Ṣíìkì Sẹ́míkì Carbide fún Ṣíìkì Sàpírì Síìkì Gáàsì

Àpèjúwe Kúkúrú:

Ohun èlò ìṣẹ́jú gíga tí a ṣe fún àyẹ̀wò semiconductor, ṣíṣe wafer, àti àwọn ohun èlò ìsopọ̀ ni Silicon Carbide Ceramic Chuck ni a ṣe pẹ̀lú àwọn ohun èlò seramiki tó ti pẹ́—pẹ̀lú SiC (SSiC), SiC tí a fi ṣe àtúnṣe sí ìṣe (RSiC), silicon nitride, àti aluminiomu nitride—ó ní agbára gíga, ìfàsẹ́yìn ooru tí kò pọ̀, agbára ìfaradà yíyà tó dára, àti ìgbésí ayé pípẹ́.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Àwọn ẹ̀yà ara

Àwòrán Àlàyé

Àkótán ti Silikoni Carbide (SiC) Seramiki Chuck

ÀwọnSilikoni Carbide seramiki Chuckjẹ́ pẹpẹ ìṣiṣẹ́ gíga tí a ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀ fún àyẹ̀wò semiconductor, ṣíṣe wafer, àti àwọn ohun èlò ìsopọ̀. A kọ́ ọ pẹ̀lú àwọn ohun èlò seramiki tó ti ní ìlọsíwájú—pẹ̀lúSiC tí a fi omi ṣan (SSiC), SiC tí a so mọ́ ìṣesí (RSiC), silikoni nitride, àtialuminiomu nitride—ó funnigíga gíga, ìfàsẹ́yìn ooru kékeré, resistance yíyà tó dára, àti ìgbésí ayé iṣẹ́ gígùn.

Pẹ̀lú ìmọ̀ ẹ̀rọ tó péye àti ìmọ́tótó ìgbàlódé, chuck náà ń ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀pẹlẹbẹ sub-micron, awọn oju ilẹ didara digi, ati iduroṣinṣin iwọn igba pipẹ, èyí tí ó mú kí ó jẹ́ ojútùú tó dára jùlọ fún àwọn iṣẹ́ semiconductor pàtàkì.

Àwọn Àǹfààní Pàtàkì

Pípé Gíga
Ilẹ̀ tí a ṣàkóso nínú0.3–0.5 μm, rírí i dájú pé wafer dúró ṣinṣin àti pé ó péye nínú iṣẹ́ náà.
Ṣíṣe dígí dígí
Àwọn àṣeyọríRa 0.02 μmàìríná ojú ilẹ̀, dín ìfọ́ àti ìbàjẹ́ kù—ó dára fún àyíká tí ó mọ́ tónítóní púpọ̀.
Ìwúwo Fẹ́ẹ́rẹ́ Jùlọ
Ó lágbára sí i, ó sì fẹ́ẹ́rẹ́ ju quartz tàbí irin substrates lọ, ó ń mú kí ìṣàkóṣo ìṣípo, ìdáhùnpadà, àti ìdúróṣinṣin sunwọ̀n sí i.
Líle Gíga
Modulu Young ti o tayọ ṣe idaniloju iduroṣinṣin onisẹpo labẹ awọn ẹru ti o wuwo ati iṣẹ iyara giga.
Ìfàsẹ́yìn Ooru Kekere
CTE bá àwọn wafer silicon mu ní ìṣọ̀kan, ó ń dín wahala ooru kù, ó sì ń mú kí ìgbẹ́kẹ̀lé iṣẹ́ náà pọ̀ sí i.
Tayọ Aṣọ resistance
Líle líle gidigidi máa ń pa àlàfo àti ìpéye mọ́ kódà nígbà tí a bá lo ìgbà pípẹ́ àti ìgbà gíga.

Ilana Iṣelọpọ

Igbaradi Ohun elo Aise
Àwọn lulú SiC tó mọ́ tónítóní pẹ̀lú ìwọ̀n pàǹtí tí a ṣàkóso àti àwọn ohun ìdọ̀tí tó kéré gan-an.
Ṣíṣẹ̀dá àti Síntírì
Àwọn ọ̀nà ìmọ́-ẹ̀rọ bíiSintering laisi titẹ (SSiC) or ìsopọ̀ ìṣesí (RSiC)ṣe àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ seramiki tó wúwo, tó sì dọ́gba.
Ṣiṣẹ́ Pípé
Lílọ CNC, ìgé lésà, àti iṣẹ́ ṣíṣe àgbékalẹ̀ tó péye jùlọ ń mú kí ó rọrùn láti fara dà á dé ±0.01 mm àti ≤3 μm.
Itọju dada
Lílọ àti dídán ní ìpele púpọ̀ sí Ra 0.02 μm; àwọn ìbòrí àṣàyàn wà fún ìdènà ìjẹrà tàbí àwọn ànímọ́ ìkọlù tí a ṣe àdáni.
Àyẹ̀wò àti Ìṣàkóso Dídára
Àwọn ohun èlò ìbánisọ̀rọ̀ àti àwọn ohun èlò ìdánwò roughness ń fìdí múlẹ̀ pé wọ́n tẹ̀lé àwọn ìlànà ìpele semiconductor.

Àwọn Ìlànà Ìmọ̀-ẹ̀rọ

Pílámẹ́rà	Iye	Ẹyọ kan
Pípẹ́típẹ́tí	≤0.5	μm
Àwọn ìwọ̀n wafer	6'', 8'', 12'' (aṣa wa)	—
Irú ojú ilẹ̀	Iru pinni / Iru oruka	—
Gíga pínì	0.05–0.2	mm
Ìwọ̀n ìwọ̀n kékeré	ϕ0.2	mm
Ààlà pínì kékeré	3	mm
Fífẹ̀ òrùka èdìdì kékeré	0.7	mm
Ríru ojú ilẹ̀	Ra 0.02	μm
Ifarada sisanra	±0.01	mm
Ifarada opin	±0.01	mm
Ifarada ni afiwera	≤3	μm

Àwọn Ohun Èlò Pàtàkì

Ohun elo ayẹwo wafer semiconductor
Awọn ọna ṣiṣe wafer ati gbigbe
Àwọn irinṣẹ́ ìsopọ̀ wafer àti ìdìpọ̀
Ilọsiwaju iṣelọpọ ẹrọ ẹrọ optoelectronic
Àwọn ohun èlò ìṣedéédé tó nílò àwọn ojú ilẹ̀ tó tẹ́jú pẹ̀lẹ́pẹ̀lẹ́, tó mọ́ tónítóní

Ibeere ati Idahun – Silikoni Carbide Seramiki Chuck

Q1: Báwo ni àwọn ohun èlò ìkọ́lé seramiki SiC ṣe fiwé pẹ̀lú quartz tàbí irin chucks?
A1: Àwọn SiC chucks fẹ́ẹ́rẹ́fẹ́ẹ́, wọ́n le koko jù, wọ́n sì ní CTE tí ó sún mọ́ àwọn wafer silicon, èyí tí ó dín ìyípadà ooru kù. Wọ́n tún ní agbára ìdènà yíyà tí ó ga jùlọ àti ìgbésí ayé gígùn.

Q2: Iru fifẹ wo ni a le ṣe aṣeyọri?
A2: A n ṣakoso laarin0.3–0.5 μm, tí ó bá àwọn ìbéèrè líle koko ti iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor mu.

Q3: Ṣé ojú ilẹ̀ náà yóò fa àwọn ìkòkò náà?
A3: Rárá—a fi dígí dán mọ́lẹ̀ síRa 0.02 μm, ní rírí dájú pé a kò ní ìfọ́ mọ́ àti pé a dín ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò ìfọ́ kù.

Q4: Awọn iwọn wafer wo ni a ṣe atilẹyin fun?
A4: Àwọn ìwọ̀n boṣewa ti6'', 8'', àti 12'', pẹ̀lú àtúnṣe tó wà.

Q5: Báwo ni resistance ooru ṣe rí?
A5: Awọn seramiki SiC pese iṣẹ otutu giga ti o dara julọ pẹlu iyipada kekere labẹ gigun ooru.

Nipa re

XKH jẹ́ amọ̀jọ̀gbọ́n nínú ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga, ìṣẹ̀dá, àti títà àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì optíkì pàtàkì àti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì tuntun. Àwọn ọjà wa ń ṣiṣẹ́ fún ẹ̀rọ itanna optíkì, ẹ̀rọ itanna oníbàárà, àti àwọn ológun. A ń pèsè àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ Sapphire optíkì, àwọn ìbòrí lẹ́ǹsì fóònù alágbéká, àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ sémíkà, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, àti àwọn wafers crystal semiconductor. Pẹ̀lú ìmọ̀ tó ní ìmọ̀ àti àwọn ohun èlò tó ti pẹ́, a tayọ nínú ṣíṣe àwọn ohun èlò tí kì í ṣe déédé, a ń gbìyànjú láti jẹ́ ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga tó ń lo ohun èlò optoelectronic.