Apá Fọ́kì Seramiki SiC / Olùṣe Ipari - Ìmúṣe Pípẹ́ Tó Tẹ̀síwájú fún Ṣíṣe Semiconductor

Apá Fọ́kì Séràmíkì SiC / Olùṣe Ipari – Ìmúṣe Pípéye Tó Tẹ̀síwájú fún Ṣíṣe Semiconductor Àwòrán Àfihàn

Àpèjúwe Kúkúrú:

Apá Fọ́k SiC Ceramic, tí a sábà máa ń pè ní Ceramic End Effector, jẹ́ ẹ̀yà ìtọ́jú tí ó ní ìṣe déédé gíga tí a ṣe pàtó fún gbígbé wafer, títúnṣe, àti ipò ní àwọn ilé iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga, pàápàá jùlọ láàárín ìṣẹ̀dá semiconductor àti photovoltaic. A ṣe é nípa lílo àwọn seramiki silikoni carbide tí ó ní ìmọ́tótó gíga, èyí sì para pọ̀ di agbára ẹ̀rọ tí ó tayọ, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó kéré gidigidi, àti ìdènà gíga sí ìkọlù ooru àti ìbàjẹ́.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Àwọn ẹ̀yà ara

Àwòrán Àlàyé

Àkótán Ọjà

Láìdàbí àwọn ohun èlò ìparí ìpele ìbílẹ̀ tí a fi aluminiomu, irin alagbara, tàbí quartz ṣe, àwọn ohun èlò ìparí ìpele seramiki SiC ń ṣe iṣẹ́ tí kò láfiwé ní àwọn yàrá ìfọṣọ, àwọn yàrá ìwẹ̀nùmọ́, àti àwọn àyíká ìṣiṣẹ́ líle, èyí tí ó sọ wọ́n di apá pàtàkì nínú àwọn roboti tí ń darí wafer ìran tuntun. Pẹ̀lú bí ìbéèrè fún ìṣelọ́pọ́ tí kò ní ìbàjẹ́ àti fífaradà sí i nínú ṣíṣe chip, lílo àwọn ohun èlò ìparí ìpele seramiki ń di ìwọ̀n iṣẹ́ náà kíákíá.

Ilana Iṣelọpọ

Ṣíṣe àwọnÀwọn Olùṣe Ìparí Ìparí SiC SeramikiÓ ní nínú àwọn ìlànà tó péye tó sì mọ́ tó sì dájú pé iṣẹ́ wọn yóò máa lọ dáadáa. Àwọn ìlànà pàtàkì méjì ni a sábà máa ń lò:

Silikoni Carbide tí a fi ìsopọ̀mọ́ra ṣe (RB-SiC)

Nínú ìlànà yìí, a máa fi silikoni tí a yọ́ sínú rẹ̀ láti inú lulú silikoni carbide àti ìdìpọ̀ ní ìwọ̀n otútù gíga (~1500°C), èyí tí ó máa ń ṣe àtúnṣe pẹ̀lú erogba tí ó kù láti ṣẹ̀dá àdàpọ̀ SiC-Si tí ó nípọn, tí ó sì le koko. Ọ̀nà yìí ní ìṣàkóso ìwọ̀n tí ó dára jùlọ, ó sì jẹ́ èyí tí ó munadoko fún iṣẹ́-ṣíṣe ńlá.

Silikoni Carbide tí kò ní ìfúnpá (SSiC)

A ṣe SSiC nípa sísè lulú SiC tó mọ́ tónítóní ní ìwọ̀n otútù tó ga gan-an (>2000°C) láìlo àwọn afikún tàbí ìpele ìsopọ̀. Èyí yóò mú kí ọjà náà ní ìwọ̀n tó fẹ́rẹ̀ẹ́ tó 100% àti àwọn ohun èlò míràn àti ooru tó ga jùlọ tó wà láàrín àwọn ohun èlò SiC. Ó dára fún àwọn ohun èlò mímú wafer tó ṣe pàtàkì gan-an.

Lẹ́yìn Ìṣiṣẹ́

Ṣiṣẹ́ CNC tó péye: Ó ṣàṣeyọrí sí fífẹ̀ àti ìfarajọra gíga.
Ipari oju ilẹ: Ṣíṣe dídán dáyámọ́ǹdì ń dín ìfọ́ ojú ilẹ̀ kù sí <0.02 µm.
Àyẹ̀wò: A lo idanwo interferometry optic, CMM, ati awọn idanwo ti kii ṣe iparun lati jẹrisi ọkọọkan.

Awọn igbesẹ wọnyi rii daju peOlùṣe opin SiCn pese deedee gbigbe wafer, iwọn ti o dara julọ, ati iṣelọpọ awọn ohun elo ti o kere ju.

Awọn ẹya ara ẹrọ pataki ati awọn anfani

Ẹ̀yà ara	Àpèjúwe
Líle Gíga Jùlọ	Agbara Vickers > 2500 HV, ti o koju yiya ati gige.
Ìfàsẹ́yìn Ooru Kekere	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, èyí tí ó ń mú kí ìdúróṣinṣin oníwọ̀n wà ní ìyípo ooru.
Ailewu Kemikali	Ó ń kojú HF, HCl, àwọn gáàsì plasma, àti àwọn ohun èlò ìbàjẹ́ mìíràn.
O tayọ Gbona mọnamọna resistance	Ó yẹ fún ìgbóná/ìtutù kíákíá nínú àwọn ẹ̀rọ ìgbàlejò àti ilé ìgbóná.
Agbara ati Agbara giga	Ṣe atilẹyin fun awọn ọwọ orita gigun ti a fi cantilevered laisi iyipada.
Ìjákulẹ̀ Díẹ̀	Apẹrẹ fun awọn agbegbe afẹfẹ giga-giga (UHV).
Yàrá Ìmọ́tótó ISO Class 1 Ṣetán	Iṣẹ́ tí kò ní patiku ń ṣe ìdánilójú pé ó jẹ́ kí a lè fi wafer ṣe iṣẹ́ náà dáadáa.

Àwọn ohun èlò ìlò

A lo SiC Ceramic Fork Arm / End Effector ni ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ ti o nilo deedee, mimọ, ati resistance kemikali. Awọn ipo pataki ti lilo pẹlu:

Ṣíṣelọpọ Semikonduktora

Fífi ẹrù/ṣíṣe àgbékalẹ̀ wafer nínú àkójọ ìpamọ́ (CVD, PVD), ìfọ́mọ́ (RIE, DRIE), àti àwọn ètò ìfọmọ́.
Gbigbe wafer roboti laarin awọn FOUPs, awọn kasẹti, ati awọn irinṣẹ ilana.
Mimu iwọn otutu giga nigba ise sise ooru tabi fifin.

Iṣelọpọ Sẹ́ẹ̀lì Fọ́tòvoltaic

Gbigbe awọn wafer silikoni ẹlẹgẹ tabi awọn sobusitireti oorun ni awọn laini adaṣe.

Ile-iṣẹ Ifihan Pẹpẹ Alapin (FPD)

Gbigbe awọn panẹli gilasi nla tabi awọn ipilẹ ni awọn agbegbe iṣelọpọ OLED/LCD.

Semikondatori akojọpọ / MEMS

A lo o ni awọn laini iṣelọpọ GaN, SiC, ati MEMS nibiti iṣakoso idoti ati deede ipo jẹ pataki.

Ipa ipa ipa rẹ ṣe pataki ni pataki ni idaniloju pe ko ni abawọn, ati pe o duro ṣinṣin lakoko awọn iṣẹ ti o ni itara.

Àwọn Agbára Ṣíṣe Àtúnṣe

A nfunni ni isọdi pupọ lati pade awọn ohun elo oriṣiriṣi ati awọn ibeere ilana:

Apẹrẹ Fọ́kì: Àwọn ìṣètò ìpele méjì, ìka púpọ̀, tàbí ìpele ìpín.
Ibamu Iwọn Wafer: Láti 2” sí 12” àwọn wáfárì.
Àwọn Ìfọwọ́sowọ́pọ̀ Ìfìsọ̀rọ̀pọ̀: Ni ibamu pẹlu awọn apa robot OEM.
Ìwọ̀n àti Ìfaradà Dúdú: Ipele Micron-ipele ti o ni fifẹ ati iyipo eti wa.
Awọn ẹya ara ẹrọ ti ko ni ipa si yiyọ: Awọn awoara tabi awọn ideri oju ti o fẹ fun mimu wafer ti o ni aabo.

Olúkúlùkùohun èlò ìparí seramikiA ṣe apẹrẹ pẹlu awọn alabara lati rii daju pe o baamu deede pẹlu awọn iyipada irinṣẹ ti o kere ju.

Àwọn Ìbéèrè Tí A Ń Béèrè Lóòrèkóòrè (FAQ)

Q1: Bawo ni SiC ṣe dara ju quartz lọ fun ohun elo ipa-ipari?
A1:Bó tilẹ̀ jẹ́ pé a sábà máa ń lo quartz fún ìwẹ̀nùmọ́ rẹ̀, kò ní agbára ẹ̀rọ tó lágbára, ó sì lè fọ́ lábẹ́ ẹrù tàbí ìkọlù otútù. SiC ní agbára tó ga jù, agbára ìfaradà ìbàjẹ́, àti ìdúróṣinṣin ooru, èyí tó dín ewu ìjákulẹ̀ àti ìbàjẹ́ wafer kù gidigidi.

Ìbéèrè 2: Ṣé apá fọ́ọ̀kì seramiki yìí bá gbogbo àwọn olùtọ́jú wafer robot mu?
A2:Bẹ́ẹ̀ni, àwọn olùṣe ìparí seramiki wa bá ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ètò ìtọ́jú wafer mu, a sì lè ṣe àtúnṣe sí àwọn àwòṣe roboti pàtó rẹ pẹ̀lú àwọn àwòrán ìmọ̀-ẹ̀rọ pípé.

Q3: Ṣe ó lè mú àwọn wafer 300 mm láìsí yíyípo?
A3:Dájúdájú. Líle koko ti SiC gba awọn apa fọ́ọ̀kì gígùn tinrin paapaa laaye lati di awọn wafer 300 mm mu lailewu laisi fifọ tabi yiyipada lakoko gbigbe.

Q4: Kí ni ìgbésí ayé iṣẹ́ abẹ́lé ti SiC seramiki opin effector kan?
A4:Pẹ̀lú lílo tó yẹ, ohun èlò SiC tó ń mú kí agbára ìṣiṣẹ́ náà gùn sí i ní ìgbà márùn-ún sí mẹ́wàá ju ti àwọn ohun èlò quartz tàbí aluminiomu ìbílẹ̀ lọ, nítorí pé ó lè gbóná ara rẹ̀ dáadáa sí ìdààmú ooru àti ẹ̀rọ.

Q5: Ṣe o n pese awọn iṣẹ rirọpo tabi awọn iṣẹ afọwọṣe iyara?
A5:Bẹ́ẹ̀ni, a ń ṣe àtìlẹ́yìn fún iṣẹ́ àyẹ̀wò kíákíá àti pé a ń ṣe àwọn iṣẹ́ àtúnṣe tí ó da lórí àwọn àwòrán CAD tàbí àwọn ẹ̀yà tí a ti ṣe àtúnṣe láti inú àwọn ẹ̀rọ tí ó wà tẹ́lẹ̀.

Nipa re

XKH jẹ́ amọ̀jọ̀gbọ́n nínú ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga, ìṣẹ̀dá, àti títà àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì optíkì pàtàkì àti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì tuntun. Àwọn ọjà wa ń ṣiṣẹ́ fún ẹ̀rọ itanna optíkì, ẹ̀rọ itanna oníbàárà, àti àwọn ológun. A ń pèsè àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ Sapphire optíkì, àwọn ìbòrí lẹ́ǹsì fóònù alágbéká, àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ sémíkà, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, àti àwọn wafers crystal semiconductor. Pẹ̀lú ìmọ̀ tó ní ìmọ̀ àti àwọn ohun èlò tó ti pẹ́, a tayọ nínú ṣíṣe àwọn ohun èlò tí kì í ṣe déédé, a ń gbìyànjú láti jẹ́ ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga tó ń lo ohun èlò optoelectronic.