Awọn imọ-ẹrọ Isọgbẹ Wafer ati Iwe imọ-ẹrọ

Atọka akoonu

1. Awọn Idi pataki ati Pataki ti Cleaning Wafer

2.Contamination Assessment ati To ti ni ilọsiwaju Analytical imuposi

3.To ti ni ilọsiwaju Cleaning Awọn ọna ati imọ Ilana

4.Technical imuse ati ilana Iṣakoso Esensialisi

5. Awọn aṣa iwaju ati Awọn itọsọna Atunse

6.XKH Awọn solusan Ipari-si-Ipari ati ilolupo Iṣẹ

Wafer mimọ jẹ ilana to ṣe pataki ni iṣelọpọ semikondokito, bi paapaa awọn contaminants ipele atomiki le dinku iṣẹ ẹrọ tabi ikore. Ilana mimọ ni igbagbogbo pẹlu awọn igbesẹ pupọ lati yọ ọpọlọpọ awọn idoti kuro, gẹgẹbi awọn iṣẹku Organic, awọn aimọ ti fadaka, awọn patikulu, ati awọn oxides abinibi.

1. Awọn afojusun ti Wafer Cleaning

• Yọ awọn idoti Organic kuro (fun apẹẹrẹ, awọn iṣẹku photoresist, awọn ika ọwọ).
• Mu awọn aimọ irin kuro (fun apẹẹrẹ, Fe, Cu, Ni).
• Mu idoti patikulu kuro (fun apẹẹrẹ, eruku, awọn ajẹkù silikoni).
• Yọ awọn oxides abinibi kuro (fun apẹẹrẹ, awọn ipele SiO₂ ti a ṣẹda lakoko ifihan afẹfẹ).

2. Pataki Wafer Cleaning

• Ṣe idaniloju ikore ilana giga ati iṣẹ ṣiṣe ẹrọ.
• Dinku awọn abawọn ati awọn oṣuwọn aloku wafer.
• Ṣe ilọsiwaju didara oju ati aitasera.

Ṣaaju ṣiṣe mimọ to lekoko, o ṣe pataki lati ṣe ayẹwo ibajẹ oju ilẹ ti o wa. Loye iru, pinpin iwọn, ati iṣeto aye ti awọn idoti lori dada wafer ṣe iṣapeye kemistri mimọ ati igbewọle agbara ẹrọ.

3. Awọn ilana Itupalẹ To ti ni ilọsiwaju fun Igbelewọn Ibajẹ

3.1 Itupalẹ Patiku Dada

• Awọn iṣiro patikulu pataki lo pipinka lesa tabi iran kọnputa lati ka, iwọn, ati idoti oju ilẹ maapu.
• Imudara tituka ina ni ibamu pẹlu awọn iwọn patiku bi kekere bi awọn mewa ti awọn nanometers ati awọn iwuwo bi kekere bi awọn patikulu 0.1/cm².
• Isọdiwọn pẹlu awọn iṣedede ṣe idaniloju igbẹkẹle ohun elo. Awọn iṣaju-ati-lẹhin-ninu awọn ọlọjẹ jẹri ṣiṣe yiyọ kuro, awọn ilọsiwaju ilana awakọ.

3.2 Itupalẹ Ilẹ Ilẹ Eroja

• Awọn ilana imọ-oju dada ṣe idanimọ akojọpọ ipilẹ.
• X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS/ESCA): Ṣe atupalẹ awọn ipinlẹ kemikali oju-aye nipa didan wafer pẹlu awọn egungun X ati wiwọn awọn elekitironi ti a jade.
• Spectroscopy Ijadejade Opitika Yiyọ (GD-OES): Sputters olekenka-tinrin dada fẹlẹfẹlẹ leralera lakoko ti o n ṣe itupalẹ awọn iwoye ti o jade lati pinnu akojọpọ ipilẹ-ijinle.
• Awọn opin wiwa de awọn apakan fun miliọnu kan (ppm), didari yiyan kemistri mimọ to dara julọ.

3.3 Itupalẹ Kontaminesonu Ẹkọ-ara

• Ṣiṣayẹwo Itanna Maikirosipiti (SEM): Yiya awọn aworan ti o ga lati fi han awọn apẹrẹ awọn idoti ati awọn ipin abala, ti n tọka si awọn ilana ifaramọ (kemikali vs. ẹrọ).
• Atomic Force Maikirosikopi (AFM): Awọn maapu nanoscale topography lati ṣe iwọn giga patiku ati awọn ohun-ini ẹrọ.
• Ifojusi Ion Beam (FIB) Milling + Gbigbe Itanna Maikirosikopi (TEM): Pese awọn iwo inu ti awọn contaminants sin.

4. Awọn ọna Itọpa Ilọsiwaju

Lakoko ti o ti sọ di mimọ ni imunadoko lati yọkuro awọn idoti eleto, awọn ilana ilọsiwaju afikun ni a nilo fun awọn patikulu eleto, awọn iṣẹku ti irin, ati awọn contaminants ionic:

o

4.1 RCA Cleaning

• Idagbasoke nipasẹ RCA Laboratories, ọna yi employs a meji-meji ilana lati yọ pola contaminants.
• SC-1 (Standard Clean-1): Yọọ awọn contaminants Organic kuro ati awọn patikulu nipa lilo adalu NH₄OH, H₂O₂, ati H₂O (fun apẹẹrẹ, 1:1:5 ratio ni ~20°C). Fọọmu kan tinrin silikoni oloro Layer.
• SC-2 (Standard Clean-2): Yọ awọn idoti ti fadaka kuro ni lilo HCl, H₂O₂, ati H₂O (fun apẹẹrẹ, 1:1:6 ratio ni ~80°C). Fi oju palolo silẹ.
• Ṣe iwọntunwọnsi mimọ pẹlu aabo dada.

o

4.2 Iṣọkan Osonu

• Fi omi rìbọmi bọ́ sínú omi tí ó kún fún omi àjẹsára (O₃/H₂O) .
• Ni imunadoko oxidizes ati ki o yọ awọn Organics kuro lai ba wafer jẹ, nlọ oju ilẹ ti o ti kọja kemikali kan.

o

4.3 Megasonic Cleaningo

• Nlo agbara ultrasonic-igbohunsafẹfẹ giga (ni deede 750-900 kHz) pẹlu awọn ojutu mimọ.
• Ṣe ipilẹṣẹ awọn nyoju cavitation ti o tu awọn eegun kuro. Wọ inu awọn geometries eka lakoko ti o dinku ibaje si awọn ẹya elege.

4.4 Cryogenic Cleaning

• Ni kiakia n tutu awọn wafers si awọn iwọn otutu cryogenic, awọn contaminants ti n ja.
• Fi omi ṣan ti o tẹle tabi fifẹ rọra yọ awọn patikulu ti a ti tu silẹ. Idilọwọ isọdọtun ati itankale sinu dada.
• Yiyara, ilana gbigbẹ pẹlu lilo kemikali pọọku.

Ipari:
Gẹgẹbi olupese awọn solusan semikondokito ti o ni kikun-pipe, XKH ni idari nipasẹ isọdọtun imọ-ẹrọ ati alabara nilo lati ṣafiranṣẹ ilolupo iṣẹ-ipari-si-opin kan ti o ni ipese ohun elo ipari-giga, iṣelọpọ wafer, ati mimọ pipe. A kii ṣe ipese awọn ohun elo semikondokito ti kariaye nikan (fun apẹẹrẹ, awọn ẹrọ lithography, awọn eto etching) pẹlu awọn ojutu ti a ṣe deede ṣugbọn tun ṣe awọn imọ-ẹrọ ohun-ini ti aṣaaju-pẹlu mimọ RCA, isọdọtun ozone, ati mimọ megasonic - lati rii daju mimọ-ipele atomiki fun iṣelọpọ wafer, imudara ikore alabara ni pataki ati ṣiṣe iṣelọpọ. Lilọpa awọn ẹgbẹ idahun iyara ti agbegbe ati awọn nẹtiwọọki iṣẹ oye, a pese atilẹyin okeerẹ lati fifi sori ẹrọ ati iṣapeye ilana si itọju asọtẹlẹ, fifun awọn alabara ni agbara lati bori awọn italaya imọ-ẹrọ ati ilọsiwaju si konge giga ati idagbasoke alagbero alagbero. Yan wa fun amuṣiṣẹpọ-win kan ti imọ-ẹrọ ati iye iṣowo.