156mm 159mm 6 inch Sapphire Wafer fun ti ngbe C-Plane DSP TTV
Sipesifikesonu
| Nkan | 6-inch C-ofurufu (0001) oniyebiye Wafers | |
| Awọn ohun elo Crystal | 99,999%, Giga ti nw, Monocrystalline Al2O3 | |
| Ipele | NOMBA, Epi-Ṣetan | |
| Dada Iṣalaye | C-ofurufu (0001) | |
| C-ofurufu pa-igun si ọna M-ipo 0,2 +/- 0,1 ° | ||
| Iwọn opin | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Sisanra | 650 μm +/- 25 μm | |
| Primary Flat Iṣalaye | C-ofurufu (00-01) +/- 0,2 ° | |
| Nikan Side didan | Iwaju Iwaju | Epi-didan, Ra <0.2 nm (nipasẹ AFM) |
| (SSP) | Back Dada | Ilẹ ti o dara, Ra = 0.8 μm si 1.2 μm |
| Double Side didan | Iwaju Iwaju | Epi-didan, Ra <0.2 nm (nipasẹ AFM) |
| (DSP) | Back Dada | Epi-didan, Ra <0.2 nm (nipasẹ AFM) |
| TTV | <20 μm | |
| teriba | <20 μm | |
| IGBAGBO | <20 μm | |
| Ninu / Iṣakojọpọ | Kilasi 100 mimọ yara mimọ ati apoti igbale, | |
| Awọn ege 25 ninu apoti kasẹti kan tabi apoti ẹyọkan. | ||
Ọna Kylopoulos (ọna KY) ti nlo lọwọlọwọ nipasẹ ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ ni Ilu China lati ṣe awọn kirisita oniyebiye fun lilo ninu awọn ẹrọ itanna ati awọn ile-iṣẹ opiki.
Ninu ilana yii, ohun elo afẹfẹ aluminiomu giga-mimọ ti wa ni yo ni ibi-igi kan ni awọn iwọn otutu ju iwọn 2100 Celsius. Nigbagbogbo crucible jẹ tungsten tabi molybdenum. Kirisita irugbin ti o ni iṣalaye gangan ti wa ni ibọmi sinu alumina didà. Kirisita irugbin jẹ laiyara fa soke ati pe o le yiyi ni nigbakannaa. Nipa ṣiṣakoso deede iwọn otutu, iwọn fifa ati iwọn otutu itutu agbaiye, nla kan, kirisita-ẹyọkan, ingot cylindrical le ṣee ṣe lati yo.
Lẹhin awọn ingots oniyebiye oniyebiye kanṣoṣo ti dagba, wọn ti gbẹ sinu awọn ọpá iyipo, eyi ti a ge si sisanra window ti o fẹ ati nikẹhin didan si ipari oju ti o fẹ.
Alaye aworan atọka





