4inch 6inch Lithium niobate ẹyọkan fiimu gara LNOI wafer
Ilana igbaradi ti awọn ohun elo LNOI ni akọkọ pin si awọn igbesẹ mẹrin wọnyi
(1) A ti fi awọn ions rẹ sinu ohun elo lithium niobate X-ge ni agbara kan, ti a si ṣe sinu abawọn abawọn ni ijinle kan ni isalẹ ipele ti lithium niobate;
(2) Awọn ohun elo litiumu niobate ti a fi sinu ion ti wa ni asopọ si sobusitireti ohun alumọni kan pẹlu Layer oxide lati ṣe agbekalẹ ọna asopọ;
(3) Eto isọpọ ti di annealed lati jẹ ki awọn abawọn ti a ṣe nipasẹ He ion implantation ti dagbasoke ati apapọ lati dagba awọn dojuijako. Nikẹhin, litiumu niobate ti yapa lẹgbẹẹ ipele abawọn lati ṣe awọn ege lithium niobate ti o ku ati awọn wafers LNOI.
Awọn ohun elo ati awọn anfani ti wafer LNOI
1--Lithium niobate piezoelectric films (LNOI) ni piezoelectric olùsọdipúpọ ati dielectric ibakan, eyi ti o le se iyipada agbara darí sinu itanna agbara tabi itanna agbara sinu darí agbara. Nitorina, o jẹ lilo pupọ ni aaye awọn sensọ, gẹgẹbi awọn sensọ titẹ, awọn sensọ isare, awọn sensọ otutu ati bẹbẹ lọ. Ni afikun, litiumu niobate piezoelectric fiimu tun le ṣee lo ni awọn ẹrọ acoustic ati awọn ẹrọ gbigbọn, gẹgẹbi piezoelectric seramiki transducer complex piezoelectric seramiki àlẹmọ.
2-Iduroṣinṣin ti lithium niobate piezoelectric film tun jẹ ọkan ninu awọn anfani rẹ. Nitori iduroṣinṣin be gara rẹ ati inertness kemikali, litiumu niobate piezoelectric fiimu le ṣiṣẹ ni iwọn otutu giga, ọriniinitutu giga, acid lagbara, alkali ti o lagbara ati agbegbe lile miiran, pẹlu ipata ipata ati agbara to dara.
3-Lithium niobate piezoelectric fiimu jẹ ohun elo piezoelectric tuntun pẹlu iṣẹ ṣiṣe ti o dara julọ ati iduroṣinṣin, ati pe o ni ifojusọna ohun elo jakejado. Pẹlu idagbasoke ilọsiwaju ti imọ-jinlẹ ati imọ-ẹrọ, lithium niobate piezoelectric fiimu yoo lo ni awọn ilu diẹ sii, ti o mu irọrun diẹ sii ati imotuntun si awọn igbesi aye eniyan.
Alaye aworan atọka
