori ohun elo wafer ati iru idoti lati rii daju mimọ ti o munadoko laisi ba chirún naa jẹ. | Aṣayan aṣoju ti o yẹ jẹ bọtini fun mimọ to munadoko ati aabo chirún. | |
| -Iṣakoso paramita: Ṣakoso ni iwọn otutu mimọ, akoko, ati ifọkansi ojutu mimọ lati ṣe idiwọ awọn ọran didara ti o fa nipasẹ mimọ aibojumu. | Awọn iṣakoso ṣe iranlọwọ lati yago fun ibajẹ wafer tabi fifi awọn idoti silẹ lẹhin, ni idaniloju didara deede. | |
| Ilana gbigbe | -Awọn ọna Ibile: Gbigbe afẹfẹ adayeba ati gbigbẹ afẹfẹ gbigbona, eyiti o ni iṣẹ ṣiṣe kekere ati pe o le ja si iṣelọpọ ina mọnamọna. | Le ja si ni losokepupo akoko gbigbe ati awọn ti o pọju aimi oran. |
| -Awọn imọ-ẹrọ igbalodeLo awọn imọ-ẹrọ to ti ni ilọsiwaju gẹgẹbi gbigbẹ igbale ati gbigbẹ infurarẹẹdi lati rii daju pe awọn eerun gbẹ ni kiakia ati yago fun awọn ipa ipalara. | Yiyara ati siwaju sii daradara gbigbe ilana, atehinwa ewu ti aimi yosita tabi ọrinrin-jẹmọ oran. | |
| Aṣayan ohun elo & Itọju | -Aṣayan ohun elo: Awọn ẹrọ mimu ti o ga julọ ati awọn ẹrọ gbigbẹ dara si ṣiṣe ṣiṣe daradara ati iṣakoso daradara awọn oran ti o pọju nigba mimu. | Awọn ẹrọ ti o ni agbara to ga julọ ṣe idaniloju sisẹ to dara julọ ati dinku o ṣeeṣe ti awọn aṣiṣe lakoko mimọ ati gbigbe. |
| -Itọju Ẹrọ: Ayẹwo deede ati itọju ohun elo rii daju pe o wa ni ipo iṣẹ ti o dara julọ, ti o ni idaniloju didara ërún. | Itọju to dara ṣe idilọwọ awọn ikuna ohun elo, ṣiṣe iṣeduro igbẹkẹle ati didara didara. |
Lẹhin-Ige Cleaning ati gbigbe
Awọn igbesẹ mimọ ati gbigbe lẹhin gige wafer jẹ eka ati awọn ilana elege ti o nilo akiyesi iṣọra ti awọn ifosiwewe pupọ lati rii daju abajade ṣiṣe ipari. Nipa lilo awọn ọna ijinle sayensi ati awọn ilana ti o muna, o ṣee ṣe lati rii daju pe chirún kọọkan wọ inu apoti ti o tẹle ati awọn ipele idanwo ni ipo ti o dara julọ.
Ayẹwo Ige-lẹhin ati Idanwo
| Igbesẹ | Akoonu | Ipa |
| Igbesẹ Ayewo | 1.Ayẹwo wiwoLo wiwo tabi ohun elo ayewo adaṣe lati ṣayẹwo fun awọn abawọn ti o han bi awọn dojuijako, chipping, tabi idoti lori dada chirún. Ṣe idanimọ awọn eerun ti o bajẹ ti ara lati yago fun egbin. | Ṣe iranlọwọ ni idamo ati imukuro awọn eerun abawọn ni kutukutu ilana, idinku pipadanu ohun elo. |
| 2.Iwọn IwọnLo awọn ẹrọ wiwọn deede lati ṣe iwọn awọn iwọn ërún ni deede, aridaju iwọn gige ni ibamu pẹlu awọn pato apẹrẹ ati idilọwọ awọn ọran iṣẹ tabi awọn iṣoro apoti. | Ṣe idaniloju awọn eerun igi wa laarin awọn opin iwọn ti a beere, idilọwọ ibajẹ iṣẹ tabi awọn iṣoro apejọ. | |
| 3.Itanna Performance Igbeyewo: Ṣe iṣiro awọn ipilẹ itanna bọtini bii resistance, capacitance, ati inductance, lati ṣe idanimọ awọn eerun ti ko ni ibamu ati rii daju pe awọn eerun iṣẹ-ṣiṣe nikan tẹsiwaju si ipele atẹle. | Ṣe idaniloju iṣẹ-ṣiṣe nikan ati awọn eerun-idanwo iṣẹ ṣiṣe siwaju ninu ilana, idinku eewu ikuna ni awọn ipele nigbamii. | |
| Igbeyewo Igbesẹ | 1.Idanwo iṣẹ-ṣiṣe: Daju pe iṣẹ ṣiṣe ipilẹ ti chirún n ṣiṣẹ bi a ti pinnu, idamo ati imukuro awọn eerun pẹlu awọn ajeji iṣẹ. | Ṣe idaniloju awọn eerun igi pade awọn ibeere iṣẹ ṣiṣe ipilẹ ṣaaju ilọsiwaju si awọn ipele nigbamii. |
| 2.Idanwo IgbẹkẹleṢe iṣiro iduroṣinṣin iṣẹ chirún labẹ lilo gigun tabi awọn agbegbe lile, ni igbagbogbo pẹlu ti ogbo otutu otutu, idanwo iwọn otutu kekere, ati idanwo ọriniinitutu lati ṣe afiwe awọn ipo iwọn gidi-aye. | Ṣe idaniloju pe awọn eerun igi le ṣiṣẹ ni igbẹkẹle labẹ ọpọlọpọ awọn ipo ayika, imudarasi gigun ati iduroṣinṣin ọja. | |
| 3.Idanwo ibamu: Daju pe chirún ṣiṣẹ daradara pẹlu awọn paati miiran tabi awọn ọna ṣiṣe, ni idaniloju pe ko si awọn aṣiṣe tabi ibajẹ iṣẹ nitori aiṣedeede. | Ṣe idaniloju iṣiṣẹ dan ni awọn ohun elo gidi-aye nipa idilọwọ awọn ọran ibamu. |
3.3 Iṣakojọpọ ati Ibi ipamọ
Lẹhin gige wafer, awọn eerun igi jẹ iṣelọpọ pataki ti ilana iṣelọpọ semikondokito, ati apoti wọn ati awọn ipele ibi ipamọ jẹ pataki bakanna. Iṣakojọpọ deede ati awọn ọna ibi ipamọ jẹ pataki kii ṣe fun aridaju aabo ati iduroṣinṣin ti awọn eerun nigba gbigbe ati ibi ipamọ ṣugbọn tun fun pese atilẹyin to lagbara fun iṣelọpọ atẹle, idanwo, ati awọn ipele apoti.
Akopọ ti Ayewo ati Awọn ipele Idanwo:
Ayewo ati awọn igbesẹ idanwo fun awọn eerun igi lẹhin gige wafer bo ọpọlọpọ awọn aaye, pẹlu ayewo wiwo, wiwọn iwọn, idanwo iṣẹ itanna, idanwo iṣẹ, idanwo igbẹkẹle, ati idanwo ibamu. Awọn igbesẹ wọnyi jẹ isọpọ ati ibaramu, ti n ṣe idena to lagbara lati rii daju didara ọja ati igbẹkẹle. Nipasẹ ayewo ti o muna ati awọn ilana idanwo, awọn ọran ti o pọju le ṣe idanimọ ati yanju ni iyara, aridaju ọja ikẹhin pade awọn ibeere alabara ati awọn ireti.
| Abala | Akoonu |
| Awọn iwọn Iṣakojọpọ | 1.Anti-aimi: Awọn ohun elo iṣakojọpọ yẹ ki o ni awọn ohun-ini anti-aimi ti o dara julọ lati ṣe idiwọ ina mọnamọna lati ba awọn ẹrọ jẹ tabi ni ipa lori iṣẹ wọn. |
| 2.Ẹri-ọrinrin: Awọn ohun elo iṣakojọpọ yẹ ki o ni itọju ọrinrin to dara lati ṣe idiwọ ibajẹ ati ibajẹ ti iṣẹ itanna ti o ṣẹlẹ nipasẹ ọriniinitutu. | |
| 3.Shockproof: Awọn ohun elo iṣakojọpọ yẹ ki o pese imudani-mọnamọna to munadoko lati daabobo awọn eerun igi lati gbigbọn ati ipa lakoko gbigbe. | |
| Ibi ipamọ Ayika | 1.Ọriniinitutu Iṣakoso: Ṣakoso ọriniinitutu ni deede laarin iwọn ti o yẹ lati ṣe idiwọ gbigba ọrinrin ati ipata ti o ṣẹlẹ nipasẹ ọriniinitutu ti o pọju tabi awọn ọran aimi ti o ṣẹlẹ nipasẹ ọriniinitutu kekere. |
| 2.Ìmọ́tótó: Ṣetọju agbegbe ibi ipamọ ti o mọ lati yago fun idoti ti awọn eerun nipasẹ eruku ati awọn aimọ. | |
| 3.Iṣakoso iwọn otutu: Ṣeto iwọn otutu ti o tọ ati ṣetọju iduroṣinṣin iwọn otutu lati yago fun ogbologbo isare nitori ooru ti o pọ tabi awọn iṣoro ifunmọ ti o ṣẹlẹ nipasẹ awọn iwọn otutu kekere. | |
| Ayẹwo deede | Ṣayẹwo nigbagbogbo ati ṣe iṣiro awọn eerun igi ti o fipamọ, ni lilo awọn ayewo wiwo, awọn wiwọn iwọn, ati awọn idanwo iṣẹ ṣiṣe itanna lati ṣe idanimọ ati koju awọn ọran ti o pọju ni ọna ti akoko. Da lori akoko ipamọ ati awọn ipo, gbero lilo awọn eerun igi lati rii daju pe wọn lo ni ipo to dara julọ. |
Ọrọ ti microcracks ati ibajẹ lakoko ilana dicing wafer jẹ ipenija pataki ni iṣelọpọ semikondokito. Aapọn gige jẹ idi akọkọ ti iṣẹlẹ yii, bi o ṣe ṣẹda awọn dojuijako kekere ati ibajẹ lori dada wafer, ti o yori si awọn idiyele iṣelọpọ pọ si ati idinku ninu didara ọja.
Lati le koju ipenija yii, o ṣe pataki lati dinku aapọn gige ati imuse awọn imuposi gige iṣapeye, awọn irinṣẹ, ati awọn ipo. Ifarabalẹ ṣọra si awọn okunfa bii ohun elo abẹfẹlẹ, iyara gige, titẹ, ati awọn ọna itutu le ṣe iranlọwọ lati dinku dida awọn microcracks ati ilọsiwaju ikore gbogbogbo ti ilana naa. Ni afikun, iwadii ti nlọ lọwọ sinu awọn imọ-ẹrọ gige ti ilọsiwaju diẹ sii, bii dicing laser, n ṣawari awọn ọna lati dinku awọn ọran wọnyi siwaju.
Gẹgẹbi ohun elo ẹlẹgẹ, awọn wafers jẹ itara si awọn iyipada igbekalẹ inu nigba ti o ba tẹriba si ẹrọ, gbona, tabi aapọn kemikali, ti o yori si dida awọn microcracks. Botilẹjẹpe awọn dojuijako wọnyi le ma ṣe akiyesi lẹsẹkẹsẹ, wọn le faagun ati fa ibajẹ diẹ sii bi ilana iṣelọpọ ti nlọsiwaju. Ọrọ yii di iṣoro paapaa lakoko iṣakojọpọ atẹle ati awọn ipele idanwo, nibiti awọn iyipada iwọn otutu ati awọn aapọn ẹrọ afikun le fa ki awọn microcracks wọnyi wa sinu awọn fifọ ti o han, ti o le ja si ikuna chirún.
Lati dinku eewu yii, o ṣe pataki lati ṣakoso ilana gige ni pẹkipẹki nipa mimuuwọn awọn aye bi iyara gige, titẹ, ati iwọn otutu. Lilo awọn ọna gige ibinu ti o dinku, gẹgẹbi dicing laser, le dinku aapọn ẹrọ lori wafer ki o dinku dida awọn microcracks. Ni afikun, imuse awọn ọna ayewo to ti ni ilọsiwaju bii ọlọjẹ infurarẹẹdi tabi aworan X-ray lakoko ilana dicing wafer le ṣe iranlọwọ lati rii awọn dojuijako ipele-tete wọnyi ṣaaju ki wọn fa ibajẹ siwaju sii.
Ibajẹ si dada wafer jẹ ibakcdun pataki ninu ilana dicing, bi o ṣe le ni ipa taara lori iṣẹ ti ërún ati igbẹkẹle. Iru ibajẹ bẹẹ le fa nipasẹ lilo aibojumu ti awọn irinṣẹ gige, awọn aye gige ti ko tọ, tabi awọn abawọn ohun elo ti o wa ninu wafer funrararẹ. Laibikita idi naa, awọn ibajẹ wọnyi le ja si awọn iyipada ninu resistance itanna tabi agbara ti Circuit, ni ipa lori iṣẹ ṣiṣe gbogbogbo.
Lati koju awọn ọran wọnyi, awọn ilana pataki meji ti wa ni iwadii:
1.Optimizing gige irinṣẹ ati awọn sile: Nipa lilo awọn abẹfẹlẹ ti o nipọn, atunṣe iyara gige, ati iyipada ijinle gige, ifọkansi aapọn lakoko ilana gige le dinku, nitorinaa dinku agbara fun ibajẹ.
2.Ṣawari awọn imọ-ẹrọ gige tuntun: Awọn imuposi ilọsiwaju bii gige laser ati gige pilasima nfunni ni ilọsiwaju to dara lakoko ti o le dinku ipele ibajẹ ti o fa lori wafer. Awọn imọ-ẹrọ wọnyi ni ikẹkọ lati wa awọn ọna lati ṣaṣeyọri deede gige gige lakoko ti o dinku iwọn otutu ati aapọn ẹrọ lori wafer.
Agbegbe Ipa Gbona ati Awọn ipa Rẹ lori Iṣe
Ninu awọn ilana gige igbona gẹgẹbi laser ati gige pilasima, awọn iwọn otutu ti o ga julọ laiseaniani ṣẹda agbegbe ipa igbona lori oju wafer. Agbegbe yii, nibiti iwọn otutu ti jẹ pataki, le paarọ awọn ohun-ini ohun elo, ni ipa lori iṣẹ ikẹhin ti ërún.
Ipa ti Agbegbe Ti o kan Gbona (TAZ):
Crystal Be AyipadaLabẹ awọn iwọn otutu ti o ga, awọn ọta laarin ohun elo wafer le tunto, ti o nfa awọn ipalọlọ ninu ilana gara. Yiyi ipalọlọ ṣe irẹwẹsi ohun elo naa, dinku agbara ẹrọ ati iduroṣinṣin, eyiti o mu eewu ikuna chirún pọ si lakoko lilo.
Ayipada ninu Electrical Properties: Awọn iwọn otutu ti o ga le paarọ ifọkansi ti ngbe ati arinbo ni awọn ohun elo semikondokito, ti o ni ipa lori ina elekitiriki ti chirún ati ṣiṣe gbigbe lọwọlọwọ. Awọn ayipada wọnyi le ja si idinku ninu iṣẹ chirún, ti o le jẹ ki o ko yẹ fun idi ti a pinnu rẹ.
Lati dinku awọn ipa wọnyi, ṣiṣakoso iwọn otutu lakoko gige, iṣapeye awọn aye gige, ati awọn ọna ti n ṣawari bi awọn ọkọ ofurufu itutu agbaiye tabi awọn itọju lẹhin-ilọsiwaju jẹ awọn ilana pataki lati dinku iwọn ipa igbona ati ṣetọju iduroṣinṣin ohun elo.
Lapapọ, awọn microcracks mejeeji ati awọn agbegbe ikolu gbona jẹ awọn italaya pataki ni imọ-ẹrọ dicing wafer. Iwadi ti o tẹsiwaju, lẹgbẹẹ awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ ati awọn iwọn iṣakoso didara, yoo jẹ pataki lati mu didara awọn ọja semikondokito pọ si ati mu ifigagbaga ọja wọn pọ si.
Awọn igbese lati Ṣakoso Agbegbe Ipa Gbona:
Ti o dara ju Ige Ilana paramita: Idinku iyara gige ati agbara le dinku iwọn ti agbegbe ikolu gbona (TAZ). Eyi ṣe iranlọwọ ni ṣiṣakoso iye ooru ti ipilẹṣẹ lakoko ilana gige, eyiti o ni ipa taara awọn ohun-ini ohun elo ti wafer.
To ti ni ilọsiwaju itutu Technologies: Ohun elo ti awọn imọ-ẹrọ bii itutu agbaiye nitrogen olomi ati itutu agbaiye microfluidic le ṣe opin ni pataki ni iwọn agbegbe agbegbe ikolu gbona. Awọn ọna itutu agbaiye wọnyi ṣe iranlọwọ lati tu ooru silẹ daradara siwaju sii, nitorinaa titọju awọn ohun-ini ohun elo wafer ati idinku awọn ibajẹ igbona.
Aṣayan ohun elo: Awọn oniwadi n ṣawari awọn ohun elo titun, gẹgẹbi awọn nanotubes carbon ati graphene, eyiti o ni imudara igbona ti o dara julọ ati agbara ẹrọ. Awọn ohun elo wọnyi le dinku agbegbe ikolu ti o gbona lakoko ti o ni ilọsiwaju iṣẹ ṣiṣe ti awọn eerun igi.
Ni akojọpọ, botilẹjẹpe agbegbe ikolu igbona jẹ abajade ti ko ṣeeṣe ti awọn imọ-ẹrọ gige igbona, o le ni iṣakoso ni imunadoko nipasẹ awọn ilana imupese iṣapeye ati yiyan ohun elo. Iwadi ojo iwaju yoo ṣee ṣe idojukọ lori isọdọtun-itanran ati adaṣe adaṣe awọn ilana gige igbona lati ṣaṣeyọri daradara diẹ sii ati dicing wafer deede.
Ilana iwọntunwọnsi:
Iṣeyọri iwọntunwọnsi aipe laarin ikore wafer ati ṣiṣe iṣelọpọ jẹ ipenija igbagbogbo ni imọ-ẹrọ dicing wafer. Awọn aṣelọpọ nilo lati gbero awọn ifosiwewe pupọ, gẹgẹbi ibeere ọja, awọn idiyele iṣelọpọ, ati didara ọja, lati ṣe agbekalẹ ilana iṣelọpọ onipin ati awọn aye ilana. Ni akoko kanna, iṣafihan ohun elo gige ilọsiwaju, imudarasi awọn ọgbọn oniṣẹ, ati imudara iṣakoso didara ohun elo jẹ pataki si mimu tabi paapaa ilọsiwaju ikore lakoko ti o pọ si ṣiṣe iṣelọpọ.
Awọn Ipenija Ọjọ iwaju ati Awọn aye:
Pẹlu ilọsiwaju ti imọ-ẹrọ semikondokito, gige wafer dojukọ awọn italaya ati awọn aye tuntun. Bi awọn iwọn ërún ti dinku ati isọpọ pọ si, awọn ibeere lori gige konge ati didara dagba ni pataki. Ni igbakanna, awọn imọ-ẹrọ ti n yọ jade pese awọn imọran tuntun fun idagbasoke awọn imuposi gige wafer. Awọn aṣelọpọ gbọdọ wa ni ibamu si awọn agbara ọja ati awọn aṣa imọ-ẹrọ, n ṣatunṣe nigbagbogbo ati iṣapeye awọn ilana iṣelọpọ ati awọn aye ilana lati pade awọn iyipada ọja ati awọn ibeere imọ-ẹrọ.
Ni ipari, nipa sisọpọ awọn akiyesi ti ibeere ọja, awọn idiyele iṣelọpọ, ati didara ọja, ati nipa iṣafihan ohun elo to ti ni ilọsiwaju ati imọ-ẹrọ, imudara awọn ọgbọn oniṣẹ, ati imudara iṣakoso ohun elo aise, awọn aṣelọpọ le ṣaṣeyọri iwọntunwọnsi ti o dara julọ laarin ikore wafer ati ṣiṣe iṣelọpọ lakoko dicing wafer. , yori si daradara ati ki o ga-didara semikondokito ọja gbóògì.
Oju ojo iwaju:
Pẹlu awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ iyara, imọ-ẹrọ semikondokito ti nlọsiwaju ni iyara ti a ko ri tẹlẹ. Gẹgẹbi igbesẹ to ṣe pataki ni iṣelọpọ semikondokito, imọ-ẹrọ gige wafer ti ṣetan fun awọn idagbasoke tuntun moriwu. Ni wiwa siwaju, imọ-ẹrọ gige wafer ni a nireti lati ṣaṣeyọri awọn ilọsiwaju pataki ni konge, ṣiṣe, ati idiyele, titọ agbara tuntun sinu idagbasoke ilọsiwaju ti ile-iṣẹ semikondokito.
Itọkasi ti o pọ si:
Ni ilepa ti konge giga, imọ-ẹrọ gige wafer yoo Titari awọn opin ti awọn ilana ti o wa nigbagbogbo. Nipa ikẹkọ jinna awọn ọna ṣiṣe ti ara ati kemikali ti ilana gige ati ṣiṣakoso awọn aye gige ni deede, awọn abajade gige ti o dara julọ yoo ṣaṣeyọri lati pade awọn ibeere apẹrẹ iyika eka ti o pọ si. Ni afikun, iṣawari ti awọn ohun elo titun ati awọn ọna gige yoo mu ilọsiwaju ati didara pọ si ni pataki.
Imudara Imudara:
Ohun elo gige wafer tuntun yoo dojukọ ọlọgbọn ati apẹrẹ adaṣe. Ifilọlẹ ti awọn eto iṣakoso ilọsiwaju ati awọn algoridimu yoo jẹki ohun elo lati ṣatunṣe awọn iwọn gige laifọwọyi lati gba awọn ohun elo oriṣiriṣi ati awọn ibeere apẹrẹ, nitorinaa imudarasi iṣelọpọ iṣelọpọ ni pataki. Awọn imotuntun bii imọ-ẹrọ gige ọpọ-wafer ati awọn eto rirọpo abẹfẹlẹ iyara yoo ṣe ipa pataki ni imudara ṣiṣe.
Idinku Awọn idiyele:
Idinku awọn idiyele jẹ itọsọna bọtini fun idagbasoke imọ-ẹrọ gige wafer. Bii awọn ohun elo tuntun ati awọn ọna gige ti ni idagbasoke, awọn idiyele ohun elo ati awọn inawo itọju ni a nireti lati ṣakoso ni imunadoko. Ni afikun, iṣapeye awọn ilana iṣelọpọ ati idinku awọn oṣuwọn alokuirin yoo dinku idọti siwaju lakoko iṣelọpọ, ti o yori si idinku ninu awọn idiyele iṣelọpọ lapapọ.
Ṣiṣẹda Smart ati IoT:
Ijọpọ ti iṣelọpọ ọlọgbọn ati Intanẹẹti ti Awọn ohun (IoT) awọn imọ-ẹrọ yoo mu awọn iyipada iyipada si imọ-ẹrọ gige gige. Nipasẹ interconnectivity ati data pinpin laarin awọn ẹrọ, gbogbo igbese ti isejade ilana le ti wa ni abojuto ati ki o iṣapeye ni akoko gidi. Eyi kii ṣe ilọsiwaju iṣelọpọ iṣelọpọ nikan ati didara ọja ṣugbọn tun pese awọn ile-iṣẹ pẹlu asọtẹlẹ ọja deede diẹ sii ati atilẹyin ṣiṣe ipinnu.
Ni ọjọ iwaju, imọ-ẹrọ gige wafer yoo ṣe awọn ilọsiwaju iyalẹnu ni pipe, ṣiṣe, ati idiyele. Awọn ilọsiwaju wọnyi yoo wakọ idagbasoke ilọsiwaju ti ile-iṣẹ semikondokito ati mu awọn imotuntun imọ-ẹrọ diẹ sii ati awọn irọrun si awujọ eniyan.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-19-2024