Wafer AlN-on-NPSS: Ipele Nitride Aluminium Nitride ti o ga julọ lori Substrate Sapphire ti ko ni didan fun Awọn ohun elo otutu giga, Agbara giga, ati RF
Àwọn ẹ̀yà ara
Ipele AlN ti Iṣẹ-gigaAluminium Nitride (AlN) ni a mọ funagbara igbona giga(~200 W/m·K),gbooro bandgift, àtifolti fifọ giga, èyí tí ó mú kí ó jẹ́ ohun èlò tó dára jùlọ fúnagbara giga, igbohunsafẹfẹ giga, àtiiwọn otutu gigaawọn ohun elo.
Àpò ìsàlẹ̀ Sapphire tí kò ní dídán (NPSS): Safaire tí kò ní ìdọ̀tí ń pèsèo munadoko-owo, lagbara ni ẹrọìpìlẹ̀, èyí tí ó ń rí i dájú pé ìpìlẹ̀ dúró ṣinṣin fún ìdàgbàsókè epitaxial láìsí ìṣòro dídán ojú ilẹ̀. Àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ tí ó dára jùlọ ti NPSS mú kí ó le fún àwọn àyíká tí ó nira.
Iduroṣinṣin Gbona Giga: Wafer AlN-on-NPSS le koju awọn iyipada otutu to lagbara, eyiti o jẹ ki o dara fun lilo ninuitanna agbara, awọn eto ọkọ ayọkẹlẹ, Àwọn LED, àtiawọn ohun elo opitikatí ó nílò iṣẹ́ tí ó dúró ṣinṣin ní àwọn ipò tí ó ní iwọ̀n otutu gíga.
Ìdábòbò iná mànàmánáAlN ní àwọn ohun ìní ìdábòbò iná mànàmáná tó dára jùlọ, èyí tó mú kí ó dára fún àwọn ohun èlò níbi tíìyàsọ́tọ̀ iná mànàmánájẹ pataki, pẹluAwọn ẹrọ RFàtiAwọn ẹrọ itanna makirowefu.
Ìtújáde Ooru Tó Ga Jùlọ: Pẹ̀lú agbára ìgbóná gíga, ìpele AlN ń rí i dájú pé ooru ń tú jáde lọ́nà tó gbéṣẹ́, èyí tó ṣe pàtàkì fún mímú kí iṣẹ́ àti pípẹ́ àwọn ẹ̀rọ tó ń ṣiṣẹ́ lábẹ́ agbára gíga àti ìgbàkúgbà dúró.
Àwọn Ìlànà Ìmọ̀-ẹ̀rọ
| Pílámẹ́rà | Ìlànà ìpele |
| Iwọn opin Wafer | 2-inch, 4-inch (awọn iwọn aṣa wa) |
| Irú Sẹ́ẹ̀tì | Àpò ìsàlẹ̀ Sapphire tí kò ní dídán (NPSS) |
| Sisanra Fẹlẹfẹlẹ AlN | 2µm sí 10µm (a le ṣe àtúnṣe) |
| Sisanra ti ipilẹ | 430µm ± 25µm (fún 2-inch), 500µm ± 25µm (fún 4-inch) |
| Ìgbékalẹ̀ Ooru | 200 W/m·K |
| Agbara Itanna | Idabobo giga, o dara fun awọn ohun elo RF |
| Ríru ojú | Ra ≤ 0.5µm (fún ìpele AlN) |
| Ìmọ́tótó Ohun Èlò | Ìmọ́tótó gíga AlN (99.9%) |
| Àwọ̀ | Funfun/Pípa-Funfun (Ipele AlN pẹlu ipilẹ NPSS ti o ni awọ fẹẹrẹ) |
| Ìṣọ Wafer | < 30µm (àṣàrò) |
| Irú Dídín-ó-nǹkan-ṣe-oògùn | Àìní oògùn (a lè ṣe àtúnṣe rẹ̀) |
Àwọn ohun èlò ìlò
ÀwọnÌdènà AlN-on-NPSSA ṣe apẹrẹ fun ọpọlọpọ awọn ohun elo iṣẹ-giga kọja ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ:
Awọn ẹrọ itanna agbara giga: Awọn ohun-ini agbara ooru giga ati idabobo ti fẹlẹfẹlẹ AlN jẹ ki o jẹ ohun elo ti o dara julọ funawọn transistors agbara, àwọn àtúnṣe, àtiAwọn IC agbaratí a lò nínúọkọ ayọkẹlẹ, ile-iṣẹ, àtiagbara isọdọtunàwọn ètò.
Àwọn Ẹ̀yà Ìgbohùn-Rédíò (RF)Àwọn ànímọ́ ìdábòbò iná mànàmáná tó dára jùlọ ti AlN, pẹ̀lú pípadánù rẹ̀ díẹ̀, ń jẹ́ kí ìṣẹ̀dáÀwọn transistors RF, HEMTs (Awọn transistors oni-ina-ga-giga), àti àwọn mìírànawọn eroja makirowefutí ó ń ṣiṣẹ́ dáadáa ní àwọn ìgbàlódé gíga àti àwọn ipele agbára.
Àwọn Ẹ̀rọ OpitikiÀwọn ìṣẹ́po AlN-on-NPSS ni a lò nínúàwọn diódì lésà, Àwọn LED, àtifotodetectors, níbi tíagbara igbona gigaàtiagbara ẹrọjẹ pataki fun mimu iṣẹ ṣiṣe duro fun igba pipẹ.
Àwọn sensọ otutu gíga: Agbara wafer lati koju ooru to lagbara jẹ ki o dara funawọn sensọ iwọn otutuàtiibojuwo ayikaní àwọn ilé iṣẹ́ bíiọkọ ofurufu, ọkọ ayọkẹlẹ, àtiepo & gaasi.
Àpò Semiconductor: Ti a lo ninu àwọn ohun èlò tí ń tan ooru káàtiawọn fẹlẹfẹlẹ iṣakoso oorunínú àwọn ètò ìdìpọ̀, ní rírí i dájú pé àwọn semiconductors ṣeé gbẹ́kẹ̀lé àti pé wọ́n ń ṣiṣẹ́ dáadáa.
Ìbéèrè àti Ìdáhùn
Q: Kí ni àǹfààní pàtàkì ti àwọn wafers AlN-on-NPSS ju àwọn ohun èlò ìbílẹ̀ bíi silicon lọ?
A: Anfani akọkọ ni AlN'sagbara igbona giga, èyí tí ó fún un láyè láti tú ooru jáde lọ́nà tí ó dára, èyí tí ó mú kí ó dára fúnagbara gigaàtiawọn ohun elo igbohunsafẹfẹ giganíbi tí ìṣàkóso ooru ṣe pàtàkì. Ní àfikún, AlN nígbooro bandgiftàti pé ó dára jùlọidabobo itanna, èyí tí ó mú kí ó dára jù fún lílò nínúRFàtiawọn ẹrọ makirowefuakawe pẹlu silikoni ibile.
Q: Ṣe a le ṣe àtúnṣe sí ipele AlN lórí àwọn wafers NPSS?
A: Bẹ́ẹ̀ni, a lè ṣe àtúnṣe ìpele AlN ní ìbámu pẹ̀lú sísanra (láti 2µm sí 10µm tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ) láti bá àwọn àìní pàtó ti ohun èlò rẹ mu. A tún ń ṣe àtúnṣe ní ìbámu pẹ̀lú irú doping (N-type tàbí P-type) àti àwọn ìpele afikún fún àwọn iṣẹ́ pàtàkì.
Q: Ki ni ohun elo ti a maa n lo fun wafer yii ni ile-iṣẹ ọkọ ayọkẹlẹ?
A: Nínú ilé iṣẹ́ ọkọ̀ ayọ́kẹ́lẹ́, a sábà máa ń lo àwọn wafer AlN-on-NPSS nínúitanna agbara, Awọn eto ina LED, àtiawọn sensọ iwọn otutuWọ́n ń pèsè ìṣàkóso ooru tó ga jùlọ àti ìdábòbò iná mànàmáná, èyí tó ṣe pàtàkì fún àwọn ètò tó ń ṣiṣẹ́ lábẹ́ onírúurú ipò ooru.
Àwòrán Àlàyé
