Wafer Sapphire Inṣi 12 fun Iṣelọpọ Semiconductor Oniruuru Giga

Àwòrán tí a fi Sapphire Wafer ṣe fún Ìṣẹ̀dá Semiconductor Oníwọ̀n Gíga

Àpèjúwe Kúkúrú:

A ṣe àgbékalẹ̀ wafer sapphire 12 inch láti bá ìbéèrè tó ń pọ̀ sí i fún iṣẹ́ semiconductor oní-gíga àti optoelectronic mu. Bí àwọn ẹ̀rọ ṣe ń tẹ̀síwájú láti gbòòrò sí i àti bí àwọn ìlà iṣẹ́ ṣe ń lọ sí àwọn ọ̀nà wafer tó tóbi sí i, àwọn ohun èlò sapphire tí wọ́n ní àwọn ìlà tó tóbi púpọ̀ ń fúnni ní àǹfààní tó ṣe kedere nínú iṣẹ́, ìṣelọ́pọ́ ìdàgbàsókè, àti ìṣàkóso iye owó.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Àwọn ẹ̀yà ara

Àwòrán Àlàyé

Ifihan ti wafer sapphire 12 inch

A ṣe é láti inú Al₂O₃ tó jẹ́ mímọ́ tónítóní, àwọn wáfáà onírun méjìlá wa ń so agbára ẹ̀rọ tó dára, ìdúróṣinṣin ooru, àti dídára ojú ilẹ̀ pọ̀. Nípasẹ̀ ìdàgbàsókè kírísítàlì tó dára àti ṣíṣe wáfáàlì tó péye, àwọn ohun èlò wọ̀nyí ń ṣe iṣẹ́ tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún àwọn ohun èlò LED tó ti ní ìlọsíwájú, GaN, àti àwọn ohun èlò semiconductor pàtàkì.

Àwọn Ànímọ́ Ohun Èlò

Sapphire (oxid aluminiomu kan ṣoṣo, Al₂O₃) ni a mọ daradara fun awọn agbara ti ara ati kemikali rẹ ti o tayọ. Awọn wafer sapphire inṣi 12 jogun gbogbo awọn anfani ti ohun elo sapphire lakoko ti o pese agbegbe ilẹ ti o tobi pupọ.

Awọn ẹya ara ẹrọ pataki ti ohun elo pẹlu:

Agbara giga pupọ ati resistance yiya
Iduroṣinṣin ooru to dara julọ ati aaye yo giga
Agbara resistance kemikali to ga julọ si awọn acids ati alkalis
Ifihan opitika giga lati UV si awọn igbi gigun IR
Awọn ohun-ini idabobo itanna to dara julọ

Àwọn ànímọ́ wọ̀nyí mú kí àwọn wáfárì sapphire tó tó 12 inches yẹ fún àwọn àyíká iṣẹ́ ṣíṣe líle koko àti àwọn ìlànà iṣẹ́ semiconductor tó ní iwọ̀n otútù gíga.

Ilana Iṣelọpọ

Ṣíṣe àwọn wafer sapphire oníwọ̀n 12 inches nílò ìdàgbàsókè kristali tó ga jùlọ àti àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ tó péye. Ìlànà ìṣelọ́pọ́ tó wọ́pọ̀ ní:

Ìdàgbàsókè Kírísítà Kanṣoṣo
Àwọn kirisita sapphire tí ó mọ́ tónítóní ni a ń gbìn nípa lílo àwọn ọ̀nà ìdàgbàsókè bíi KY tàbí àwọn ìmọ̀-ẹ̀rọ ìdàgbàsókè kirisita oníwọ̀n ńlá mìíràn, èyí tí ó ń rí i dájú pé ìtọ́sọ́nà kirisita kan náà wà ní ìbámu pẹ̀lú ìdààmú inú tí ó kéré.
Ṣíṣe àwòkọ́ àti gígé kirisita
A ṣe apẹrẹ sapphire ingot naa ni deede ati ge si awọn wafers inṣi 12 nipa lilo awọn ohun elo gige ti o peye pupọ lati dinku ibajẹ isalẹ ilẹ.
Lílọ àti Ṣíṣe àtúnṣe
A lo ilana fifi ọpọlọpọ awọn igbesẹ ati didan ẹrọ kemikali (CMP) lati ṣaṣeyọri rirọ dada ti o tayọ, fifẹ, ati iṣọkan sisanra.
Ìmọ́tótó àti Àyẹ̀wò
A máa ń fọ gbogbo wafer sapphire inṣi 12 kọ̀ọ̀kan mọ́ tónítóní, a sì máa ń ṣe àyẹ̀wò rẹ̀ dáadáa, títí kan dídára ojú ilẹ̀, TTV, ọrùn, ìfọ́wọ́, àti àbùkù.

Àwọn ohun èlò ìlò

Àwọn wáfárì onírun méjìlá tí wọ́n ní ìyẹ̀fun ni a ń lò fún àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ tó ti wà ní ìlọsíwájú àti àwọn tó ń yọjú, títí bí:

Awọn ipilẹ LED ti o ni agbara giga ati imọlẹ giga
Àwọn ẹ̀rọ agbára tí ó dá lórí GaN àti àwọn ẹ̀rọ RF
Àwọn ohun èlò ìtọ́jú àti àwọn ohun èlò ìdábòbò Semiconductor
Àwọn fèrèsé opitika àti àwọn ohun èlò opitika agbègbè ńlá
Iṣakojọpọ semiconductor ti ilọsiwaju ati awọn ọkọ ilana pataki

Iwọn ila opin nla naa mu ki iṣelọpọ giga ati ilọsiwaju iye owo ni iṣelọpọ ibi-pupọ.

Àwọn àǹfààní ti àwọn Wafer Sapphire Inch 12

Agbegbe ti o tobi julọ ti o le lo fun iṣelọpọ ẹrọ ti o ga julọ fun wafer kan
Iduroṣinṣin ati iṣọkan ilana ti o dara si
Iye owo ti o dinku fun ẹrọ kan ni iṣelọpọ iwọn didun giga
Agbara ẹrọ ti o tayọ fun mimu iwọn nla
Awọn pato ti a le ṣe adani fun awọn ohun elo oriṣiriṣi

Àwọn Àṣàyàn Àṣàyàn

A n pese isọdi ti o rọ fun awọn wafer sapphire inch 12, pẹlu:

Ìtọ́sọ́nà kirisita (C-plane, A-plane, R-plane, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ)
Ifarada si sisanra ati iwọn ila opin
Ṣíṣe ìfọṣọ ẹ̀gbẹ́ kan tàbí ẹ̀gbẹ́ méjì
Profaili eti ati apẹrẹ chamfer
Awọn ibeere ti o ni rirọ ati fifẹ dada

Pílámẹ́rà	Ìlànà ìpele	Àwọn Àkíyèsí
Iwọn opin Wafer	12 inches (300 mm)	Wafer oníwọ̀n-iwọn-nla boṣewa
Ohun èlò	Sapphire oní-kristal kan ṣoṣo (Al₂O₃)	Ìwà mímọ́ gíga, ìpele ẹ̀rọ itanna/ojú
Ìtọ́sọ́nà Kírísítà	Òfurufú C (0001), Òfurufú A (11-20), Òfurufú R (1-102)	Àwọn ìtọ́sọ́nà àṣàyàn wà
Sisanra	430–500 μm	Aṣa sisanra wa lori ìbéèrè
Ifarada Sisanra	±10 μm	Ifarada to lagbara fun awọn ẹrọ to ti ni ilọsiwaju
Ìyàtọ̀ Àpapọ̀ Ìwúwo (TTV)	≤10 μm	Ṣe idaniloju iṣiṣẹ deede kọja wafer
Ọrun tẹríba	≤50 μm	Wọ́n wọn lórí gbogbo wafer náà
Ìfọwọ́sowọ́pọ̀	≤50 μm	Wọ́n wọn lórí gbogbo wafer náà
Ipari oju ilẹ	Dídán ẹ̀gbẹ́ kan ṣoṣo (SSP) / Dídán ẹ̀gbẹ́ méjì (DSP)	Dada didara opitika giga
Ríru ojú ilẹ̀ (Ra)	≤0.5 nm (tí a fi didan ṣe)	Dídúróṣinṣin ipele atomiki fun idagbasoke epitaxial
Profaili eti	Chamfer / Etí yíká	Lati dena gige nigba mimu
Ìlànà Ìtọ́sọ́nà	±0.5°	Ṣe idaniloju idagbasoke to dara ti awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial.
Ìwọ̀n Àbùkù	<10 cm⁻²	Wọ́n wọn nípa ṣíṣe àyẹ̀wò ojú
Pípẹ́típẹ́tí	≤2 μm / 100 mm	Ó ń rí i dájú pé ìtẹ̀síwájú epitaxial àti ìdàgbàsókè rẹ̀ bára mu.
Ìmọ́tótó	Kilasi 100 – Kilasi 1000	Ibamu pẹlu yara mimọ
Gbigbe Opitika	>85% (UV–IR)	Da lori gigun ati sisanra

Àwọn Ìbéèrè Tó Ń Wá Jùlọ Nípa Wafer Sapphire Inch 12

Q1: Kí ni ìwọ̀n ìwọ́ntúnwọ̀nsì tí ó wà nínú wafer sapphire 12 inch kan?
A: Isanra boṣewa wa lati 430 μm si 500 μm. A tun le ṣe awọn sisanra aṣa gẹgẹbi awọn ibeere alabara.

Q2: Awọn itọsọna kristali wo ni o wa fun awọn wafer sapphire inch 12?
A: A n pese awọn itọsọna C-plane (0001), A-plane (11-20), ati R-plane (1-102). Awọn itọsọna miiran le ṣee ṣe ni ibamu si awọn ibeere ẹrọ kan pato.

Q3: Kini iyatọ kikun ti wafer naa (TTV)?
A: Àwọn wáfárì sapphire wa oníwọ̀n 12 inches sábà máa ń ní TTV ≤10 μm, èyí tí ó ń rí i dájú pé gbogbo ojú wafer náà dọ́gba fún ṣíṣe ẹ̀rọ tó dára.

Nipa re

XKH jẹ́ amọ̀jọ̀gbọ́n nínú ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga, ìṣẹ̀dá, àti títà àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì optíkì pàtàkì àti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì tuntun. Àwọn ọjà wa ń ṣiṣẹ́ fún ẹ̀rọ itanna optíkì, ẹ̀rọ itanna oníbàárà, àti àwọn ológun. A ń pèsè àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ Sapphire optíkì, àwọn ìbòrí lẹ́ǹsì fóònù alágbéká, àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ sémíkà, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, àti àwọn wafers crystal semiconductor. Pẹ̀lú ìmọ̀ tó ní ìmọ̀ àti àwọn ohun èlò tó ti pẹ́, a tayọ nínú ṣíṣe àwọn ohun èlò tí kì í ṣe déédé, a ń gbìyànjú láti jẹ́ ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga tó ń lo ohun èlò optoelectronic.