Wafer Silikoni / Silikoni Carbide (SiC) Line Automation Polishing Line Mẹrin (Laini Iṣẹ́ Àfikún Lẹ́yìn Pólándì)

Wafer Silikoni / Silikoni Carbide (SiC) Line Automation Polishing Line (Apapo Post-Polish Mein Handling Line) Àwòrán Àfihàn

Àpèjúwe Kúkúrú:

Laini Automation Polishing Linked Ipele Mẹ́rin yii jẹ ojutu ti a ṣe apẹrẹ funlẹhin-polish / lẹhin-CMPawọn iṣẹ tisilikoniàtisilikoni carbide (SiC)Àwọn ìyẹ̀fun. A kọ́ wọn ní àyíkáàwọn ohun èlò seramiki (àwọn àwo seramiki), ètò náà ń so ọ̀pọ̀lọpọ̀ iṣẹ́ ìsàlẹ̀ pọ̀ mọ́ ìlà kan ṣoṣo tí a ṣètò—ó ń ran àwọn ẹ̀rọ lọ́wọ́ láti dín ìtọ́jú ọwọ́ kù, láti mú àkókò ìdènà dúró dáadáa, àti láti mú kí ìṣàkóso ìbàjẹ́ lágbára sí i.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Àwọn ẹ̀yà ara

Àwòrán Àlàyé

Wafer Silikoni / Silikoni Carbide (SiC) Line Automation Polishing Line (Line Integrated Post-Polish Handling Line)4

Àkótán Àkótán

Nínú iṣẹ́-ẹ̀rọ semiconductor,mimọ lẹhin-CMP ti o munadokoni a mọ si gbogbo eniyan gẹgẹbi igbesẹ pataki lati dinku awọn abawọn ṣaaju ilana ti n tẹle, ati awọn ọna ilọsiwaju (pẹluìfọmọ́ megasonic) ni a sábà máa ń sọ̀rọ̀ nípa rẹ̀ fún mímú kí iṣẹ́ yíyọ àwọn ohun èlò ìyókù pọ̀ sí i.

Fun SiC ni pataki,líle gíga ati aitasera kemikalimú kí ìfọ́mọ́lẹ̀ jẹ́ ohun tó ṣòro (tó sábà máa ń ní í ṣe pẹ̀lú ìwọ̀n ìyọkúrò ohun èlò tó kéré àti ewu tó ga jù fún ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀/abẹ́ ilẹ̀), èyí tó mú kí ìṣiṣẹ́ àdánidá lẹ́yìn ìfọ́mọ́lẹ̀ àti ìfọmọ́/ìmúlò tí a ṣàkóso níye lórí gan-an.

Wafer Silikoni / Silikoni Carbide (SiC) Line Automation Polishing Line (Line Apapo Lẹhin-Polish Mimu)5

Wafer Silikoni / Silikoni Carbide (SiC) Line Automation Polishing Line (Line Integrated Post-Polish Handling Line)2

Àwọn Àǹfààní Pàtàkì

Laini ti a ṣepọ kan ṣoṣo ti o ṣe atilẹyin:

Ìyàsọ́tọ̀ àti ìkójọpọ̀ Wafer(lẹ́yìn tí a ti yọ́ ọ)
Ìpamọ́ / ibi ìpamọ́ ohun èlò seramiki
Ìmọ́tótó ohun èlò seramiki
Fífi wafer sí orí àwọn ohun èlò seramiki (pílẹ̀mọ́)
Iṣẹ́ ìṣọ̀kan, ìṣẹ́ ìlà kan fúnÀwọn wáfárì 6–8 inches

Àwọn Ìlànà Ìmọ̀-ẹ̀rọ (Láti inú ìwé àkọsílẹ̀ tí a pèsè)

Iwọn Ohun elo (L×W×H):13643 × 5030 × 2300 mm
Ibi ti ina elekitiriki ti nwa:AC 380 V, 50 Hz
Agbára Àpapọ̀:119 kW
Ìmọ́tótó Ṣíṣe Àgbékalẹ̀:0.5 μm < 50 μm; 5 μm < 1 μm
Pípẹ́títí Ṣíṣe Àgbékalẹ̀:≤ 2 μm

Ìtọ́kasí Ìjáde-àkókò (Láti inú ìwé àkọsílẹ̀ tí a pèsè)

Iwọn Ohun elo (L×W×H):13643 × 5030 × 2300 mm
Ibi ti ina elekitiriki ti nwa:AC 380 V, 50 Hz
Agbára Àpapọ̀:119 kW
Ìmọ́tótó Ṣíṣe Àgbékalẹ̀:0.5 μm < 50 μm; 5 μm < 1 μm
Pípẹ́títí Ṣíṣe Àgbékalẹ̀:≤ 2 μm

Ṣíṣàn Ìlà Àṣàrò Déédé

Ìbánisọ̀rọ̀/ìbánisọ̀rọ̀ láti agbègbè ìfọ́mọ́ra òkè
Ìyàsọ́tọ̀ àti ìkójọpọ̀ Wafer
Ìfipamọ́/ìpamọ́ ohun èlò amúlétutù seramiki (ìtúpalẹ̀ àkókò ìṣẹ́jú)
Ìmọ́tótó ohun èlò seramiki
Fífi Wafer sí orí àwọn ohun èlò ìrùsókè (pẹ̀lú ìmọ́tótó àti ìṣàkóso fífẹ̀)
Outfeed si ilana isalẹ tabi awọn ilana eekaderi

Awọn ibeere ti a maa n beere nigbagbogbo

Q1: Awọn iṣoro wo ni ila yii yanju ni akọkọ?
A: Ó mú kí iṣẹ́ lẹ́yìn tí a ti yọ́ mọ́ nǹkan rọrùn nípa ṣíṣe àkójọpọ̀ ìyàsọ́tọ̀/àkójọpọ̀ wafer, ìfàmọ́ra ohun èlò amúlétutù seramiki, ìwẹ̀nùmọ́ ohun èlò amúlétutù, àti ìsopọ̀ wafer sínú ìlà adaṣiṣẹ kan ṣoṣo tí a ṣètò — ó ń dín àwọn ibi ìfọwọ́kàn ọwọ́ kù àti dídúró sí ìṣiṣẹ́ ìṣẹ̀dá.

Q2: Àwọn ohun èlò àti ìwọ̀n wafer wo ni a ṣe àtìlẹ́yìn fún?
A:Silikoni ati SiC,6–8 inchesàwọn fáìlì (gẹ́gẹ́ bí a ṣe pèsè).

Q3: Kí ló dé tí wọ́n fi ń tẹnu mọ́ ìmọ́tótó lẹ́yìn-CMP nínú iṣẹ́ náà?
A: Ìwé ìròyìn ilé iṣẹ́ tẹnu mọ́ pé ìbéèrè fún ìwẹ̀nùmọ́ lẹ́yìn-CMP tó gbéṣẹ́ ti pọ̀ sí i láti dín ìwọ̀n àbùkù kù kí ó tó di ìgbésẹ̀ tó tẹ̀lé e; a sábà máa ń kẹ́kọ̀ọ́ nípa àwọn ọ̀nà tí a fi ṣe àgbéyẹ̀wò fún mímú kí yíyọ àwọn èròjà kúrò.

Nipa re

XKH jẹ́ amọ̀jọ̀gbọ́n nínú ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga, ìṣẹ̀dá, àti títà àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì optíkì pàtàkì àti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì tuntun. Àwọn ọjà wa ń ṣiṣẹ́ fún ẹ̀rọ itanna optíkì, ẹ̀rọ itanna oníbàárà, àti àwọn ológun. A ń pèsè àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ Sapphire optíkì, àwọn ìbòrí lẹ́ǹsì fóònù alágbéká, àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ sémíkà, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, àti àwọn wafers crystal semiconductor. Pẹ̀lú ìmọ̀ tó ní ìmọ̀ àti àwọn ohun èlò tó ti pẹ́, a tayọ nínú ṣíṣe àwọn ohun èlò tí kì í ṣe déédé, a ń gbìyànjú láti jẹ́ ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga tó ń lo ohun èlò optoelectronic.