SiC Seramiki Fork Arm / Ipari Ipari – Imudani Imudani Ilọsiwaju fun iṣelọpọ Semikondokito

SiC Ceramic Fork Arm / Ipari Ipari – Imudani Imudani Ilọsiwaju fun iṣelọpọ Semikondokito Aworan Ifihan

Apejuwe kukuru:

SiC Ceramic Fork Arm, nigbagbogbo tọka si bi Igbẹhin Ipari seramiki, jẹ ẹya paati mimu deede ti iṣẹ ṣiṣe ti o ni idagbasoke pataki fun gbigbe wafer, titete, ati ipo ni awọn ile-iṣẹ imọ-ẹrọ giga, pataki laarin semikondokito ati iṣelọpọ fọtovoltaic. Ti a ṣe ni lilo awọn ohun elo ohun alumọni ohun alumọni carbide mimọ-giga, paati yii ṣajọpọ agbara ẹrọ iyasọtọ, imugboroja igbona kekere-kekere, ati resistance ti o ga julọ si mọnamọna gbona ati ipata.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Awọn ẹya ara ẹrọ

Alaye aworan atọka

ọja Akopọ

Ko dabi awọn ipa opin ibilẹ ti a ṣe lati aluminiomu, irin alagbara, tabi paapaa quartz, SiC ceramic end effectors n funni ni iṣẹ aiṣedeede ni awọn iyẹwu igbale, awọn yara mimọ, ati awọn agbegbe sisẹ lile, ṣiṣe wọn jẹ apakan pataki ti awọn roboti mimu wafer iran atẹle. Pẹlu ibeere ti o pọ si fun iṣelọpọ ti ko ni idoti ati awọn ifarada wiwọ ni chirún, lilo awọn ipa ipari seramiki n yarayara di idiwọn ile-iṣẹ.

Ilana iṣelọpọ

Awọn iro tiSiC seramiki Ipari Effectorspẹlu lẹsẹsẹ ti konge-giga, awọn ilana mimọ-giga ti o rii daju iṣẹ ṣiṣe mejeeji ati agbara. Awọn ilana akọkọ meji ni a lo nigbagbogbo:

Silicon Carbide (RB-SiC) Ibaṣepọ

Ninu ilana yii, apẹrẹ ti a ṣe lati inu ohun alumọni carbide lulú ati alapapọ ti wa ni infiltrated pẹlu ohun alumọni didà ni awọn iwọn otutu giga (~ 1500 ° C), eyiti o ṣe pẹlu erogba ti o ku lati ṣe ipon, akojọpọ SiC-Si lile. Ọna yii nfunni ni iṣakoso onisẹpo to dara julọ ati pe o munadoko-doko fun iṣelọpọ iwọn-nla.

Silicon Carbide Sintered ti ko ni titẹ (SSiC)

SSiC jẹ ṣiṣe nipasẹ sintering ultra-fine, ga-mimọ SiC lulú ni awọn iwọn otutu ti o ga pupọ (> 2000°C) laisi lilo awọn afikun tabi ipele abuda kan. Eyi ṣe abajade ọja kan pẹlu iwuwo 100% ti o ga julọ ati awọn ohun-ini gbona ti o wa laarin awọn ohun elo SiC. O ti wa ni apẹrẹ fun olekenka-lominu ni mimu awọn ohun elo wafer.

Ifiranṣẹ-Iṣẹ

Konge CNC Machining: Aseyori ga flatness ati parallelism.
Dada Ipari: Diyanmọ didan yoo dinku aijẹ oju si <0.02 µm.
Ayewo: Interferometry opitika, CMM, ati idanwo ti kii ṣe iparun ti wa ni iṣẹ lati rii daju nkan kọọkan.

Awọn wọnyi ni awọn igbesẹ ti onigbọwọ wipe awọnSiC opin ipan pese deede gbigbe wafer deede, eto ti o dara julọ, ati iran patiku kekere.

Key Awọn ẹya ara ẹrọ ati awọn anfani

Ẹya ara ẹrọ	Apejuwe
Ultra-High Lile	Vickers líle> 2500 HV, koju yiya ati chipping.
Low Gbona Imugboroosi	CTE ~ 4.5×10⁻⁶/K, nmu iduroṣinṣin iwọn ni gigun kẹkẹ gbigbona.
Kẹmika Inertness	Sooro si HF, HCl, awọn gaasi pilasima, ati awọn aṣoju ipata miiran.
O tayọ Gbona mọnamọna Resistance	Dara fun iyara alapapo / itutu agbaiye ni igbale ati awọn eto ileru.
Ga Rigidity ati Agbara	Atilẹyin gun cantilevered orita apa lai deflection.
Low Outgassing	Apẹrẹ fun ultra-high vacuum (UHV) awọn agbegbe.
ISO Class 1 Cleanroom Ṣetan	Iṣe-ọfẹ patiku ṣe idaniloju iduroṣinṣin wafer.

Awọn ohun elo

SiC Ceramic Fork Arm / End Effector jẹ lilo pupọ ni awọn ile-iṣẹ ti o nilo pipe pipe, mimọ, ati resistance kemikali. Awọn oju iṣẹlẹ bọtini ohun elo pẹlu:

Semikondokito Manufacturing

Ikojọpọ Wafer/ṣiṣi silẹ ni ifisilẹ (CVD, PVD), etching (RIE, DRIE), ati awọn eto mimọ.
Gbigbe wafer roboti laarin awọn FOUPs, awọn kasẹti, ati awọn irinṣẹ ilana.
Mimu iwọn otutu to gaju lakoko sisẹ gbona tabi annealing.

Iṣẹjade sẹẹli Fọtovoltaic

Gbigbe elege ti awọn wafer ohun alumọni ẹlẹgẹ tabi awọn sobusitireti oorun ni awọn laini adaṣe.

Alapin Panel Ifihan (FPD) Industry

Gbigbe awọn panẹli gilasi nla tabi awọn sobusitireti ni awọn agbegbe iṣelọpọ OLED/LCD.

Apapo Semikondokito / MEMS

Ti a lo ninu GaN, SiC, ati awọn laini iṣelọpọ MEMS nibiti iṣakoso idoti ati deede ipo jẹ pataki.

Ipa ipa ipa ipari rẹ jẹ pataki pataki ni aridaju laisi abawọn, mimu iduroṣinṣin lakoko awọn iṣẹ ifura.

Awọn agbara isọdi

A nfunni ni isọdi nla lati pade awọn ohun elo oriṣiriṣi ati awọn ibeere ilana:

Apẹrẹ orita: Meji-prong, olona-ika, tabi pipin-ipele ipalemo.
Wafer Iwon ibamu: Lati 2 "si 12" wafers.
Iṣagbesori atọkun: Ni ibamu pẹlu OEM roboti apá.
Sisanra & Dada Tolerances: Micron-ipele flatness ati eti iyipo wa.
Anti-isokuso Awọn ẹya ara ẹrọ: Iyan dada awoara tabi ti a bo fun aabo wafer bere si.

Kọọkanseramiki opin ipati ṣe apẹrẹ pẹlu awọn alabara lati rii daju pe ibamu pẹlu awọn ayipada ohun elo kekere.

Awọn Ibeere Nigbagbogbo (FAQ)

Q1: Bawo ni SiC ṣe dara ju quartz fun ohun elo ipa opin kan?
A1:Lakoko ti kuotisi jẹ lilo nigbagbogbo fun mimọ rẹ, ko ni agbara ẹrọ ati pe o ni itara si fifọ labẹ ẹru tabi mọnamọna otutu. SiC nfunni ni agbara ti o ga julọ, resistance resistance, ati iduroṣinṣin igbona, ni pataki idinku eewu ti akoko idinku ati ibajẹ wafer.

Q2: Ṣe apa orita seramiki yii ni ibamu pẹlu gbogbo awọn olutọju wafer roboti bi?
A2:Bẹẹni, awọn ipa ipari seramiki wa ni ibamu pẹlu awọn ọna ṣiṣe mimu wafer pupọ julọ ati pe o le ṣe deede si awọn awoṣe roboti pato rẹ pẹlu awọn iyaworan imọ-ẹrọ to pe.

Q3: Ṣe o le mu awọn wafers 300 mm laisi gbigbọn?
A3:Nitootọ. Rigidity giga ti SiC ngbanilaaye paapaa tinrin, awọn apa orita gigun lati mu awọn wafer 300 mm ni aabo laisi sagging tabi iyipada lakoko išipopada.

Q4: Kini igbesi aye iṣẹ aṣoju ti SiC seramiki opin ipa?
A4:Pẹlu lilo to dara, olupilẹṣẹ ipari SiC le ṣiṣe ni 5 si awọn akoko 10 to gun ju quartz ibile tabi awọn awoṣe aluminiomu, o ṣeun si resistance to dara julọ si igbona ati aapọn ẹrọ.

Q5: Ṣe o funni ni awọn iyipada tabi awọn iṣẹ afọwọṣe iyara bi?
A5:Bẹẹni, a ṣe atilẹyin iṣelọpọ iyara ni iyara ati pese awọn iṣẹ rirọpo ti o da lori awọn iyaworan CAD tabi awọn ẹya ti a ṣe atunṣe lati ẹrọ ti o wa tẹlẹ.

Nipa re

XKH ṣe amọja ni idagbasoke imọ-ẹrọ giga, iṣelọpọ, ati tita ti gilasi opiti pataki ati awọn ohun elo gara titun. Awọn ọja wa ṣe iranṣẹ ẹrọ itanna opiti, ẹrọ itanna olumulo, ati ologun. A nfun awọn paati opiti Sapphire, awọn ideri lẹnsi foonu alagbeka, Awọn ohun elo amọ, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ati awọn wafers garawa semikondokito. Pẹlu oye oye ati ohun elo gige-eti, a tayọ ni iṣelọpọ ọja ti kii ṣe deede, ni ero lati jẹ oludari awọn ohun elo optoelectronic ile-iṣẹ giga-imọ-ẹrọ.