6inch SiC Epitaxyy wafer N/P iru gba adani

6inch SiC Epitaxiy wafer N/P iru gba Aworan Ifihan ti adani

Apejuwe kukuru:

ipese 4, 6, 8 inch silicon carbide epitaxial wafer ati awọn iṣẹ ipilẹ epitaxial, iṣelọpọ (600V ~ 3300V) awọn ẹrọ agbara pẹlu SBD, JBS, PiN, MOSFET, JFET, BJT, GTO, IGBT ati bẹbẹ lọ.

A le Pese 4-inch ati 6-inch SiC epitaxial wafers fun awọn iṣelọpọ ti awọn ẹrọ agbara pẹlu SBD JBS PiN MOSFET JFET BJT GTO & IGBT lati 600V to 3300V

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Alaye ọja

ọja Tags

Ilana igbaradi ti ohun alumọni carbide epitaxial wafer jẹ ọna ti o nlo imọ-ẹrọ Kemikali Vapor Deposition (CVD). Awọn atẹle jẹ awọn ipilẹ imọ-ẹrọ ti o yẹ ati awọn igbesẹ ilana igbaradi:

Ilana imọ-ẹrọ:

Idojukọ Oru Kemikali: Lilo gaasi ohun elo aise ni ipele gaasi, labẹ awọn ipo ifaseyin pato, o jẹ jijẹ ati gbe silẹ lori sobusitireti lati ṣe fiimu tinrin ti o fẹ.

Idahun gaasi-fase: Nipasẹ pyrolysis tabi ifaseyin wo inu, ọpọlọpọ awọn gaasi ohun elo aise ni ipele gaasi ti yipada ni kemikali ninu iyẹwu ifaseyin.

Awọn ilana igbaradi:

Itọju sobusitireti: Sobusitireti ti wa ni abẹ si mimọ dada ati iṣaju lati rii daju didara ati crystallinity ti wafer epitaxial.

Ti n ṣatunṣe aṣiṣe iyẹwu ifa: ṣatunṣe iwọn otutu, titẹ ati iwọn sisan ti iyẹwu ifura ati awọn paramita miiran lati rii daju iduroṣinṣin ati iṣakoso awọn ipo iṣe.

Ipese ohun elo aise: pese awọn ohun elo aise gaasi ti o nilo sinu iyẹwu ifaseyin, dapọ ati ṣiṣakoso iwọn sisan bi o ti nilo.

Ilana ifaseyin: Nipa gbigbona iyẹwu ifarabalẹ, ifunni gaseous n gba ifura kemikali ninu iyẹwu lati gbejade idogo ti o fẹ, ie fiimu silikoni carbide.

Itutu ati ikojọpọ: Ni opin ifasẹyin, iwọn otutu ti dinku ni diėdiẹ lati tutu ati mu awọn ohun idogo mulẹ ninu iyẹwu ifasẹyin.

Epitaxial wafer annealing ati post-processing: ti wa ni ipamọ epitaxial wafer ti wa ni annealed ati ranse si ilana lati mu awọn oniwe-itanna ati opitika-ini.

Awọn igbesẹ kan pato ati awọn ipo ti ilana igbaradi wafer silikoni carbide epitaxial le yatọ si da lori ohun elo kan pato ati awọn ibeere. Eyi ti o wa loke jẹ ṣiṣan ilana gbogbogbo nikan ati ilana, iṣẹ ṣiṣe kan pato nilo lati tunṣe ati iṣapeye ni ibamu si ipo gangan.