Àwọn Wafers Quartz Fúró Gíga fún Semiconductor, Àwọn Ohun Èlò Optical Photonics 2″4″6″8″12″

Àpèjúwe Kúkúrú:

Quartz ti a fi papọ—a tún mọ̀ síSilika ti a fi papọ—ni ìrísí silicon dioxide tí kò ní crystalline (amorphous) (SiO₂). Láìdàbí àwọn gilaasi ilé-iṣẹ́ mìíràn, quartz tí a fi fused kò ní àwọn ohun èlò ìtọ́jú tàbí àwọn àfikún, èyí tí ó ní àkójọpọ̀ SiO₂ tí ó mọ́ ní kẹ́míkà. Ó gbajúmọ̀ fún ìfiranṣẹ́ ojú tí ó tayọ lórí àwọn ìrísí ultraviolet (UV) àti infrared (IR), tí ó ju àwọn ohun èlò gilasi ìbílẹ̀ lọ.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Àwọn ẹ̀yà ara

Àwòrán Àlàyé

Àwọn Wáfà Gíláàsì Sílíkà àti Optical Quartz tí a fi sí ara wọn-2

wafer_quartz_wafer_4_inch_fused_silica_wafer_

Àkópọ̀ gbogbo ti Gilasi Quartz

Àwọn wafer Quartz jẹ́ ipìlẹ̀ àwọn ohun èlò òde òní tí ó ń darí ayé oní-nọ́ńbà lónìí. Láti ìlọ kiri nínú fóònù alágbèéká rẹ sí ipìlẹ̀ àwọn ibùdó ìpìlẹ̀ 5G, quartz fi ìdúróṣinṣin, mímọ́, àti ìpéye tí a nílò nínú àwọn ẹ̀rọ itanna àti photonics tí ó ní iṣẹ́ gíga. Yálà ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ẹ̀rọ amúṣẹ́dá tí ó rọrùn, tàbí ó ń mú kí àwọn sensọ MEMS ṣiṣẹ́, tàbí ó ń jẹ́ ìpìlẹ̀ fún ìṣiṣẹ́ quantum, àwọn ànímọ́ àrà ọ̀tọ̀ quartz mú kí ó jẹ́ ohun tí a kò gbọ́dọ̀ ṣe ní gbogbo àwọn ilé iṣẹ́.

“Fused Silica” tàbí “Fused Quartz” èyí tí ó jẹ́ ìpele amorphous ti quartz (SiO2). Nígbà tí a bá fi wé gilasi borosilicate, fused silica kò ní àwọn afikún; nítorí náà ó wà ní ìrísí mímọ́ rẹ̀, SiO2. Fused silica ní ìyípadà gíga nínú infurarẹẹdi àti ultraviolet spectrum nígbà tí a bá fi wé gilasi déédéé. Fused silica ni a ń ṣe nípa yíyọ́ àti àtúnṣe ultrapure SiO2. Ní ọwọ́ kejì ẹ̀wẹ̀, a ń ṣe silica fused silica láti inú àwọn ohun èlò ìṣàfihàn kẹ́míkà tí ó ní silicon bíi SiCl4 tí a ń yọ́ sínú gáàsì tí a sì ń yọ́ nínú afẹ́fẹ́ H2 + O2. Eruku SiO2 tí a dá nínú ọ̀ràn yìí ni a ń yọ́ pọ̀ mọ́ silica lórí ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ kan. A ń gé àwọn bulọọki silica fused sí àwọn wafers lẹ́yìn náà, a ó sì ti yọ́ àwọn wafers náà nígbẹ̀yìn gbẹ́yín.

Àwọn Wáfà Gíláàsì Sílíkà àti Optical Quartz tí a fi sí ara wọn

Awọn ẹya pataki ati awọn anfani ti Quartz Gilasi Wafer

Ìmọ́tótó Gíga Jùlọ (≥99.99% SiO2)
Apẹrẹ fun awọn ilana semikondokito mimọ ati awọn photonics nibiti a gbọdọ dinku idoti ohun elo.
Ibiti o gbooro ti o n ṣiṣẹ ooru
Ó ń tọ́jú ìdúróṣinṣin ìṣètò láti inú iwọ̀n otútù tó ga ju 1100°C lọ láìsí ìyípadà tàbí ìbàjẹ́.
Gbigbe UV ati IR ti o tayọ
Ó ń fúnni ní ìmọ́lẹ̀ ojú tó dára láti inú ultraviolet tó jinlẹ̀ (DUV) nípasẹ̀ infurarẹẹdi tó sún mọ́-tó (NIR), èyí sì ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ohun èlò ojú tó péye.
Isọdipọ Imugboroosi Gbona Kekere
Ó mú kí ìdúróṣinṣin onípele pọ̀ sí i lábẹ́ ìyípadà otutu, ó dín wahala kù, ó sì mú kí ìgbẹ́kẹ̀lé ilana pọ̀ sí i.
Agbara Kemikali to gaju
Kò lè fara da ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ásíìdì, alkalis, àti àwọn ohun olómi—tó mú kí ó yẹ fún àwọn àyíká oníjàgídíjàgan kẹ́míkà.
Rọrùn Ipari Dada
Ó wà pẹ̀lú àwọn ohun èlò dídán tó rọ̀ jọjọ, tó ní ẹ̀gbẹ́ kan tàbí ẹ̀gbẹ́ méjì, tó bá àwọn ohun èlò ìdáná photonic àti MEMS mu.

Ilana Iṣelọpọ ti Wafer Gilasi Quartz

A ṣe àwọn wafers quartz tí a fi sí ara wọn nípasẹ̀ àwọn ìgbésẹ̀ tí a ṣàkóso àti tí ó péye:

Àṣàyàn Àwọn Ohun Èlò Aláìsí
Àṣàyàn àwọn orísun ìyẹ́fun adayeba tó mọ́ tónítóní tàbí SiO₂ tí a fi ṣe àdàlú.
Yíyọ́ àti Ìdàpọ̀
A máa ń yọ́ Quartz ní ~2000°C nínú àwọn ilé ìgbóná iná mànàmáná lábẹ́ afẹ́fẹ́ tí a ń ṣàkóso láti mú kí àwọn ohun tí ó wà nínú rẹ̀ àti àwọn èéfín kúrò.
Ṣíṣẹ̀dá Àkọsílẹ̀
A máa ń tu silica tí ó yọ́ náà sínú àwọn búlọ́ọ̀kì líle tàbí àwọn ingots.
Gígé Wafer
A lo awọn iyẹ̀fun okuta iyebiye tabi waya lati ge awọn ingots si awọn aaye wafer.
Lílo àti Pípọ́n
Àwọn ojú méjèèjì jẹ́ títẹ́ẹ́rẹ́ tí a sì yọ́ láti bá àwọn ìlànà ìrísí ojú, ìfúnpọ̀, àti àìlágbára mu.
Fífọ àti Àyẹ̀wò
A máa ń fọ àwọn wáfárì náà mọ́ nínú yàrá ìwẹ̀nùmọ́ ISO Class 100/1000, a sì máa ń ṣe àyẹ̀wò tó lágbára fún àbùkù àti ìbáramu ìwọ̀n.

Awọn ohun-ini ti Quartz Glass wafer

alaye pato	ẹyọ kan	4"	6"	8"	10"	12"
Iwọn opin / iwọn (tabi square)	mm	100	150	200	250	300
Ifarada (±)	mm	0.2	0.2	0.2	0.2	0.2
Sisanra	mm	0.10 tabi diẹ sii	0.30 tabi diẹ sii	0.40 tabi diẹ sii	0.50 tabi diẹ sii	0.50 tabi diẹ sii
Pẹpẹ ìtọ́kasí àkọ́kọ́	mm	32.5	57.5	Ipele-kekere	Ipele-kekere	Ipele-kekere
LTV (5mm×5mm)	μm	< 0.5	< 0.5	< 0.5	< 0.5	< 0.5
TV	μm	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Ọrun tẹríba	μm	±20	±30	±40	±40	±40
Ìfọwọ́sowọ́pọ̀	μm	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Ìyípo Etí	mm	Ó bá ìlànà SEMI M1.2 mu / tọ́ka sí IEC62276
Irú ojú ilẹ̀		A ti dán ẹ̀gbẹ́ kan ṣoṣo / A ti dán ẹ̀gbẹ́ méjì
Ẹ̀gbẹ́ dídán Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Àwọn Ìlànà Ẹ̀yìn Ẹ̀yìn	μm	gbogbogbo 0.2-0.7 tabi ti a ṣe adani

Quartz vs. Awọn Ohun elo Ifihan Mii

Ohun ìní	Gíláàsì Kúártísì	Gíláàsì Borosilicate	Sàfíríì	Gíláàsì Déédéé
Iwọn otutu iṣiṣẹ to pọ julọ	~1100°C	~500°C	~2000°C	~200°C
Gbigbe UV	O tayọ (JGS1)	Àwọn aláìní	Ó dára	Kò dára púpọ̀
Agbara Kemikali	O tayọ	Díẹ̀díẹ̀	O tayọ	Àwọn aláìní
Ìwà mímọ́	Giga pupọ	Kekere si alabọde	Gíga	Kekere
Ìfẹ̀sí gbígbóná	Kéré gan-an	Díẹ̀díẹ̀	Kekere	Gíga
Iye owo	Díẹ̀ sí gíga	Kekere	Gíga	Kéré gan-an

Awọn ibeere ti a beere nipa Quartz Gilasi Wafer

Q1: Kini iyato laarin quartz fused ati fused silica?
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé àwọn méjèèjì jẹ́ àwọn ìrísí amorphous ti SiO₂, fused quartz sábà máa ń wá láti orísun quartz àdánidá, nígbà tí fused silica ni a ṣe láti inú àdàpọ̀. Ní ti iṣẹ́, wọ́n ní ìṣiṣẹ́ kan náà, ṣùgbọ́n fused silica lè ní ìwẹ̀nùmọ́ àti ìṣọ̀kan díẹ̀.

Q2: Ṣe a le lo awọn wafer quartz ti a fi sinu idapọ ni awọn agbegbe ti o ni agbara giga?
Bẹ́ẹ̀ni. Nítorí àwọn ohun ìní wọn tí ó kéré tí ó ń jáde kúrò nínú èéfín àti agbára gbígbóná gíga, àwọn wafer quartz tí a fi sí ara wọn dára gan-an fún àwọn ètò ìfọ́mọ́ àti àwọn ohun èlò afẹ́fẹ́.

Q3: Ǹjẹ́ àwọn wafer wọ̀nyí yẹ fún lílo lésà oní-ìjìnlẹ̀-UV?
Dájúdájú. Agbára ìfọ́mọ́ra ní agbára ìfọ́mọ́ra gíga títí dé ~185 nm, èyí tí ó mú kí ó dára fún àwọn ohun èlò ìfọ́mọ́ra DUV, àwọn ìbòjú ìbòjú lithography, àti àwọn ẹ̀rọ laser excimer.

Q4: Ṣe o ṣe atilẹyin fun iṣelọpọ wafer aṣa?
Bẹ́ẹ̀ni. A n pese isọdi ni kikun pẹlu iwọn ila opin, sisanra, didara oju ilẹ, awọn pẹlẹbẹ/awọn ami, ati ilana lesa, da lori awọn ibeere ohun elo rẹ pato.

Nipa re

XKH jẹ́ amọ̀jọ̀gbọ́n nínú ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga, ìṣẹ̀dá, àti títà àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì optíkì pàtàkì àti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì tuntun. Àwọn ọjà wa ń ṣiṣẹ́ fún ẹ̀rọ itanna optíkì, ẹ̀rọ itanna oníbàárà, àti àwọn ológun. A ń pèsè àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ Sapphire optíkì, àwọn ìbòrí lẹ́ǹsì fóònù alágbéká, àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ sémíkà, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, àti àwọn wafers crystal semiconductor. Pẹ̀lú ìmọ̀ tó ní ìmọ̀ àti àwọn ohun èlò tó ti pẹ́, a tayọ nínú ṣíṣe àwọn ohun èlò tí kì í ṣe déédé, a ń gbìyànjú láti jẹ́ ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga tó ń lo ohun èlò optoelectronic.

Sapphire Wafer Blank High Purity Raw Sapphire Substrate Fun Ṣiṣẹda 5

Ti tẹlẹ: Àpótí Wafer Tí A Lè Ṣàtúnṣe – Ojútùú Kan fún Ọ̀pọ̀lọpọ̀ Ìwọ̀n Wafer

Itele: BF33 Gilasi Wafer Advanced Borosilicate Substrate 2″4″6″8″12″