8inch SiC ìpele ìṣẹ̀dá wafer 4H-N SiC sobusitireti
Táblì tó tẹ̀lé yìí fi àwọn ìlànà pàtó ti àwọn wafers SiC 8inch wa hàn:
| Àwọn Àlàyé DSP SiC ti N-type 8inch | |||||
| Nọ́mbà | Ohun kan | Ẹyọ kan | Ìṣẹ̀dá | Ìwádìí | Dídán |
| 1:awọn paramita | |||||
| 1.1 | irú onírúurú | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | ìtọ́sọ́nà ojú ilẹ̀ | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2:Paramita ina | |||||
| 2.1 | dopant | -- | Nitrogen-iru n-n | Nitrogen-iru n-n | Nitrogen-iru n-n |
| 2.2 | resistance | ohm · cm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3:Paramita ẹ̀rọ | |||||
| 3.1 | iwọn ila opin | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | sisanra | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Ìtọ́sọ́nà ìsàlẹ̀ | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Ijinle koko | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | TV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Ọrun tẹríba | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Ìfọwọ́sowọ́pọ̀ | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4:Stucture | |||||
| 4.1 | iwuwo micropaipu | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | akoonu irin | àwọn átọ̀mù/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Didara iwaju | |||||
| 5.1 | iwájú | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | ipari dada | -- | CMP oju Si-oju | CMP oju Si-oju | CMP oju Si-oju |
| 5.3 | èérún | ea/wafer | ≤100 (iwọn ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | fa fifọ | ea/wafer | ≤5,Gígùn Àpapọ̀ ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Igun eti àwọn ìyẹ̀fun/àwọn ìfọ́/ìfọ́/àbàwọ́n/ẹ̀gbin | -- | Kò sí | Kò sí | NA |
| 5.6 | Àwọn agbègbè onírúurú | -- | Kò sí | Agbègbè ≤10% | Agbègbè ≤30% |
| 5.7 | àmì iwájú | -- | Kò sí | Kò sí | Kò sí |
| 6: Didara ẹhin | |||||
| 6.1 | ìparí ẹ̀yìn | -- | MP oju-C | MP oju-C | MP oju-C |
| 6.2 | fa fifọ | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Eti abawọn ẹhin àwọn ìṣù/àwọn ìyẹ̀fun | -- | Kò sí | Kò sí | NA |
| 6.4 | Àìlera ẹ̀yìn | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Àmì ẹ̀yìn | -- | Notch | Notch | Notch |
| 7:etí | |||||
| 7.1 | eti | -- | Kámúfárì | Kámúfárì | Kámúfárì |
| 8:Àpò | |||||
| 8.1 | iṣakojọpọ | -- | Epi-ṣetan pẹlu igbale iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu igbale iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu igbale iṣakojọpọ |
| 8.2 | iṣakojọpọ | -- | Onírúurú-wafer iṣakojọpọ kasẹti | Onírúurú-wafer iṣakojọpọ kasẹti | Onírúurú-wafer iṣakojọpọ kasẹti |
Àwòrán Àlàyé
Àwọn Ọjà Tó Jọra
Kọ ifiranṣẹ rẹ si ibi ki o fi ranṣẹ si wa



