2inch SiC ingot Dia50.8mmx10mmt 4H-N monocrystal

Apejuwe kukuru:

SiC 2-inch (silicon carbide) ingot n tọka si iyipo tabi okuta-iwọn bulọọki okuta ẹyọkan ti ohun alumọni carbide pẹlu iwọn ila opin tabi ipari eti ti 2 inches. Awọn ingots ohun alumọni carbide ni a lo bi ohun elo ibẹrẹ fun iṣelọpọ ti ọpọlọpọ awọn ẹrọ semikondokito, gẹgẹbi awọn ẹrọ itanna agbara ati awọn ẹrọ optoelectronic.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Alaye ọja

ọja Tags

SiC Crystal Growth Technology

Awọn abuda ti SiC jẹ ki o nira lati dagba awọn kirisita ẹyọkan. Eyi jẹ pataki nitori otitọ pe ko si ipele omi pẹlu ipin stoichiometric ti Si: C = 1: 1 ni titẹ oju aye, ati pe ko ṣee ṣe lati dagba SiC nipasẹ awọn ọna idagbasoke ti ogbo diẹ sii, gẹgẹbi ọna iyaworan taara ati ọna crucible ti o ṣubu, eyiti o jẹ awọn ipilẹ akọkọ ti ile-iṣẹ semikondokito. Ni imọ-jinlẹ, ojutu kan pẹlu ipin stoichiometric ti Si: C = 1: 1 le ṣee gba nikan nigbati titẹ ba tobi ju 10E5atm ati iwọn otutu ga ju 3200℃. Lọwọlọwọ, awọn ọna akọkọ ti o wa pẹlu ọna PVT, ọna omi-omi, ati ọna fifisilẹ kemikali ti o ni iwọn otutu ti o ga julọ.

Awọn wafers SiC ati awọn kirisita ti a pese ni a dagba nipataki nipasẹ gbigbe oru ti ara (PVT), ati pe atẹle jẹ ifihan kukuru si PVT:

Ọna gbigbe gbigbe ti ara (PVT) ti ipilẹṣẹ lati ilana ilana sublimation gaasi-ipele ti a ṣe nipasẹ Lely ni ọdun 1955, ninu eyiti a gbe SiC lulú sinu tube graphite kan ati ki o kikan si iwọn otutu giga lati jẹ ki lulú SiC decompose ati sublimate, ati lẹhinna lẹẹdi naa. tube ti wa ni tutu si isalẹ, ati awọn decomrated gaasi-alakoso irinše ti awọn SiC lulú ti wa ni ifipamo ati ki o crystallized bi SiC kirisita ni agbegbe agbegbe ti awọn lẹẹdi tube. Botilẹjẹpe ọna yii nira lati gba awọn kirisita SiC ti o tobi pupọ ati ilana fifisilẹ inu tube graphite jẹra lati ṣakoso, o pese awọn imọran fun awọn oniwadi ti o tẹle.

YM Tairov et al. ni Russia ṣe agbekalẹ imọran ti okuta gara irugbin lori ipilẹ yii, eyiti o yanju iṣoro ti apẹrẹ gara ti ko ni iṣakoso ati ipo iparun ti awọn kirisita SiC. Awọn oniwadi ti o tẹle tẹsiwaju lati ni ilọsiwaju ati nikẹhin ni idagbasoke ọna gbigbe eefin ti ara (PVT) ti o lo ni ile-iṣẹ loni.

Gẹgẹbi ọna idagbasoke SiC gara akọkọ, PVT lọwọlọwọ jẹ ọna idagbasoke akọkọ julọ fun awọn kirisita SiC. Ti a bawe pẹlu awọn ọna miiran, ọna yii ni awọn ibeere kekere fun ohun elo idagbasoke, ilana idagbasoke ti o rọrun, iṣakoso ti o lagbara, idagbasoke ni kikun ati iwadii, ati pe o ti ni iṣelọpọ tẹlẹ.