8inch SiC ìpele ìṣẹ̀dá wafer 4H-N SiC sobusitireti

Àpèjúwe Kúkúrú:

Àwọn ohun èlò SiC oníwọ̀n 8-inch ni a ń lò nínú àwọn ẹ̀rọ itanna alágbára gíga, bíi MOSFETs power (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors), Schottky diodes àti àwọn ẹ̀rọ semiconductor power mìíràn.


Àwọn ẹ̀yà ara

Táblì tó tẹ̀lé yìí fi àwọn ìlànà pàtó ti àwọn wafers SiC 8inch wa hàn:

Àwọn Àlàyé DSP SiC ti N-type 8inch

Nọ́mbà Ohun kan Ẹyọ kan Ìṣẹ̀dá Ìwádìí Dídán
1:awọn paramita
1.1 irú onírúurú -- 4H 4H 4H
1.2 ìtọ́sọ́nà ojú ilẹ̀ ° <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5
2:Paramita ina
2.1 dopant -- Nitrogen-iru n-n Nitrogen-iru n-n Nitrogen-iru n-n
2.2 resistance ohm · cm 0.015~0.025 0.01~0.03 NA
3:Paramita ẹ̀rọ
3.1 iwọn ila opin mm 200±0.2 200±0.2 200±0.2
3.2 sisanra μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Ìtọ́sọ́nà ìsàlẹ̀ ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Ijinle koko mm 1~1.5 1~1.5 1~1.5
3.5 LTV μm ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 TV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Ọrun tẹríba μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Ìfọwọ́sowọ́pọ̀ μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0.2 Ra≤0.2 Ra≤0.2
4:Stucture
4.1 iwuwo micropaipu ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 akoonu irin àwọn átọ̀mù/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Didara iwaju
5.1 iwájú -- Si Si Si
5.2 ipari dada -- CMP oju Si-oju CMP oju Si-oju CMP oju Si-oju
5.3 èérún ea/wafer ≤100 (iwọn ≥0.3μm) NA NA
5.4 fa fifọ ea/wafer ≤5,Gígùn Àpapọ̀ ≤200mm NA NA
5.5 Igun eti
àwọn ìyẹ̀fun/àwọn ìfọ́/ìfọ́/àbàwọ́n/ẹ̀gbin
-- Kò sí Kò sí NA
5.6 Àwọn agbègbè onírúurú -- Kò sí Agbègbè ≤10% Agbègbè ≤30%
5.7 àmì iwájú -- Kò sí Kò sí Kò sí
6: Didara ẹhin
6.1 ìparí ẹ̀yìn -- MP oju-C MP oju-C MP oju-C
6.2 fa fifọ mm NA NA NA
6.3 Eti abawọn ẹhin
àwọn ìṣù/àwọn ìyẹ̀fun
-- Kò sí Kò sí NA
6.4 Àìlera ẹ̀yìn nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Àmì ẹ̀yìn -- Notch Notch Notch
7:etí
7.1 eti -- Kámúfárì Kámúfárì Kámúfárì
8:Àpò
8.1 iṣakojọpọ -- Epi-ṣetan pẹlu igbale
iṣakojọpọ
Epi-ṣetan pẹlu igbale
iṣakojọpọ
Epi-ṣetan pẹlu igbale
iṣakojọpọ
8.2 iṣakojọpọ -- Onírúurú-wafer
iṣakojọpọ kasẹti
Onírúurú-wafer
iṣakojọpọ kasẹti
Onírúurú-wafer
iṣakojọpọ kasẹti

Àwòrán Àlàyé

asd (1)
asd (2)
asd (3)

  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • Kọ ifiranṣẹ rẹ si ibi ki o fi ranṣẹ si wa