Àwọn Ìdáhùn Ìfọṣọ Sapphire Etched
Àwòrán Àlàyé
Ifihan Ọja
Àwọn wáfárì onírun tí a fi ọ̀ṣọ́ ṣe ni a fi àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ onírun-kristal onírun-kristal (Al₂O₃) tí ó mọ́ tónítóní, tí a sì ṣe nípasẹ̀ fọ́tòlithography tó ti ní ìlọsíwájú pẹ̀lúawọn imọ-ẹrọ gbigbẹ ati fifọ tutuÀwọn ọjà náà ní àwọn àpẹẹrẹ ìṣètò kékeré tí ó dọ́gba, ìṣedéédé ìwọ̀n tó dára jùlọ, àti ìdúróṣinṣin ti ara àti kẹ́míkà tó tayọ, èyí tó mú kí wọ́n dára fún àwọn ohun èlò ìgbẹ́kẹ̀lé gíga nínú àwọn ẹ̀rọ microelectronics, optoelectronics, àpò ìṣàfihàn semiconductor, àti àwọn pápá ìwádìí tó ti ní ìlọsíwájú.
A mọ̀ Sapphire dáadáa fún líle àti ìdúróṣinṣin rẹ̀ tó tayọ, pẹ̀lú líle Mohs ti 9, tí ó jẹ́ èkejì sí diamond nìkan. Nípa ṣíṣàkóso àwọn pàrámítà ìtẹ̀wé dáadáa, a lè ṣẹ̀dá àwọn ohun èlò kéékèèké tí a ti ṣàlàyé dáadáa àti tí a lè tún ṣe lórí ojú sapphire, èyí tí yóò mú kí àwọn ẹ̀gbẹ́ àpẹẹrẹ tó mú, àwòrán onídúróṣinṣin, àti ìṣọ̀kan tó dára jùlọ láàárín àwọn ẹgbẹ́.
Àwọn Ìmọ̀ Ẹ̀rọ Ìfiránṣẹ́
Ìfọṣọ tutu
A máa ń lo àwọn omi kẹ́míkà pàtàkì láti yọ ohun èlò sapphire kúrò kí ó sì ṣẹ̀dá àwọn ohun èlò kékeré tí a fẹ́. Ìlànà yìí ń fúnni ní agbára gíga, ìṣọ̀kan tó dára, àti iye owó ìṣiṣẹ́ tó kéré sí i, èyí tó mú kí ó dára fún ṣíṣe àwòrán agbègbè ńlá àti lílo pẹ̀lú àwọn ohun tí a nílò láti fi ṣe àwòrán ẹ̀gbẹ́.
Nípa ṣíṣàkóso ìṣètò omi, ìwọ̀n otútù, àti àkókò ìfọ́, a lè ṣàṣeyọrí ìṣàkóso dídára ti jíjìn etch àti ìrísí ojú ilẹ̀. Àwọn wafer sapphire tí a fi omi kùn ni a ń lò ní ibi ìpamọ́ LED, àwọn fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ àtìlẹ́yìn ìṣètò, àti àwọn ohun èlò MEMS tí a yàn.
Ìfọ́nrán gbígbẹ
Ìfọ́nká gbígbẹ, bíi ìfọ́nká plasma tàbí ìfọ́nká ion reactive (RIE), lo àwọn ions alágbára gíga tàbí àwọn ẹ̀yà reactive láti fi ìfọ́nká sapphire hàn nípasẹ̀ àwọn ìlànà ti ara àti kẹ́míkà. Ọ̀nà yìí ń pèsè anisotropy tó ga jùlọ, ìṣedéédé gíga, àti agbára ìgbésẹ̀ àpẹẹrẹ tó tayọ, èyí tó ń jẹ́ kí a ṣe àwọn ẹ̀yà ara tó dára àti àwọn microstructures tó ga-aspect-ratio.
Ìfọ́nrán gbígbẹ jẹ́ ohun tó yẹ fún àwọn ohun èlò tó nílò àwọn ògiri ẹ̀gbẹ́ inaro, ìtumọ̀ ẹ̀yà ara tó mú, àti ìṣàkóso ìwọ̀n tó lágbára, bíi àwọn ẹ̀rọ Micro-LED, ìpamọ́ semiconductor tó ti ní ìlọsíwájú, àti àwọn ètò MEMS tó ní agbára gíga.
Awọn ẹya ara ẹrọ pataki ati awọn anfani
-
Sàpáàdì onígun mẹ́ta tó mọ́ tónítóní pẹ̀lú agbára ẹ̀rọ tó dára gan-an
-
Awọn aṣayan ilana ti o rọ: etching tutu tabi etching gbẹ da lori awọn ibeere ohun elo
-
Agbara giga ati resistance wọ fun igbẹkẹle igba pipẹ
-
Iduroṣinṣin gbona ati kemikali to dara julọ, o dara fun awọn agbegbe lile
-
Ifihan opitika giga ati awọn ohun-ini dielectric iduroṣinṣin
-
Iṣọkan apẹẹrẹ giga ati ibamu ipele-si-ipele
Àwọn ohun èlò ìlò
-
Iṣakojọpọ LED ati Micro-LED ati awọn ipilẹ idanwo
-
Àwọn ọkọ̀ ìkọ́kọ́ Semiconductor àti àkójọpọ̀ tó ti ní ìlọsíwájú
-
Awọn sensọ MEMS ati awọn eto micro-electromechanical
-
Awọn paati opitika ati awọn ẹya tito deede
-
Awọn ile-iṣẹ iwadii ati idagbasoke eto-ẹda ti a ṣe adani
Ṣíṣe àtúnṣe àti Àwọn Iṣẹ́
A n pese awọn iṣẹ akanṣe ti o gbooro, pẹlu apẹrẹ awọn apẹẹrẹ, yiyan ọna fifọ (tutu tabi gbẹ), iṣakoso ijinle fifọ, awọn aṣayan sisanra ati iwọn substrate, fifọ apa kan tabi ẹgbẹ meji, ati awọn ipele didan dada. Iṣakoso didara ati awọn ilana ayewo ti o muna rii daju pe gbogbo wafer ti a fi sapphire ṣe pade igbẹkẹle giga ati awọn iṣedede iṣẹ ṣaaju ifijiṣẹ.
Awọn Ibeere Nigbagbogbo - Awọn Ibeere Nigbagbogbo
Q1: Kini iyato laarin fifin tutu ati fifin gbẹ fun safire?
A:Ìfọ́nrán omi jẹ́ ti àwọn ìṣesí kẹ́míkà, ó sì yẹ fún ṣíṣe iṣẹ́ tó gbòòrò àti èyí tó rọrùn láti náwó, nígbà tí ìfọ́nrán gbígbẹ ń lo àwọn ọ̀nà ìtọ́jú plasma tàbí ion láti ṣe àṣeyọrí tó ga jù, anisotropy tó dára jù, àti ìṣàkóso ẹ̀yà ara tó dára jù. Yíyàn náà sinmi lórí ìṣòro ìṣètò, àwọn ohun tí a nílò láti ṣe déédé, àti àwọn ohun tí a gbé kalẹ̀ nípa iye owó.
Q2: Ilana fifin wo ni mo yẹ ki n yan fun ohun elo mi?
A:A gbani nímọ̀ràn pé kí a fi aṣọ ìfọṣọ tutu ṣe é fún àwọn ohun èlò tó nílò àwọn ìlànà tó péye pẹ̀lú ìpéye tó dọ́gba, bíi àwọn ohun èlò LED tó wọ́pọ̀. Fífi aṣọ ìfọṣọ gbẹ jẹ́ ohun tó dára jù fún àwọn ohun èlò tó ní ìpele gíga, ìwọ̀n tó ga, tàbí àwọn ohun èlò Micro-LED àti MEMS níbi tí ìrísí tó péye bá ṣe pàtàkì.
Q3: Ṣe o le ṣe atilẹyin awọn ilana ati awọn alaye ti a ṣe adani?
A:Bẹ́ẹ̀ni. A ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn àwòrán tí a ṣe ní kíkún, títí bí ìṣètò àpẹẹrẹ, ìwọ̀n ẹ̀yà ara, jíjìn etch, sisanra wafer, àti ìwọ̀n substrate.
Nipa re
XKH jẹ́ amọ̀jọ̀gbọ́n nínú ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga, ìṣẹ̀dá, àti títà àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì optíkì pàtàkì àti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì tuntun. Àwọn ọjà wa ń ṣiṣẹ́ fún ẹ̀rọ itanna optíkì, ẹ̀rọ itanna oníbàárà, àti àwọn ológun. A ń pèsè àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ Sapphire optíkì, àwọn ìbòrí lẹ́ǹsì fóònù alágbéká, àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ sémíkà, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, àti àwọn wafers crystal semiconductor. Pẹ̀lú ìmọ̀ tó ní ìmọ̀ àti àwọn ohun èlò tó ti pẹ́, a tayọ nínú ṣíṣe àwọn ohun èlò tí kì í ṣe déédé, a ń gbìyànjú láti jẹ́ ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga tó ń lo ohun èlò optoelectronic.
