2inch SiC ingot Dia50.8mmx10mmt 4H-N monocrystal
SiC Crystal Growth Technology
Awọn abuda ti SiC jẹ ki o nira lati dagba awọn kirisita ẹyọkan.Eyi jẹ pataki nitori otitọ pe ko si ipele omi pẹlu ipin stoichiometric ti Si: C = 1: 1 ni titẹ oju aye, ati pe ko ṣee ṣe lati dagba SiC nipasẹ awọn ọna idagbasoke ti ogbo diẹ sii, gẹgẹbi ọna iyaworan taara ati ọna crucible ja bo, eyi ti o jẹ awọn ifilelẹ ti awọn semikondokito ile ise.Ni imọ-jinlẹ, ojutu kan pẹlu ipin stoichiometric ti Si: C = 1: 1 le ṣee gba nikan nigbati titẹ ba tobi ju 10E5atm ati iwọn otutu ga ju 3200℃.Lọwọlọwọ, awọn ọna akọkọ ti o wa pẹlu ọna PVT, ọna omi-omi, ati ọna fifisilẹ kemikali ti o ni iwọn otutu ti o ga julọ.
Awọn wafers SiC ati awọn kirisita ti a pese ni a dagba nipataki nipasẹ gbigbe oru ti ara (PVT), ati pe atẹle jẹ ifihan kukuru si PVT:
Ọna gbigbe gbigbe ti ara (PVT) ti ipilẹṣẹ lati ilana ilana sublimation gaasi-ipele ti a ṣe nipasẹ Lely ni ọdun 1955, ninu eyiti a gbe SiC lulú sinu tube graphite kan ati ki o kikan si iwọn otutu giga lati jẹ ki lulú SiC decompose ati sublimate, ati lẹhinna lẹẹdi naa. tube ti wa ni tutu si isalẹ, ati awọn decomrated gaasi-alakoso irinše ti awọn SiC lulú ti wa ni ifipamo ati ki o crystallized bi SiC kirisita ni agbegbe agbegbe ti awọn lẹẹdi tube.Botilẹjẹpe ọna yii nira lati gba awọn kirisita SiC ti o tobi pupọ ati ilana fifisilẹ inu tube graphite jẹra lati ṣakoso, o pese awọn imọran fun awọn oniwadi ti o tẹle.
YM Tairov et al.ni Russia ṣe agbekalẹ imọran ti okuta gara irugbin lori ipilẹ yii, eyiti o yanju iṣoro ti apẹrẹ gara ti ko ni iṣakoso ati ipo iparun ti awọn kirisita SiC.Awọn oniwadi ti o tẹle tẹsiwaju lati ni ilọsiwaju ati nikẹhin ni idagbasoke ọna gbigbe eefin ti ara (PVT) ti o lo ni ile-iṣẹ loni.
Gẹgẹbi ọna idagbasoke SiC gara akọkọ, PVT lọwọlọwọ jẹ ọna idagbasoke akọkọ julọ fun awọn kirisita SiC.Ti a bawe pẹlu awọn ọna miiran, ọna yii ni awọn ibeere kekere fun ohun elo idagbasoke, ilana idagbasoke ti o rọrun, iṣakoso ti o lagbara, idagbasoke ni kikun ati iwadii, ati pe o ti ni iṣelọpọ tẹlẹ.
Alaye aworan atọka
![asd (1)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-19.jpg)
![asd (2)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-29.jpg)
![asd (3)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-35.jpg)
![asd (4)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-42.jpg)