Kí ni Wafer TTV, Bow, Warp, àti Báwo ni a ṣe ń wọn wọ́n?

oÌwé ìtọ́sọ́nà

1. Àwọn Ẹ̀kọ́ Pàtàkì àti Àwọn Ìwọ̀n

2. Àwọn Ọ̀nà Ìwọ̀n

3. Iṣiṣẹ data ati Awọn aṣiṣe

4. Àwọn Ìtumọ̀ Ìlànà

Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor, ìṣọ̀kan ìfúnpọ̀ àti ìdúró ojú ilẹ̀ àwọn wafers jẹ́ àwọn kókó pàtàkì tí ó ń nípa lórí ìyọrísí iṣẹ́ náà. Àwọn pàrámítà pàtàkì bíi Total Squickness Variation (TTV), Bow (arcuate warpage), Warp (global warpage), àti Microwarp (nano-topography) ní ipa tààrà lórí ìpéye àti ìdúróṣinṣin àwọn iṣẹ́ pàtàkì bíi photolithography focus, chemical mechanical polishing (CMP), àti thin-film deposition.

Àwọn Ẹ̀kọ́ Pàtàkì àti Àwọn Ìwọ̀n

TTV (Iyatọ Nipọn Lapapọ)

Awọn ọna ẹrọ wiwọn

1. Àwọn Ọ̀nà Ìwọ̀n TTV

• Profilometry oju-ilẹ meji
• Ìbáramu Fizeau:Ó ń lo àwọn ìdènà láàárín ìpele ìtọ́kasí àti ojú wafer. Ó dára fún àwọn ojú tí ó mọ́lẹ̀ ṣùgbọ́n àwọn wafer tí ó ní ìtẹ̀sí ńlá ló ní ààlà.
• Ìwádìí Ìmọ́lẹ̀ Funfun (SWLI):Ó ń wọn gíga pípé nípasẹ̀ àwọn àpò ìmọ́lẹ̀ tí kò ní ìṣọ̀kan. Ó ń ṣiṣẹ́ fún àwọn ojú ilẹ̀ tí ó dàbí ìgbésẹ̀ ṣùgbọ́n ó ní ìdíwọ́ fún iyàrá ìwòran ẹ̀rọ.
• Àwọn ọ̀nà ìṣọ̀kan:Ṣe àṣeyọrí ìpinnu sub-micron nípasẹ̀ ihò pinhole tàbí ìlànà ìtúká. Ó dára fún àwọn ojú ilẹ̀ tí ó le koko tàbí tí ó lè tànmọ́lẹ̀ ṣùgbọ́n ó lọ́ra nítorí wíwo ojú-sí-ìtọ́ka.
• Ìdánwò Lésà:Ìdáhùn kíákíá ṣùgbọ́n ó ṣeé ṣe láti pàdánù ìpéye nítorí àwọn ìyàtọ̀ nínú ìṣàfihàn ojú ilẹ̀.

• Ìsopọ̀ Gbigbe/Ìṣàfihàn
• Àwọn Sensọ Agbára Orí Méjì: Ìgbékalẹ̀ àwọn sensọ ní ẹ̀gbẹ́ méjèèjì jẹ́ ìwọ̀n fífẹ̀ bíi T = L – d₁ – d₂ (L = ìjìnnà ìpìlẹ̀). Ó yára ṣùgbọ́n ó ní ìmọ̀lára sí àwọn ohun ìní ohun èlò.
• Ìwádìí Ellipsometry/Spectroscopic Reflectometry: Ó ń ṣe àyẹ̀wò ìbáṣepọ̀ àwọn ohun tí ó ní ìmọ́lẹ̀ fún ìwọ̀n tín-tín-fíìmù ṣùgbọ́n kò yẹ fún TTV púpọ̀.

2. Wíwọ̀n Ọrùn àti Ìwọ̀n Ìwọ̀n

• Àwọn Àkójọ Agbára Ìwádìí Ọ̀pọ̀lọpọ̀: Gba ìwífún gíga pápá kíkún lórí ìpele afẹ́fẹ́ fún àtúnṣe 3D kíákíá.
• Ìfihàn Ìmọ́lẹ̀ Tí A Ṣètò: Ìṣàfihàn 3D ìyára gíga nípa lílo ìrísí ojú.
• Ìbáṣepọ̀ ojú ilẹ̀ tí ó ní ìpele gíga ṣùgbọ́n tí ó ní ìmọ̀lára ìgbọ̀nsẹ̀.

3. Wíwọ̀n Microwarp

• Ìwádìí Ìgbohùngbà Àyíká:

1. Gba aworan oju ilẹ ti o ni ipinnu giga.
2. Ṣírò ìwọ̀n ìpele agbára (PSD) nípasẹ̀ 2D FFT.
3. Lo awọn àlẹ̀mọ́ bandpass (fun apẹẹrẹ, 0.5–20 mm) lati ya awọn gigun gigun pataki sọtọ.
4. Ṣírò iye RMS tàbí PV láti inú dátà tí a yọ́.

• Àfarawé Ẹ̀rọ Ìgbàfẹ́ ChuckÀwọn ipa ìdènà gidi gidi nígbà lithography.

Ṣiṣẹ data ati awọn orisun aṣiṣe

Ṣiṣẹda ilana iṣẹ-ṣiṣe

• TV:Ṣe àtúnṣe àwọn ìṣọ̀kan ojú iwájú àti ẹ̀yìn, ṣe ìṣirò ìyàtọ̀ nínípọn, kí o sì yọ àwọn àṣìṣe ètò kúrò (fún àpẹẹrẹ, ìyípadà ooru).
• oỌrun/Ìfọwọ́sowọ́pọ̀:Fi ipele LSQ sí ibi gíga rẹ̀; Ọrun = ibi tí ó kù ní àárín, Warp = ibi tí ó kù ní òkè-sí-àfonífojì.
• oMicrowarp:Àlẹ̀mọ́ àwọn ìgbà tí a lè máa lò ní ààyè, ṣírò àwọn statistiki (RMS/PV).

Awọn orisun aṣiṣe bọtini

• Àwọn Okùnfà Ayíká:Gbigbọn (pataki fun interferometry), rudurudu afẹfẹ, gbigbe ooru.
• Awọn idiwọn sensọ:Ariwo ipele (interferometry), awọn aṣiṣe iwọntunwọnsi gigun (confocal), awọn idahun ti o da lori ohun elo (capacitance).
• Itoju Wafer:Àìtọ́ ìyọkúrò etí, àìtọ́ ìṣípò ìpele ìṣiṣẹ́ nínú ìránṣọ.

Ipa lori Pataki ilana

• Litography:Microwarp agbegbe dinku DOF, o nfa iyipada CD ati awọn aṣiṣe overclocking.
• CMP:Àìdọ́gba TTV àkọ́kọ́ máa ń yọrí sí ìfúnpá tí kò ní ìṣọ̀kan.
• Ìṣàyẹ̀wò Wahala:Ìṣẹ̀dá Bow/Warp fi ìwà ìdààmú ooru/ẹ̀rọ hàn.
• Àkójọ:Àṣejù TTV máa ń fa àwọn àlàfo nínú àwọn ìsopọ̀ ìsopọ̀.

Wafer Sapphire XKH