6 Inch / 8 Inch POD / FOSB Okun Optic Splice Box Ifijiṣẹ Apoti Ibi ipamọ RSP Remote Service Platform FOUP Iwaju Ṣiṣi Pod Unified
Àwòrán Àlàyé
Àkótán FOSB
ÀwọnFOSB (Àpótí Ìṣíṣẹ́ Ṣíṣí Iwájú)jẹ́ àpótí tí a ṣe ní ọ̀nà tí ó péye, tí ó sì ń ṣí ní iwájú tí a ṣe pàtó fún gbígbé àti ìtọ́jú àwọn wafer semiconductor 300mm tí ó ní ààbò. Ó ń kó ipa pàtàkì nínú dídáàbòbò àwọn wafer nígbà tí a bá ń gbé àwọn wafer láàárín-fab àti ìrìnàjò jíjìn, nígbàtí ó ń rí i dájú pé a ń pa àwọn ìpele mímọ́ àti ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ mọ́.
A ṣe é láti inú àwọn ohun èlò tí ó mọ́ tónítóní, tí ó sì ń yípadà sí àwọn ìlànà SEMI, FOSB náà ní ààbò tó tayọ lòdì sí ìbàjẹ́ pàtákì, ìtújáde aláìdúró, àti ìpayà ara. A ń lò ó káàkiri gbogbo àgbáyé nínú iṣẹ́ semiconductor, ètò ìṣiṣẹ́, àti àjọṣepọ̀ OEM/OSAT, pàápàá jùlọ nínú àwọn ìlà iṣẹ́ àdáṣe ti àwọn ohun èlò wafer 300mm.
Ìṣètò àti Àwọn Ohun Èlò ti FOSB
Àpótí FOSB tó wọ́pọ̀ jẹ́ ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ẹ̀yà tó péye, gbogbo wọn ni a ṣe láti ṣiṣẹ́ láìsí ìṣòro pẹ̀lú àtúnṣe ilé iṣẹ́ àti láti rí i dájú pé a dáàbò bo wafer:
-
Ara Pataki: A ṣe àdàpọ̀ rẹ̀ láti inú àwọn ike ẹ̀rọ onímọ́ tó ga bíi PC (polycarbonate) tàbí PEEK, èyí tó ń fúnni ní agbára ẹ̀rọ tó ga, ìṣẹ̀dá pàǹtíkì tó kéré, àti agbára kẹ́míkà.
-
Ilẹ̀kùn Ṣíṣí Iwájú: A ṣe apẹrẹ fun ibamu adaṣe ni kikun; o ni awọn gaskets didin ti o ni idaniloju pe o kere ju paṣipaarọ afẹfẹ lakoko gbigbe.
-
Àwo Reticle/Wafer ti inu: Ó lè gbé tó 25 wafers láìsí ewu. Atẹ náà jẹ́ èyí tí kò dúró ṣinṣin, ó sì ní ìrọ̀rùn láti dènà ìyípadà wafer, ìgé etí, tàbí fífọ́.
-
Iṣẹ́ Lílò: Eto titiipa aabo rii daju pe ilẹkun wa ni pipade lakoko gbigbe ati mimu.
-
Àwọn Ẹ̀yà Ìtọ́pasẹ̀: Ọpọlọpọ awọn awoṣe pẹlu awọn afi RFID ti a fi sii, awọn barcode, tabi awọn koodu QR fun isọpọ kikun ati ipasẹ MES jakejado pq awọn ilana.
-
Iṣakoso ESD: Àwọn ohun èlò náà jẹ́ ohun tí ó máa ń yípadà láìdúró, tí ó sábà máa ń ní agbára ìdènà ojú ilẹ̀ láàrín 10⁶ àti 10⁹ ohms, èyí tí ó ń ran lọ́wọ́ láti dáàbò bo àwọn wafers kúrò lọ́wọ́ ìtújáde electrostatic.
A ṣe àwọn èròjà wọ̀nyí ní àyíká yàrá mímọ́, wọ́n sì pàdé tàbí ju àwọn ìlànà SEMI àgbáyé lọ bíi E10, E47, E62, àti E83.
Àwọn Àǹfààní Pàtàkì
● Idaabobo Wafer Ipele Giga
A ṣe àwọn FOSB láti dáàbò bo àwọn wafers kúrò nínú ìbàjẹ́ ara àti àwọn ohun ìbàjẹ́ àyíká:
-
Eto ti a ti dì mọ́ ni kikun, ti a fi ohun elo ti a ti dì mọ́ra, n di ọrinrin, eefin kemikali, ati awọn patikulu afẹfẹ kuro.
-
Inu inu idena gbigbọn dinku eewu ti awọn ipaya ẹrọ tabi awọn microcracks.
-
Ikarahun ita ti o lagbara le koju awọn ipa isalẹ ati titẹ titopọ lakoko awọn iṣẹ akanṣe.
● Ibamu Adaṣiṣẹ ni kikun
A ṣe àgbékalẹ̀ àwọn FOSB fún lílò nínú AMHS (Àwọn Ètò Ìmúlò Ohun Èlò Aládàáṣe):
-
Baamu pẹlu awọn apa roboti ti o ni ibamu pẹlu MEMI, awọn ibudo fifuye, awọn apoti iṣura, ati awọn ṣiṣi.
-
Ìlànà ṣíṣí iwájú bá àwọn ètò FOUP àti load port mu fún iṣẹ́ àdáṣe ilé-iṣẹ́ láìsí ìṣòro.
● Apẹrẹ Yàrá Ìmọ́tótó
-
A ṣe é láti inú àwọn ohun èlò tí ó mọ́ tónítóní, tí kò ní èéfín púpọ̀.
Rọrùn láti nu àti láti tún lò ó; ó dára fún àwọn àyíká yàrá ìwẹ̀nùmọ́ Class 1 tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ.
Kò ní àwọn ion irin líle, ó sì ń rí i dájú pé kò sí ìbàjẹ́ kankan nígbà tí a bá ń gbé wafer.
● Ìtọ́pinpin Ọlọ́gbọ́n àti Ìṣọ̀kan MES
-
Àwọn ètò RFID/NFC/barcode àṣàyàn gba ààyè láti rí gbogbo ohun tó wà nínú rẹ̀ láti fab sí fab.
A le dá FOSB kọọkan mọ̀ ní ọ̀nà tí ó yàtọ̀ síra àti tọ́pinpin rẹ̀ láàárín ètò MES tàbí WMS.
Ṣe atilẹyin fun ìfihàn ilana, idanimọ ipele, ati iṣakoso akojo oja.
Àpótí FOSB – Tábìlì Àwọn Ìlànà Ìṣọ̀kan Àpapọ̀
| Ẹ̀ka | Ohun kan | Iye |
|---|---|---|
| Àwọn Ohun Èlò | Olubasọrọ Wafer | Polycarbonate |
| Àwọn Ohun Èlò | Ikarahun, Ilẹkun, Irọkun Ilẹkun | Polycarbonate |
| Àwọn Ohun Èlò | Àtìmọ́lé ẹ̀yìn | Polybutylene Terephthalate |
| Àwọn Ohun Èlò | Àwọn ọwọ́, Flange Àdáni, Àwọn Páàdì Ìwífún | Polycarbonate |
| Àwọn Ohun Èlò | Gasket | Elastomer Thermoplastic |
| Àwọn Ohun Èlò | KC Plate | Polycarbonate |
| Àwọn ìlànà pàtó | Agbára | Àwọn wáfárì 25 |
| Àwọn ìlànà pàtó | Ijinle | 332.77 mm ±0.1 mm (13.10" ±0.005") |
| Àwọn ìlànà pàtó | Fífẹ̀ | 389.52 mm ±0.1 mm (15.33" ±0.005") |
| Àwọn ìlànà pàtó | Gíga | 336.93 mm ±0.1 mm (13.26" ±0.005") |
| Àwọn ìlànà pàtó | Gígùn Àpò Méjì | 680 mm (26.77") |
| Àwọn ìlànà pàtó | Fífẹ̀ Àpò Méjì | 415 mm (16.34") |
| Àwọn ìlànà pàtó | Gíga Àpò Méjì | 365 mm (14.37") |
| Àwọn ìlànà pàtó | Ìwúwo (Òfo) | 4.6 kg (10.1 lb) |
| Àwọn ìlànà pàtó | Ìwúwo (Kíkún) | 7.8 kg (17.2 lb) |
| Ibamu Wafer | Ìwọ̀n Wafer | 300 mm |
| Ibamu Wafer | Pẹ́ẹ̀tì | 10.0 mm (0.39") |
| Ibamu Wafer | Àwọn ọkọ̀ òfúrufú | ±0.5 mm (0.02") lati orukọ |
Àwọn Ìṣẹ̀lẹ̀ Ìlò
Àwọn FOSB jẹ́ irinṣẹ́ pàtàkì nínú iṣẹ́ àti ìtọ́jú àwọn ohun èlò ìwafer 300mm. Wọ́n gba wọ́n ní gbogbogbòò ní àwọn ipò wọ̀nyí:
-
Awọn gbigbe Fab-si-Fab: Fún gbígbé àwọn wafers láàárín àwọn ohun èlò ìṣe semiconductor tó yàtọ̀ síra.
-
Awọn Ifijiṣẹ Foundry: Gbigbe awọn wafers ti a ti pari lati ibi ti o dara julọ si ile-iṣẹ apoti tabi alabara.
-
Awọn eekaderi OEM/OSAT: Ninu awọn ilana iṣakojọpọ ati idanwo ti a ti pese si ita.
-
Ìtọ́jú àti Ìtọ́jú Àwọn Ohun Èlò-Ẹ̀kẹta: Ṣe ààbò ìpamọ́ fún ìgbà pípẹ́ tàbí fún ìgbà díẹ̀ ti àwọn wáfárì iyebíye.
-
Gbigbe Wafer inu: Ní àwọn ilé ìtura ńláńlá níbi tí a ti so àwọn modulu ìṣelọ́pọ́ láti ọ̀nà jíjìn pọ̀ nípasẹ̀ AMHS tàbí ọkọ̀ ayọ́kẹ́lẹ́.
Nínú iṣẹ́ pọ́ọ̀npù ìpèsè kárí ayé, àwọn FOSB ti di ìlànà fún ìrìnnà wafer tó níye lórí, èyí tó ń rí i dájú pé a kò ní kó èérí bá àwọn kọ́ńtínẹ́ǹtì.
FOSB vs. FOUP – Kí ni ìyàtọ̀ náà?
| Ẹ̀yà ara | FOSB (Àpótí Ìṣíṣẹ́ Ṣíṣí Iwájú) | FOUP (Ìṣí Ṣíṣí Ṣíwájú Àpapọ̀ Pódì) |
|---|---|---|
| Lilo Akọkọ | Gbigbe ati awọn ilana gbigbe wafer kariaye-fab | Gbigbe wafer In-fab ati iṣiṣẹ adaṣe |
| Ìṣètò | Apoti lile, ti a ti di pẹlu aabo afikun | Pódì tí a lè tún lò tí a ṣe àtúnṣe fún adaṣiṣẹ inú |
| Afẹ́fẹ́ tí kò ní èéfín | Iṣẹ́ ìdìpọ̀ gíga | A ṣe apẹrẹ fun irọrun wiwọle, afẹfẹ ko ni aabo diẹ sii |
| Igbohunsafẹfẹ Lilo | Alabọde (ti dojukọ lori gbigbe irin-ajo ijinna pipẹ ailewu) | Igbagbogbo giga ninu awọn laini iṣelọpọ adaṣe |
| Agbára Wafer | Lọ́pọ̀ ìgbà, àwọn wafer 25 ló máa ń wà nínú àpótí kọ̀ọ̀kan | Lọ́pọ̀ ìgbà, àwọn wáfárì 25 ló máa ń wà fún ìkòkò kọ̀ọ̀kan |
| Àtìlẹ́yìn Àdáṣiṣẹ́ | Ni ibamu pẹlu awọn ṣiṣi FOSB | Ti a ṣe pọ pẹlu awọn ibudo fifuye FOUP |
| ibamu | AMI E47, E62 | SEMI E47, E62, E84, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ |
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé àwọn méjèèjì ń ṣiṣẹ́ pàtàkì nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ wafer, FOSBs ni a ṣe fún gbígbé ọjà tó lágbára láàrín àwọn ẹ̀rọ ìfọṣọ tàbí àwọn oníbàárà láti òde, nígbà tí FOUPs túbọ̀ dojúkọ iṣẹ́ àgbékalẹ̀ aládàáṣe.
Àwọn Ìbéèrè Tí A Ń Béèrè Lóòrèkóòrè (FAQ)
Q1: Ṣé àwọn FOSB lè tún lò?
Bẹ́ẹ̀ni. A ṣe àwọn FOSB tó ga jùlọ fún lílò lẹ́ẹ̀kan síi, wọ́n sì lè fara da ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìṣẹ́jú ìwẹ̀nùmọ́ àti ìtọ́jú tí a bá ṣe ìtọ́jú rẹ̀ dáadáa. A gbani nímọ̀ràn láti máa fọ nǹkan déédéé pẹ̀lú àwọn irinṣẹ́ tí a fọwọ́ sí.
Q2: Ṣe a le ṣe adani awọn FOSB fun iyasọtọ tabi ipasẹ?
Dájúdájú. A lè ṣe àtúnṣe àwọn FOSB pẹ̀lú àwọn àmì oníbàárà, àwọn àmì RFID pàtó, ìdìdì tí kò ní ọrinrin, àti àwọn àmì àwọ̀ mìíràn fún ìtọ́jú ètò ìrìnnà tí ó rọrùn.
Q3: Ǹjẹ́ àwọn FOSB yẹ fún àyíká yàrá mímọ́?
Bẹ́ẹ̀ni. A ń fi ike tí ó mọ́ ṣe àwọn FOSBs, a sì ń fi dí i láti dènà ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò ìpalára. Wọ́n dára fún àyíká yàrá ìwẹ̀nùmọ́ Class 1 sí Class 1000 àti àwọn agbègbè semiconductor pàtàkì.
Q4: Báwo ni a ṣe ń ṣí àwọn FOSB nígbà tí a bá ń ṣe àtúnṣe?
Àwọn FOSB bá àwọn ohun èlò ìṣí FOSB mu tí wọ́n ń yọ ìlẹ̀kùn iwájú kúrò láìsí ìfọwọ́kan pẹ̀lú ọwọ́, èyí tí ó ń mú kí àyíká yàrá mímọ́ dára.
Nipa re
XKH jẹ́ amọ̀jọ̀gbọ́n nínú ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga, ìṣẹ̀dá, àti títà àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì optíkì pàtàkì àti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì tuntun. Àwọn ọjà wa ń ṣiṣẹ́ fún ẹ̀rọ itanna optíkì, ẹ̀rọ itanna oníbàárà, àti àwọn ológun. A ń pèsè àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ Sapphire optíkì, àwọn ìbòrí lẹ́ǹsì fóònù alágbéká, àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ sémíkà, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, àti àwọn wafers crystal semiconductor. Pẹ̀lú ìmọ̀ tó ní ìmọ̀ àti àwọn ohun èlò tó ti pẹ́, a tayọ nínú ṣíṣe àwọn ohun èlò tí kì í ṣe déédé, a ń gbìyànjú láti jẹ́ ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga tó ń lo ohun èlò optoelectronic.










