2 inch 4 inch 6 inch Patterned Sapphire Substrate (PSS) lori eyiti ohun elo GaN ti dagba le lo fun ina LED

Apejuwe kukuru:

Sobusitireti oniyebiye ti a ṣe apẹrẹ (PSS) jẹ iboju-boju fun etching gbigbẹ lori sobusitireti oniyebiye, boju-boju naa jẹ apẹrẹ pẹlu apẹrẹ nipasẹ ilana lithography boṣewa, lẹhinna oniyebiye naa jẹ etched nipasẹ imọ-ẹrọ ICP etching, ati pe a ti yọ boju-boju naa kuro, ati nikẹhin ohun elo GaN ti dagba lori rẹ, nitorinaa apọju gigun ti ohun elo GaN di epitaxy petele. Ilana yii pẹlu awọn igbesẹ pupọ gẹgẹbi ibora photoresist, ifihan igbesẹ, ilana ifihan idagbasoke, ICP gbẹ etching ati mimọ.


Alaye ọja

ọja Tags

Awọn ẹya akọkọ

1. Awọn abuda igbekale:
Oju PSS ni konu ti o ṣeto tabi apẹrẹ conical onigun mẹta ti apẹrẹ, iwọn ati pinpin le jẹ iṣakoso nipasẹ ṣiṣatunṣe awọn ilana ilana etching.
Awọn ẹya ayaworan wọnyi ṣe iranlọwọ lati yi ọna itankalẹ ti ina pada ati dinku ifojusọna lapapọ ti ina, nitorinaa imudara ṣiṣe ti isediwon ina.

2. Awọn abuda ohun elo:
PSS nlo oniyebiye didara to gaju bi ohun elo sobusitireti, eyiti o ni awọn abuda ti líle giga, adaṣe igbona giga, iduroṣinṣin kemikali ti o dara ati akoyawo opiti.
Awọn abuda wọnyi jẹ ki PSS le koju awọn agbegbe lile gẹgẹbi awọn iwọn otutu ti o ga ati awọn igara lakoko mimu iṣẹ ṣiṣe opiti to dara julọ.

3. Iṣẹ́ opitika:
Nipa yiyipada tituka pupọ ni wiwo laarin GaN ati sobusitireti oniyebiye, PSS jẹ ki awọn photon ti o ṣe afihan patapata ninu Layer GaN ni aye lati sa fun sobusitireti sapphire.
Ẹya ara ẹrọ yii ṣe ilọsiwaju imudara isediwon ina ti LED ati mu kikikan ina ti LED pọ si.

4. Awọn abuda ilana:
Ilana iṣelọpọ ti PSS jẹ idiju, pẹlu awọn igbesẹ pupọ gẹgẹbi lithography ati etching, ati pe o nilo ohun elo pipe-giga ati iṣakoso ilana.
Sibẹsibẹ, pẹlu ilọsiwaju ilọsiwaju ti imọ-ẹrọ ati idinku awọn idiyele, ilana iṣelọpọ ti PSS ti wa ni iṣapeye ni ilọsiwaju ati ilọsiwaju.

Anfani mojuto

1.Imudara ina isediwon isediwon: PSS significantly mu awọn ina isediwon ṣiṣe ti LED nipa yiyipada awọn ina soju ona ati atehinwa lapapọ otito.

2.Prolong LED aye: PSS le dinku iwuwo dislocation ti awọn ohun elo epitaxial GaN, nitorina o dinku isọdọtun ti kii ṣe radiative ati yiyipada jijo lọwọlọwọ ni agbegbe ti nṣiṣe lọwọ, gigun igbesi aye LED.

3.Imudara LED imọlẹ: Nitori ilọsiwaju ti ina isediwon ṣiṣe ati awọn itẹsiwaju ti LED aye, awọn LED luminous kikankikan lori awọn PSS ti wa ni significantly ti mu dara si.

4.Reduce gbóògì owo: Biotilejepe awọn ẹrọ ilana ti PSS jẹ jo eka, o le significantly mu awọn luminous ṣiṣe ati aye ti LED, nitorina atehinwa gbóògì owo si kan awọn iye ati ki o imudarasi awọn ifigagbaga ti awọn ọja.

Awọn agbegbe ohun elo akọkọ

1. Imọlẹ LED: PSS bi ohun elo sobusitireti fun awọn eerun LED, le ṣe ilọsiwaju imudara itanna ati igbesi aye LED.
Ni aaye ti ina LED, PSS ni lilo pupọ ni ọpọlọpọ awọn ọja ina, gẹgẹbi awọn atupa ita, awọn atupa tabili, awọn ina ọkọ ayọkẹlẹ ati bẹbẹ lọ.

Awọn ẹrọ 2.Semiconductor: Ni afikun si itanna LED, PSS tun le ṣee lo lati ṣe awọn ẹrọ miiran semikondokito, gẹgẹbi awọn aṣawari ina, awọn lasers, bbl Awọn ẹrọ wọnyi ni ọpọlọpọ awọn ohun elo ni ibaraẹnisọrọ, iṣoogun, ologun ati awọn aaye miiran.

3.Optoelectronic Integration: Awọn ohun-ini opiti ati iduroṣinṣin ti PSS jẹ ki o jẹ ọkan ninu awọn ohun elo ti o dara julọ ni aaye ti iṣipopada optoelectronic.Ninu iṣipopada optoelectronic, PSS le ṣee lo lati ṣe awọn itọnisọna oju-ọna oju-ọna, awọn iyipada oju-ọna ati awọn ẹya miiran lati ṣe akiyesi gbigbe ati sisẹ awọn ifihan agbara opiti.

Imọ paramita

Nkan Sobusitireti oniyebiye ti a ṣe apẹrẹ (2 ~ 6inch)
Iwọn opin 50,8 ± 0,1 mm 100,0 ± 0,2 mm 150,0 ± 0,3 mm
Sisanra 430 ± 25μm 650 ± 25μm 1000 ± 25μm
Dada Iṣalaye C-ofurufu (0001) kuro-igun si ọna M-ipo (10-10) 0.2 ± 0.1°
C-ofurufu (0001) kuro-igun si A-ipo (11-20) 0 ± 0.1°
Primary Flat Iṣalaye A-ofurufu (11-20) ± 1,0 °
Primary Flat Gigun 16,0 ± 1,0 mm 30,0 ± 1,0 mm 47,5 ± 2,0 mm
R-ofurufu aago mẹsan-an
Iwaju dada Ipari Apẹrẹ
Pada dada Ipari SSP: Ilẹ-Fine, Ra = 0.8-1.2um; DSP:Epi-didan,Ra<0.3nm
Lesa Mark Ẹgbe ẹhin
TTV ≤8μm ≤10μm ≤20μm
teriba ≤10μm ≤15μm ≤25μm
IGBAGBO ≤12μm ≤20μm ≤30μm
Iyasoto eti ≤2 mm
Apeere Specification Apẹrẹ Apẹrẹ Dome, Konu, Pyramid
Iga Àpẹẹrẹ 1.6 ~ 1.8μm
Apẹrẹ Iwọn 2.75 ~ 2.85μm
Aaye Apẹrẹ 0.1 ~ 0.3μm

XKH dojukọ idagbasoke, iṣelọpọ ati tita ti sobusitireti oniyebiye apẹrẹ (PSS), ati pe o pinnu lati pese didara giga, awọn ọja PSS ti o ga julọ si awọn alabara kakiri agbaye. XKH ni imọ-ẹrọ iṣelọpọ to ti ni ilọsiwaju ati ẹgbẹ imọ-ẹrọ ọjọgbọn, eyiti o le ṣe akanṣe awọn ọja PSS pẹlu awọn pato pato ati awọn ẹya apẹrẹ ti o yatọ gẹgẹbi awọn iwulo alabara. Ni akoko kanna, XKH ṣe akiyesi si didara ọja ati didara iṣẹ, o si ṣe ipinnu lati pese awọn onibara ni kikun ti atilẹyin imọ-ẹrọ ati awọn solusan. Ni aaye ti PSS, XKH ti ṣajọpọ iriri ọlọrọ ati awọn anfani, ati nireti lati ṣiṣẹ pọ pẹlu awọn alabaṣiṣẹpọ agbaye lati ṣe agbega apapọ idagbasoke imotuntun ti ina LED, awọn ẹrọ semikondokito ati awọn ile-iṣẹ miiran.

Alaye aworan atọka

Sobusitireti oniyebiye oniyebiye (PSS) 6
Sobusitireti oniyebiye oniyebiye (PSS) 5
Sobusitireti oniyebiye oniyebiye (PSS) 4

  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • Kọ ifiranṣẹ rẹ nibi ki o si fi si wa