Imọ-ẹrọ imọ-ẹrọ laser Microjet gige ohun elo wafer SiC processing ohun elo
Ilana Iṣiṣẹ:
1. Ìsopọ̀mọ́ lésà: a fi lésà tí a fi pulsed lésà (UV/green/infrared) sí inú omi tí ó ń ṣiṣẹ́ láti ṣẹ̀dá ikanni ìgbéjáde agbára tí ó dúró ṣinṣin.
2. Ìtọ́sọ́nà omi: ìṣàn omi oníyára gíga (ìwọ̀n ìṣàn omi 50-200m/s) tí ó mú kí agbègbè ìṣiṣẹ́ tutù kí ó sì mú àwọn ìdọ̀tí kúrò láti yẹra fún ìkójọpọ̀ ooru àti ìbàjẹ́.
3. Yíyọ ohun èlò kúrò: Agbára léésà náà máa ń fa ìfàsẹ́yìn nínú omi láti mú kí ohun èlò náà tutù (ibi tí ooru ti kàn <1μm).
4. Iṣakoso agbara: atunṣe akoko gidi ti awọn paramita lesa (agbara, igbohunsafẹfẹ) ati titẹ jet lati pade awọn aini ti awọn ohun elo ati awọn ẹya oriṣiriṣi.
Awọn ipilẹ pataki:
1. Agbára léésà: 10-500W (a lè ṣàtúnṣe)
2. Ìwọ̀n ìbúgbàù ọkọ̀ òfurufú: 50-300μm
3. Ìpéye ẹ̀rọ: ±0.5μm (gígé), ìwọ̀n jíjìn sí ìwọ̀n 10:1 (lílo ohun èlò ìwakọ̀)
Awọn anfani imọ-ẹrọ:
(1) Kò sí ìbàjẹ́ ooru tó fẹ́rẹ̀ẹ́ tó
- Itutu omi jet n ṣakoso agbegbe ti ooru ti o kan (HAZ) si **<1μm**, ni yiyẹra fun awọn kikuru kekere ti o fa nipasẹ ilana lesa ibile (HAZ maa n ju 10μm lọ).
(2) Iṣiṣẹ ẹrọ ti o ga julọ ti o ga julọ
- Gígé/lílo ìpele tó dé **±0.5μm**, ìrísí etí Ra<0.2μm, dín àìní fún dídán mọ́lẹ̀ lẹ́yìn náà kù.
- Ṣe atilẹyin fun sisẹ eto 3D ti o ni idiju (bii awọn ihò onigun mẹrin, awọn iho apẹrẹ).
(3) Ibamu ohun elo jakejado
- Awọn ohun elo lile ati fifọ: SiC, safire, gilasi, awọn seramiki (awọn ọna ibile rọrun lati fọ).
- Awọn ohun elo ti o ni imọlara ooru: awọn polima, awọn àsopọ ara (ko si eewu ti idinku ooru).
(4) Idaabobo ayika ati ṣiṣe daradara
- Ko si idoti eruku, omi le tunlo ati se ase.
- Ilọsi iyara iṣiṣẹ 30%-50% (ni akawe pẹlu ẹrọ iṣiṣẹ).
(5) Iṣakoso oye
- Ipo wiwo ti a ṣepọ ati iṣapeye paramita AI, sisanra ohun elo adaptable ati awọn abawọn.
Awọn alaye imọ-ẹrọ:
| Iwọn didun ti tabili tabili | 300*300*150 | 400*400*200 |
| Ààlà ìlà XY | Mọ́tò onílà. Mọ́tò onílà | Mọ́tò onílà. Mọ́tò onílà |
| Ààlà ìlà Z | 150 | 200 |
| Ìpéye ipò μm | +/-5 | +/-5 |
| Ìpéye ipò tí a tún ṣe μm | +/-2 | +/-2 |
| Ìyárasíṣe G | 1 | 0.29 |
| Iṣakoso nọ́mbà | Ààlà mẹ́ta /Ààlà mẹ́ta + 1 /Ààlà mẹ́ta + 2 | Ààlà mẹ́ta /Ààlà mẹ́ta + 1 /Ààlà mẹ́ta + 2 |
| Iru iṣakoso nọmba | DPSS Nd:YAG | DPSS Nd:YAG |
| Gígùn ìgbì nm | 532/1064 | 532/1064 |
| Agbára tí a fún ní W | 50/100/200 | 50/100/200 |
| Ọkọ̀ ojú omi | 40-100 | 40-100 |
| Pẹpẹ titẹ nọ́sù | 50-100 | 50-600 |
| Àwọn ìwọ̀n (irinṣẹ́ ẹ̀rọ) (ìbú * gígùn * gíga) mm | 1445*1944*2260 | 1700*1500*2120 |
| Ìwọ̀n (káńbọ́ọ̀dì ìṣàkóso) (W * L * H) | 700*2500*1600 | 700*2500*1600 |
| Ìwúwo (ẹ̀rọ) T | 2.5 | 3 |
| Ìwúwo (káńbọ́ọ̀dì ìṣàkóso) KG | 800 | 800 |
| Agbara iṣiṣẹ | Rírọ ojú Ra≤1.6um Iyara ṣiṣi ≥1.25mm/s Gígé yípo ≥6mm/s Iyara gige laini ≥50mm/s | Rírọ ojú Ra≤1.2um Iyara ṣiṣi ≥1.25mm/s Gígé yípo ≥6mm/s Iyara gige laini ≥50mm/s |
| Fún kírísítà gallium nitride, àwọn ohun èlò semiconductor ultra-wide band gap (diamond/Gallium oxide), àwọn ohun èlò pàtàkì afẹ́fẹ́, LTCC carbon seramiki substrate, photovoltaic, scintillator crystal àti àwọn ohun èlò míràn tí a ń lò. Akiyesi: Agbara iṣiṣẹ yatọ da lori awọn abuda ohun elo
| ||
Ọ̀ràn ìṣiṣẹ́:
Awọn iṣẹ XKH:
XKH n pese atilẹyin iṣẹ igbesi aye kikun fun awọn ohun elo imọ-ẹrọ laser microjet, lati ijumọsọrọ idagbasoke ilana ibẹrẹ ati yiyan ohun elo, si isọpọ eto ti a ṣe adani ni aarin igba (pẹlu ibaamu pataki ti orisun lesa, eto jet ati module adaṣiṣẹ), si ikẹkọ iṣẹ ati itọju nigbamii ati iṣapeye ilana ti nlọ lọwọ, gbogbo ilana naa ni ipese pẹlu atilẹyin ẹgbẹ imọ-ẹrọ ọjọgbọn; Da lori iriri ẹrọ ṣiṣe deede ọdun 20, a le pese awọn ojutu iduro kan pẹlu iṣeduro ohun elo, ifihan iṣelọpọ ibi-pupọ ati idahun iyara lẹhin tita (wakati 24 ti atilẹyin imọ-ẹrọ + ifipamọ awọn ẹya apoju bọtini) fun awọn ile-iṣẹ oriṣiriṣi bii semiconductor ati iṣoogun, ati ileri atilẹyin ọja oṣu 12 ati itọju ati iṣẹ igbesoke igbesi aye. Rii daju pe awọn ohun elo alabara nigbagbogbo n ṣetọju iṣẹ ṣiṣe ati iduroṣinṣin ti o ṣe itọsọna ile-iṣẹ.
Àwòrán Àlàyé
