Pẹ̀lú ìdàgbàsókè tí ìmọ̀ ẹ̀rọ semiconductor ń ṣe nígbà gbogbo, nínú ilé iṣẹ́ semiconductor àti pàápàá ilé iṣẹ́ photovoltaic, àwọn ohun tí a nílò fún dídára ojú ilẹ̀ ti substrate wafer tàbí ìwé epitaxial náà tún le gan-an. Nítorí náà, kí ni àwọn ohun tí a nílò fún àwọn wafer?wáfù safireGẹ́gẹ́ bí àpẹẹrẹ, àwọn àmì wo ni a lè lò láti ṣe àyẹ̀wò dídára ojú ilẹ̀ àwọn wáfárì?
Àwọn àmì ìṣàyẹ̀wò wafers wo ni?
Awọn Ifihan Mẹta
Fún àwọn wáfáà onírun sapphire, àwọn àmì ìṣàyẹ̀wò rẹ̀ ni ìyàtọ̀ ìfúnpọ̀ gbogbo (TTV), tẹ́ńdì (Bow) àti Warp (Warp). Àwọn pàrámítà mẹ́ta wọ̀nyí papọ̀ ń ṣàfihàn ìfọ́ àti ìṣọ̀kan ìfúnpọ̀ ti wáfáà onírun silikon, wọ́n sì lè wọn ìwọ̀n ìrún omi wáfáà náà. A lè so corrugation pọ̀ mọ́ pẹrẹsẹ láti ṣe àyẹ̀wò dídára ojú wáfáà náà.
Kí ni TTV, BOW, Warp?
TTV (Iyatọ Nipọn Lapapọ)
TTV ni iyatọ laarin sisanra ti o pọ julọ ati ti o kere ju ti wafer kan. Paramita yii jẹ atọka pataki ti a lo lati wiwọn iṣọkan sisanra wafer. Ninu ilana semiconductor kan, sisanra wafer naa gbọdọ jẹ deede lori gbogbo oju. A maa n wiwọn ni awọn ipo marun lori wafer naa ati pe a ṣe iṣiro iyatọ naa. Nikẹhin, iye yii jẹ ipilẹ pataki fun ṣiṣe ayẹwo didara wafer naa.
Ọrun tẹríba
Ọ̀run nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor tọ́ka sí ìtẹ̀sí wáfà, èyí tí ó ń tú ààyè sílẹ̀ láàrín àárín wáfà tí kò ní ìbòrí àti ìlà ìtọ́kasí. Ọ̀rọ̀ náà ṣeé ṣe kí ó wá láti inú àpèjúwe ìrísí ohun kan nígbà tí a bá tẹ̀ ẹ́, bí ìrísí tí ó tẹ̀ ti ọ̀run kan. A túmọ̀ ìrísí Ọ̀run nípa wíwọ̀n ìyàtọ̀ láàrín àárín àti etí wáfà silikon. Ìrísí yìí sábà máa ń hàn ní micrometers (µm).
Ìfọwọ́sowọ́pọ̀
Warp jẹ́ ohun ìní àgbáyé ti àwọn wafers tí ó ń wọn ìyàtọ̀ láàrín àyè tí ó pọ̀jù àti èyí tí ó kéré jùlọ láàrín ààrín wafer tí a kò fi ìbòrí bò àti àyè ìtọ́kasí. Ó dúró fún ìjìnnà láti ojú wafer silikoni sí ààrín náà.
Kí ni ìyàtọ̀ láàrín TTV, Bow, àti Warp?
TTV fojusi awọn iyipada ninu sisanra ati pe ko ni pataki si titẹ tabi iyipada ti wafer naa.
Ọrun tẹjúmọ́ gbogbo ìtẹ̀ náà, pàápàá jùlọ nípa ìtẹ̀ tí ó wà ní àárín àti etí rẹ̀.
Warp jẹ́ ohun tó gbòòrò jù, títí kan títẹ̀ àti yíyí gbogbo ojú wafer náà.
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé àwọn pàrámítà mẹ́ta yìí ní í ṣe pẹ̀lú ìrísí àti àwọn ànímọ́ onígun mẹ́rin ti wafer silicon, a wọ̀n wọ́n àti ṣàpèjúwe wọn ní ọ̀nà ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀, ipa wọn lórí ìlànà semiconductor àti ìṣiṣẹ́ wafer náà yàtọ̀ síra pẹ̀lú.
Bí àwọn pàrámítà mẹ́ta náà bá ti kéré tó, bẹ́ẹ̀ náà ni ó ṣe dára tó, tí pàrámítà náà sì ti tóbi tó, bẹ́ẹ̀ náà ni ipa búburú tó ń ní lórí ìlànà pàrámítà náà ṣe pọ̀ tó. Nítorí náà, gẹ́gẹ́ bí onímọ̀ nípa pàrámítà, a gbọ́dọ̀ mọ̀ pé àwọn pàrámítà fíìmù wafer ṣe pàtàkì fún gbogbo ìlànà náà, ṣe ìlànà pàrámítà, gbọ́dọ̀ kíyèsí àwọn kúlẹ̀kúlẹ̀.
(ìṣàyẹ̀wò)
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹfà-24-2024