Ìwọ̀n Sàpífírì onípele méjì, ìyẹ̀fun mẹ́rin, ìyẹ̀fun mẹ́fà, ìyẹ̀fun tí a fi àwòrán rẹ̀ hàn (PSS) tí a fi ń gbin ohun èlò GaN lé lórí lè lò fún ìmọ́lẹ̀ LED

2 inch 4 inch 6 inch Sapphire Substrate (PSS) tí a fi ń gbin ohun èlò GaN le lò fún ìmọ́lẹ̀ LED Àwòrán tí a fi hàn

Àpèjúwe Kúkúrú:

Àwọ̀ ìbora tí a fi àwòrán ṣe (PSS) jẹ́ ìbòjú fún gbígbẹ ìbora lórí àwọ̀ ìbora, a fi àwòrán ìbora náà fín àwòrán nípasẹ̀ ìlànà lithography, lẹ́yìn náà a fi ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbora ICP kùn ún, a sì yọ ìbòjú náà kúrò, nígbẹ̀yìn gbẹ́yín a gbin ohun èlò GaN sí i, kí epitaxy gígùn ti ohun èlò GaN di epitaxy petele. Ìlànà yìí ní àwọn ìgbésẹ̀ bíi ìbòrí photoresist, ìfarahàn ìgbésẹ̀, ìdàgbàsókè àpẹẹrẹ ìfarahàn, ìfọ́jú gbígbẹ ICP àti ìwẹ̀nùmọ́.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Àwọn ẹ̀yà ara

Àwọn ohun pàtàkì

1. Àwọn ànímọ́ ìṣètò:
Ojú PSS ní àwòrán onígun mẹ́ta tàbí onígun mẹ́ta tí a lè ṣàkóso ìrísí, ìtóbi àti ìpínkiri nípa ṣíṣe àtúnṣe àwọn ìlànà ìfọṣọ.
Àwọn ètò àwòrán wọ̀nyí ń ran lọ́wọ́ láti yí ipa ọ̀nà ìtànkálẹ̀ ìmọ́lẹ̀ padà àti láti dín ìtànkálẹ̀ ìmọ́lẹ̀ náà kù, èyí sì ń mú kí ìyọkúrò ìmọ́lẹ̀ sunwọ̀n sí i.

2. Àwọn ànímọ́ ohun èlò:
PSS nlo sapphire didara giga gẹgẹbi ohun elo substrate, eyiti o ni awọn abuda ti lile giga, agbara ooru giga, iduroṣinṣin kemikali ti o dara ati imọlẹ oju.
Àwọn ànímọ́ wọ̀nyí ń jẹ́ kí PSS lè kojú àwọn àyíká líle bí iwọ̀n otútù gíga àti ìfúnpá nígbàtí ó ń ṣe àtúnṣe iṣẹ́ opitika tó dára jùlọ.

3. Iṣẹ́ àwòrán:
Nípa yíyípadà ìfọ́pọ̀ ìfọ́pọ̀ ní ojú ìwòye láàárín GaN àti ìpọ́pọ̀ ...
Ẹ̀yà ara yìí mú kí iṣẹ́ ìyọkúrò ìmọ́lẹ̀ LED náà sunwọ̀n síi, ó sì mú kí agbára ìmọ́lẹ̀ LED náà pọ̀ sí i.

4. Àwọn ànímọ́ ìlànà:
Ilana iṣelọpọ ti PSS jẹ idiju diẹ, ti o ni awọn igbesẹ pupọ gẹgẹbi lithography ati etching, ati pe o nilo awọn ohun elo ti o peye giga ati iṣakoso ilana.
Sibẹsibẹ, pẹlu ilọsiwaju ti imọ-ẹrọ ti nlọ lọwọ ati idinku awọn idiyele, ilana iṣelọpọ ti PSS ni a mu dara si ati ilọsiwaju diẹdiẹ.

Àǹfààní pàtàkì

1. Mu agbara imukuro ina dara si: PSS mu agbara imukuro ina LED dara si ni pataki nipa yiyipada ipa ọna itankale ina ati idinku iyipada lapapọ.

2. Pípẹ́ fún ìgbà pípẹ́ fún LED: PSS lè dín ìfọ́mọ́ra àwọn ohun èlò epitaxial GaN kù, nípa bẹ́ẹ̀ ó lè dín ìdàpọ̀ tí kò ní ìtànṣán àti ìṣàn omi padà ní agbègbè tí ó ń ṣiṣẹ́ kù, èyí sì lè mú kí ìgbésí ayé LED gùn sí i.

3. Mu imọlẹ LED dara si: Nitori ilọsiwaju ti ṣiṣe imukuro ina ati itẹsiwaju ti igbesi aye LED, agbara imọlẹ LED lori PSS pọ si ni pataki.

4. Dín owó iṣẹ́ kù: Bó tilẹ̀ jẹ́ pé iṣẹ́ ṣíṣe PSS jẹ́ ohun tó díjú díẹ̀, ó lè mú kí iṣẹ́ dídára àti ìgbésí ayé LED sunwọ̀n sí i, èyí sì lè dín iye owó iṣẹ́ kù dé àyè kan, kí ó sì mú kí iṣẹ́ náà túbọ̀ lágbára sí i.

Awọn agbegbe ohun elo akọkọ

1. Ina LED: PSS gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ fún àwọn eerun LED, ó lè mú kí iṣẹ́ ìmọ́lẹ̀ àti ìgbésí ayé LED sunwọ̀n síi.
Nínú ẹ̀ka ìmọ́lẹ̀ LED, a ń lo PSS ní onírúurú ọjà ìmọ́lẹ̀, bí àtùpà ojú pópó, àtùpà tábìlì, iná ọkọ̀ àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.

2. Àwọn ẹ̀rọ Semiconductor: Yàtọ̀ sí ìmọ́lẹ̀ LED, a tún lè lo PSS láti ṣe àwọn ẹ̀rọ semiconductor mìíràn, bíi àwọn ohun èlò ìmọ́lẹ̀, lésà, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn ẹ̀rọ wọ̀nyí ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ohun èlò nínú ìbánisọ̀rọ̀, ìṣègùn, ológun àti àwọn ẹ̀ka mìíràn.

3. Ìṣọ̀kan Optoelectronic: Àwọn ohun ìní opitika àti ìdúróṣinṣin PSS jẹ́ kí ó jẹ́ ọ̀kan lára àwọn ohun èlò tó dára jùlọ nínú iṣẹ́ ìṣọ̀kan optoelectronic. Nínú ìṣọ̀kan optoelectronic, a lè lo PSS láti ṣe àwọn ìtọ́sọ́nà opitika, àwọn ìyípadà opitika àti àwọn èròjà mìíràn láti ṣe àgbékalẹ̀ àti ìṣiṣẹ́ àwọn àmì opitika.

Awọn eto imọ-ẹrọ

Ohun kan	Àwòrán Sàpífírì (2~6inṣì)
Iwọn opin	50.8 ± 0.1 mm	100.0 ± 0.2 mm	150.0 ± 0.3 mm
Sisanra	430 ± 25μm	650 ± 25μm	1000 ± 25μm
Ìtọ́sọ́nà ojú ilẹ̀	C-plane (0001) tí kò ní igun sí M-axis (10-10) 0.2 ± 0.1°
	C-plane (0001) tí kò sí ní igun sí A-axis (11-20) 0 ± 0.1°
Ìtọ́sọ́nà Pẹpẹ Àkọ́kọ́	A-Plane (11-20) ± 1.0°
Gígùn Pẹpẹ Àkọ́kọ́	16.0 ± 1.0 mm	30.0 ± 1.0 mm	47.5 ± 2.0 mm
R-Plane	Aago mẹsan-an
Ipari Iwaju Oju-iwaju	Àwòrán tí a ṣe ní àwòrán
Ipari Dada Lẹhin	SSP:Ilẹ̀ dídán,Ra=0.8-1.2um; DSP:Epi-dán,Ra<0.3nm
Àmì Lésà	Ẹ̀yìn
TV	≤8μm	≤10μm	≤20μm
ỌRUN	≤10μm	≤15μm	≤25μm
ÌWÀRÀ	≤12μm	≤20μm	≤30μm
Ìyọkúrò Etí	≤2 mm
Ìlànà Àpẹẹrẹ	Ìṣètò Àwòrán	Dome, Konu, Pyramid
	Gíga Àpẹẹrẹ	1.6~1.8μm
	Iwọn Iwọn Àpẹẹrẹ	2.75~2.85μm
	Ààyè Àpẹẹrẹ	0.1~0.3μm

XKH fojusi idagbasoke, iṣelọpọ ati tita ti apẹrẹ sapphire substrate (PSS), o si ti pinnu lati pese awọn ọja PSS ti o ga julọ, ti o ni agbara giga fun awọn alabara kakiri agbaye. XKH ni imọ-ẹrọ iṣelọpọ ti o ni ilọsiwaju ati ẹgbẹ imọ-ẹrọ ọjọgbọn, eyiti o le ṣe akanṣe awọn ọja PSS pẹlu awọn pato oriṣiriṣi ati awọn eto apẹẹrẹ oriṣiriṣi gẹgẹbi awọn aini alabara. Ni akoko kanna, XKH ṣe akiyesi didara ọja ati didara iṣẹ, o si ti pinnu lati pese awọn alabara pẹlu ọpọlọpọ atilẹyin imọ-ẹrọ ati awọn solusan. Ni aaye PSS, XKH ti ni iriri ati awọn anfani ti o lọpọlọpọ, o si n reti lati ṣiṣẹ pọ pẹlu awọn alabaṣiṣẹpọ agbaye lati ṣe igbelaruge idagbasoke tuntun ti ina LED, awọn ẹrọ semiconductor ati awọn ile-iṣẹ miiran.