Ìwọ̀n Àpò LN-on-Si 6 inch-8 inch Ìwọ̀n Àpò LN-on-Si 0.3-50 μm Si/SiC/Sapphire ti Àwọn Ohun Èlò

Ìwọ̀n Àpò Ìparapọ̀ LN-on-Si 6 inch-8 inch Ìwọ̀n Àpò Ìparapọ̀ 0.3-50 μm Si/SiC/Sapphire ti Àwọn Ohun Èlò Àfihàn Àwòrán

Àpèjúwe Kúkúrú:

Ohun èlò ìdàpọ̀ LN-on-Si tó tó 6-inch sí 8-inch jẹ́ ohun èlò tó ní agbára gíga tó ń so àwọn fíìmù tín-tín lithium niobate (LN) pọ̀ mọ́ àwọn ohun èlò silicon (Si), tó nípọn tó wà láti 0.3 μm sí 50 μm. A ṣe é fún ṣíṣe ohun èlò semiconductor àti optoelectronic tó ti pẹ́. Nípa lílo àwọn ọ̀nà ìsopọ̀ tó ti pẹ́ tàbí àwọn ọ̀nà ìdàgbàsókè epitaxial, ohun èlò yìí ń rí i dájú pé ó ní agbára kristali tó ga jùlọ nínú fíìmù tinrin LN, nígbà tó ń lo ìwọ̀n wafer ńlá (6-inch sí 8-inch) ti ohun èlò silicon láti mú kí iṣẹ́ ṣíṣe pọ̀ sí i àti pé ó ń náwó dáadáa.
Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ohun èlò LN onípele 6-inch sí 8-inch, ohun èlò ìdàpọ̀ LN-on-Si tí ó ní ìwọ̀n 6-inch sí 8-inch ní ìbáramu ooru tí ó ga jùlọ àti ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ, èyí tí ó mú kí ó yẹ fún ṣíṣe ìpele wafer ńlá. Ní àfikún, a lè yan àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ mìíràn bíi SiC tàbí sapphire láti bá àwọn ohun èlò pàtó mu, títí kan àwọn ẹ̀rọ RF onípele gíga, àwọn photonics tí a ti so pọ̀, àti àwọn sensọ MEMS.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Àwọn ẹ̀yà ara

Awọn eto imọ-ẹrọ

0.3-50μm LN/LT lórí àwọn Insulators
Ipele oke
Iwọn opin	6-8 inches
Ìtọ́sọ́nà	X, Z, Y-42 àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Àwọn Ohun Èlò	LT, LN
Sisanra	0.3-50μm
Sẹ́ẹ̀tì (Àṣà)
Ohun èlò	Si, SiC, Sapphire, Spinel, Quartz

Àwọn Ohun Pàtàkì

A ṣe àfihàn ohun èlò ìdàpọ̀ LN-on-Si tí ó tó 6-inch sí 8-inch nípasẹ̀ àwọn ohun ìní rẹ̀ àti àwọn pàrámítà tí a lè ṣàtúnṣe, èyí tí ó mú kí ó ṣeé lò ní àwọn ilé iṣẹ́ semiconductor àti optoelectronic:

1. Ibamu Wafer Nla: Iwọn wafer 6-inch si 8-inch n ṣe idaniloju isopọmọ laisi wahala pẹlu awọn laini iṣelọpọ semiconductor ti o wa tẹlẹ (fun apẹẹrẹ, awọn ilana CMOS), dinku awọn idiyele iṣelọpọ ati mu ki iṣelọpọ ibi-pupọ ṣiṣẹ.

2. Didara Kirisita Giga: Awọn ilana epitaxial tabi isopọmọ ti a ṣe iṣapeye ṣe idaniloju iwuwo abawọn kekere ninu fiimu tinrin LN, ti o jẹ ki o dara julọ fun awọn modulators opitika ti o ga julọ, awọn àlẹmọ igbi acoustic dada (SAW), ati awọn ẹrọ deede miiran.

3. Sisanra Ti A le Ṣatunṣe (0.3–50 μm): Awọn fẹlẹfẹlẹ LN tinrin pupọ (<1 μm) dara fun awọn eerun photonic ti a ṣepọ, lakoko ti awọn fẹlẹfẹlẹ ti o nipọn (10–50 μm) ṣe atilẹyin fun awọn ẹrọ RF ti o ni agbara giga tabi awọn sensọ piezoelectric.

4. Àwọn Àṣàyàn Onírúurú Ìsopọ̀: Ní àfikún sí Si, a lè yan SiC (ìbáṣepọ̀ ooru gíga) tàbí sapphire (ìdábòbò gíga) gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìpìlẹ̀ láti bá àwọn ohun èlò ìgbóná gíga, iwọn otutu gíga, tàbí agbára gíga mu.

5. Iduroṣinṣin Igbona ati Mekaniki: Substrate silikoni pese atilẹyin ẹrọ to lagbara, o dinku idinku tabi fifọ lakoko sisẹ ati imudarasi iṣelọpọ ẹrọ.

Àwọn ànímọ́ wọ̀nyí gbé ìpìlẹ̀ LN-on-Si tí ó tó 6-inch sí 8-inch kalẹ̀ gẹ́gẹ́ bí ohun èlò tí a fẹ́ràn jùlọ fún àwọn ìmọ̀-ẹ̀rọ tuntun bíi ìbánisọ̀rọ̀ 5G, LiDAR, àti quantum optics.

Àwọn Ohun Èlò Pàtàkì

Àwọn ohun èlò ìdàpọ̀ LN-on-Si tí ó tó 6-inch sí 8-inch ni a gba ní àwọn ilé iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga nítorí àwọn ohun-ìní electro-optic, piezoelectric, àti acoustic rẹ̀ tí ó tayọ:

1. Awọn ibaraẹnisọrọ oju ati Awọn Photonics ti a ṣe akojọpọ: O mu ki awọn modulators elekitiro-optic iyara giga, awọn itọsọna wave, ati awọn iyika integrated photonic (PICs) ṣiṣẹ, ni titọju awọn ibeere bandwidth ti awọn ile-iṣẹ data ati awọn nẹtiwọọki okun-optic.

Àwọn Ẹ̀rọ RF 2.5G/6G: Ìwọ̀n piezoelectric gíga ti LN mú kí ó dára fún ìgbì omi acoustic surface (SAW) àti àwọn àlẹ̀mọ́ ìgbì omi acoustic (BAW), èyí tí ó ń mú kí iṣẹ́ àmì pọ̀ sí i ní àwọn ibùdó ìpìlẹ̀ 5G àti àwọn ẹ̀rọ alágbèéká.

3.MEMS àti Sensọ: Ipa piezoelectric ti LN-on-Si n ṣe iranlọwọ fun awọn ohun elo iyara-giga, awọn sensọ bio, ati awọn transducers ultrasonic fun awọn ohun elo iṣoogun ati ile-iṣẹ.

4. Àwọn Ìmọ̀-ẹ̀rọ Quantum: Gẹ́gẹ́ bí ohun èlò opitika tí kì í ṣe línẹ́ẹ̀tì, a ń lo àwọn fíìmù LN tín-ín-rín nínú àwọn orísun ìmọ́lẹ̀ kuantum (fún àpẹẹrẹ, àwọn oríṣiríṣi fọ́tòn tí a fi ìdè mọ́) àti àwọn ègé kuantum tí a ti so pọ̀.

5. Àwọn Lésà àti Àwọn Ojú Ìwòrán Aláìláìní: Àwọn ìpele LN tó tinrin gidigidi ń mú kí ìṣẹ̀dá ìpele kejì (SHG) àti optical parametric oscillation (OPO) tó munadoko fún ṣíṣe lésà àti ìwádìí spectroscopic.

Àwòrán ìṣọ̀kan LN-on-Si tí a ṣe déédéé láti 6-inch sí 8-inch jẹ́ kí a lè ṣe àwọn ẹ̀rọ wọ̀nyí ní àwọn ohun èlò ìfọṣọ ńláńlá, èyí tí ó dín iye owó ìṣelọ́pọ́ kù ní pàtàkì.

Ṣíṣe àtúnṣe àti Àwọn Iṣẹ́

A n pese atilẹyin imọ-ẹrọ pipe ati awọn iṣẹ isọdi fun substrate LN-on-Si 6-inch si 8-inch lati pade awọn aini iwadi ati idagbasoke oriṣiriṣi:

1. Ṣíṣe Àṣà: A lè ṣe àtúnṣe sí ìwọ̀n fíìmù LN (0.3–50 μm), ìtọ́sọ́nà kírísítálì (gígé X/Y), àti ohun èlò ìpìlẹ̀ (Si/SiC/sapphire) láti mú kí iṣẹ́ ẹ̀rọ náà sunwọ̀n síi.

2. Ìṣiṣẹ́ Ìpele Wafer: Ipese ọpọ awọn wafer 6-inch ati 8-inch, pẹlu awọn iṣẹ ẹhin-end bii dicing, polishing, ati coating, rii daju pe awọn substrates ti ṣetan fun isopọpọ ẹrọ.

3. Ìmọ̀ràn àti Ìdánwò Ìmọ̀-ẹ̀rọ: Ìṣàfihàn ohun èlò (fún àpẹẹrẹ, XRD, AFM), ìdánwò iṣẹ́ electro-optic, àti àtìlẹ́yìn ìṣàfihàn ohun èlò láti mú kí ìfọwọ́sowọ́pọ̀ iṣẹ́ ọnà yára.

Iṣẹ́ wa ni láti ṣe àgbékalẹ̀ substrate LN-on-Si tó tó 6-inch sí 8-inch gẹ́gẹ́ bí ojútùú ohun èlò pàtàkì fún àwọn ohun èlò optoelectronic àti semiconductor, tí ó ń fúnni ní ìtìlẹ́yìn láti ìbẹ̀rẹ̀ dé òpin láti inú ìwádìí àti ìṣẹ̀dá gbogbogbòò.

Ìparí

Ohun èlò ìdàpọ̀ LN-on-Si tó tó 6-inch sí 8-inch, pẹ̀lú ìwọ̀n wafer tó tóbi rẹ̀, dídára ohun èlò tó ga jùlọ, àti onírúurú iṣẹ́ rẹ̀, ló ń mú kí ìlọsíwájú bá ìbánisọ̀rọ̀ optical, 5G RF, àti ìmọ̀ ẹ̀rọ quantum. Yálà fún iṣẹ́ ṣíṣe onípele gíga tàbí àwọn ojútùú tí a ṣe àdáni, a ń fi àwọn ohun èlò ìdàpọ̀ tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé àti àwọn iṣẹ́ àfikún láti fún ìṣẹ̀dá ìmọ̀ ẹ̀rọ lágbára.