Gallium Nitride (GaN) Epitaxial tí a gbìn lórí Sapphire Wafers 4inch 6inch fún MEMS
Àwọn ohun ìní GaN lórí àwọn Wafers Sapphire
● Ìṣiṣẹ́ Gíga:Àwọn ẹ̀rọ tí ó dá lórí GaN ń fúnni ní agbára ní ìlọ́po márùn-ún ju àwọn ẹ̀rọ tí ó dá lórí silikoni lọ, èyí tí ó ń mú kí iṣẹ́ wọn sunwọ̀n síi nínú onírúurú ohun èlò itanna, títí kan ìfúnpọ̀ RF àti optoelectronics.
●Ìgbà tí ó gbòòrò:Ìwọ̀n ìpele tí ó gbòòrò ti GaN mú kí iṣẹ́ rẹ̀ ṣiṣẹ́ dáadáa ní àwọn iwọ̀n otútù tí ó ga, èyí tí ó mú kí ó dára fún àwọn ohun èlò agbára gíga àti ìgbóná gíga.
●Àìlágbára:Agbara GaN lati koju awọn ipo to le koko (awọn iwọn otutu giga ati itankalẹ) rii daju pe iṣẹ ṣiṣe pipẹ ni awọn agbegbe ti o nira.
●Ìwọ̀n Kékeré:GaN gba laaye fun iṣelọpọ awọn ẹrọ ti o kere ju ati fẹẹrẹ diẹ sii ni akawe pẹlu awọn ohun elo semiconductor ibile, ti o ṣe iranlọwọ fun awọn ẹrọ itanna kekere ati alagbara diẹ sii.
Àkótán
Gallium Nitride (GaN) ń yọjú gẹ́gẹ́ bí semiconductor tí a yàn fún àwọn ohun èlò tó ti ní agbára gíga àti ìṣiṣẹ́ tó lágbára, bíi àwọn modulu RF front-end, àwọn ètò ìbánisọ̀rọ̀ iyara gíga, àti ìmọ́lẹ̀ LED. Àwọn wafer epitaxial GaN, nígbà tí a bá gbìn wọ́n lórí àwọn ohun èlò sapphire, ń fúnni ní àpapọ̀ agbára ìgbóná gíga, foliteji ìfọ́ọ́lẹ̀ gíga, àti ìdáhùn ìgbohùngbà gbogbogbòò, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún iṣẹ́ tó dára jùlọ nínú àwọn ẹ̀rọ ìbánisọ̀rọ̀ alailowaya, àwọn radar, àti àwọn jammers. Àwọn wafer wọ̀nyí wà ní ìwọ̀n 4-inch àti 6-inch, pẹ̀lú onírúurú ìwọ̀n GaN láti bá àwọn ohun èlò ìmọ̀-ẹ̀rọ tó yàtọ̀ síra mu. Àwọn ohun ìní àrà ọ̀tọ̀ GaN jẹ́ kí ó jẹ́ olùdíje pàtàkì fún ọjọ́ iwájú ti ẹ̀rọ itanna agbára.
Àwọn Ìpínrọ̀ Ọjà
| Ẹya Ọja | Ìlànà ìpele |
| Iwọn opin Wafer | 50mm, 100mm, 50.8mm |
| Sàbìtì | Sàfíríì |
| Sisanra Fẹlẹfẹlẹ GaN | 0.5 μm - 10 μm |
| Iru GaN/Iṣe-oògùn-doping | Iru-N (Iru-P wa ti o ba beere fun) |
| Ìtọ́sọ́nà Kírísítà GaN | <0001> |
| Irú ìfọ́nrán | A ti dán ẹ̀gbẹ́ kan ṣoṣo (SSP), A ti dán ẹ̀gbẹ́ méjì (DSP) |
| Sisanra Al2O3 | 430 μm - 650 μm |
| TTV (Iyatọ Nipọn Lapapọ) | ≤ 10 μm |
| Ọrun tẹríba | ≤ 10 μm |
| Ìfọwọ́sowọ́pọ̀ | ≤ 10 μm |
| Agbègbè Ilẹ̀ | Agbegbe Oju Aye ti o le Lo > 90% |
Ìbéèrè àti Ìdáhùn
Q1: Àwọn àǹfààní pàtàkì wo ló wà nínú lílo GaN ju àwọn semiconductors tí a fi silicon ṣe lọ?
A1: GaN n pese ọpọlọpọ awọn anfani pataki lori silikoni, pẹlu bandgap ti o gbooro sii, eyiti o fun laaye lati ṣakoso awọn folti fifọ giga ati ṣiṣẹ daradara ni awọn iwọn otutu giga. Eyi jẹ ki GaN jẹ apẹrẹ fun awọn ohun elo agbara giga, awọn ohun elo igbohunsafẹfẹ giga bii awọn modulu RF, awọn amplifiers agbara, ati awọn LED. Agbara GaN lati mu awọn iwuwo agbara giga tun jẹ ki awọn ẹrọ kekere ati ṣiṣe daradara diẹ sii ni akawe pẹlu awọn yiyan ti o da lori silikoni.
Q2: Ǹjẹ́ a lè lo GaN lórí àwọn wafer Sapphire nínú àwọn ohun èlò MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)?
A2: Bẹ́ẹ̀ni, GaN lórí àwọn wafers Sapphire dára fún àwọn ohun èlò MEMS, pàápàá jùlọ níbi tí a ti nílò agbára gíga, ìdúróṣinṣin iwọ̀n otútù, àti ariwo kékeré. Àìlágbára àti ìṣiṣẹ́ ohun èlò náà ní àyíká ìgbóná gíga mú kí ó dára fún àwọn ẹ̀rọ MEMS tí a lò nínú ìbánisọ̀rọ̀ aláìlókùn, ìmòye, àti àwọn ètò radar.
Q3: Àwọn ohun tí GaN lè lò nínú ìbánisọ̀rọ̀ aláilọ́wọ́?
A3: A nlo GaN pupọ ninu awọn modulu iwaju-end RF fun ibaraẹnisọrọ alailowaya, pẹlu awọn amayederun 5G, awọn eto radar, ati awọn jammers. Iwọn agbara giga rẹ ati agbara gbigbe ooru jẹ ki o pe fun awọn ẹrọ agbara giga, igbohunsafẹfẹ giga, ti o mu ki iṣẹ ṣiṣe ti o dara julọ ati awọn ifosiwewe fọọmu kekere ni akawe si awọn solusan ti o da lori silikoni.
Q4: Kí ni àkókò ìdarí àti iye àṣẹ tó kéré jùlọ fún GaN lórí àwọn wáfárì Sapphire?
A4: Àkókò ìdarí àti iye ìbéèrè tó kéré jùlọ yàtọ̀ síra da lórí ìwọ̀n wafer, sisanra GaN, àti àwọn ohun tí àwọn oníbàárà nílò. Jọ̀wọ́ kàn sí wa tààrà fún iye owó àti wíwà ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ìlànà rẹ.
Q5: Ṣe mo le gba sisanra fẹlẹfẹlẹ GaN tabi awọn ipele doping aṣa?
A5: Bẹ́ẹ̀ni, a n pese àtúnṣe sí ìwọ̀n ìfúnpọ̀ GaN àti ìpele ìfúnpọ̀ láti bá àwọn àìní pàtó mu. Jọ̀wọ́ jẹ́ kí a mọ àwọn ìlànà pàtó tí o fẹ́, a ó sì pèsè ojútùú tí a ṣe pàtó fún ọ.
Àwòrán Àlàyé
