Awọn Wafers Quartz Fused-Mimọ-giga fun Semikondokito, Awọn ohun elo Opitika Photonics 2″4″6″8″12″
Alaye aworan atọka
Akopọ ti kuotisi Glass
Awọn wafers Quartz ṣe apẹrẹ ẹhin ti ainiye awọn ẹrọ ode oni ti o wakọ agbaye oni-nọmba oni. Lati lilọ kiri inu foonu alagbeka rẹ si ẹhin ti awọn ibudo ipilẹ 5G, quartz laiparuwo n pese iduroṣinṣin, mimọ, ati konge ti o nilo ninu ẹrọ itanna iṣẹ ṣiṣe giga ati awọn fọto. Boya ni atilẹyin iyika ti o rọ, mu awọn sensọ MEMS ṣiṣẹ, tabi ṣiṣe ipilẹ fun ṣiṣe iṣiro kuatomu, awọn abuda alailẹgbẹ quartz jẹ ki o ṣe pataki kọja awọn ile-iṣẹ.
"Silica Fused" tabi "Fused Quartz" eyiti o jẹ ipele amorphous ti quartz (SiO2). Nigbati o ba ṣe iyatọ si gilasi borosilicate, siliki ti a dapọ ko ni awọn afikun; nitorina o wa ni irisi mimọ rẹ, SiO2. Yanrin ti a dapọ ni gbigbe ti o ga julọ ninu infurarẹẹdi ati ultraviolet julọ.Oniranran nigbati akawe si gilasi deede. Silica ti a dapọ jẹ iṣelọpọ nipasẹ yo ati tun-solidifying ultrapure SiO2. Yanrin ti a dapọ sintetiki ni apa keji ni a ṣe lati awọn iṣaju kemikali ọlọrọ silikoni gẹgẹbi SiCl4 eyiti o jẹ gasified ati lẹhinna oxidized ni oju-aye H2 + O2 kan. Eruku SiO2 ti a ṣẹda ninu ọran yii ni a dapọ si siliki lori sobusitireti kan. Awọn bulọọki siliki ti o dapọ ti wa ni ge sinu wafers lẹhin eyi ti awọn wafers ti wa ni didan nipari.
Awọn ẹya bọtini ati awọn anfani ti Quartz Glass Wafer
-
Iwa mimọ-giga (≥99.99% SiO2)
Apẹrẹ fun ultra-mimọ semikondokito ati awọn ilana photonics nibiti idoti ohun elo gbọdọ dinku. -
Wide Gbona Ṣiṣẹ Ibiti
Ṣe itọju iduroṣinṣin igbekalẹ lati awọn iwọn otutu cryogenic to ju 1100°C laisi ijagun tabi ibajẹ. -
Iyatọ UV ati Gbigbe IR
Pese alaye opitika ti o dara julọ lati ultraviolet ti o jinlẹ (DUV) nipasẹ infurarẹẹdi isunmọ (NIR), atilẹyin awọn ohun elo opiti pipe. -
Low Gbona Imugboroosi olùsọdipúpọ
Ṣe ilọsiwaju iduroṣinṣin iwọn labẹ awọn iyipada iwọn otutu, idinku wahala ati imudarasi igbẹkẹle ilana. -
Superior Kemikali Resistance
Inert si ọpọlọpọ awọn acids, alkalis, ati awọn nkanmimu — ṣiṣe ni ibamu daradara fun awọn agbegbe ibinu kemikali. -
Dada Pari irọrun
Wa pẹlu ultra-dan, ẹyọkan tabi awọn ipari didan ẹgbẹ-meji, ni ibamu pẹlu awọn fọto fọto ati awọn ibeere MEMS.
Ilana iṣelọpọ ti Quartz Glass Wafer
Awọn wafer quartz ti a dapọ jẹ iṣelọpọ nipasẹ lẹsẹsẹ ti iṣakoso ati awọn igbesẹ deede:
-
Aṣayan Ohun elo Aise
Asayan ti kuotisi adayeba ti o ga-giga tabi awọn orisun SiO₂ sintetiki. -
Yo ati Fusion
Quartz ti yo ni ~ 2000 ° C ni awọn ileru ina mọnamọna labẹ oju-aye iṣakoso lati yọkuro awọn ifisi ati awọn nyoju. -
Àkọsílẹ Ṣiṣe
Awọn yanrin didà ti wa ni tutu sinu ri to ohun amorindun tabi ingots. -
Wafer Bibẹ
Diamond pipe tabi awọn ayùn waya ni a lo lati ge awọn ingots sinu awọn òfo wafer. -
Lapping & didan
Mejeeji roboto jẹ fifẹ ati didan lati pade opiti gangan, sisanra, ati awọn pato roughness. -
Ninu & Ayewo
Wafers ti wa ni ti mọtoto ni ISO Kilasi 100/1000 awọn yara mimọ ati ki o tẹriba si ayewo lile fun awọn abawọn ati ibamu iwọn.
Awọn ohun-ini ti Quartz gilasi wafer
| ni pato | ẹyọkan | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Iwọn / iwọn (tabi onigun mẹrin) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Ifarada (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Sisanra | mm | 0.10 tabi diẹ ẹ sii | 0.30 tabi diẹ ẹ sii | 0.40 tabi diẹ ẹ sii | 0.50 tabi diẹ ẹ sii | 0.50 tabi diẹ ẹ sii |
| Alapin itọkasi akọkọ | mm | 32.5 | 57.5 | Ologbele-ogbontarigi | Ologbele-ogbontarigi | Ologbele-ogbontarigi |
| LTV (5mm×5mm) | μm | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | μm | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| Teriba | μm | ±20 | ± 30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Ijagun | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm×5mm) <0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Iyipo eti | mm | Ni ibamu pẹlu SEMI M1.2 Standard / tọka si IEC62276 | ||||
| Dada Iru | Nikan Side didan / Double mejeji didan | |||||
| Didan ẹgbẹ Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Back Side àwárí mu | μm | gbogboogbo 0.2-0.7 tabi adani | ||||
Quartz vs. Awọn ohun elo Sihin miiran
| Ohun ini | Gilasi kuotisi | Borosilicate gilasi | oniyebiye | Standard Gilasi |
|---|---|---|---|---|
| Iwọn Iṣiṣẹ ti o pọju | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| UV Gbigbe | O tayọ (JGS1) | Talaka | O dara | O dara pupọ |
| Kemikali Resistance | O tayọ | Déde | O tayọ | Talaka |
| Mimo | O ga pupọ | Kekere si iwọntunwọnsi | Ga | Kekere |
| Gbona Imugboroosi | O kere pupọ | Déde | Kekere | Ga |
| Iye owo | Iwontunwonsi si giga | Kekere | Ga | O kere pupọ |
FAQ ti kuotisi gilasi wafer
Q1: Kini iyato laarin fused quartz ati silica dapo?
Lakoko ti awọn mejeeji jẹ awọn fọọmu amorphous ti SiO₂, quartz ti o dapọ ni igbagbogbo wa lati awọn orisun kuotisi adayeba, lakoko ti o jẹ pe siliki ti o dapọ jẹ iṣelọpọ iṣelọpọ. Ni iṣẹ ṣiṣe, wọn funni ni iṣẹ ṣiṣe ti o jọra, ṣugbọn yanrin ti o dapọ le ni mimọ diẹ ti o ga julọ ati isokan.
Q2: Njẹ awọn wafers quartz ti o dapọ le ṣee lo ni awọn agbegbe igbale giga?
Bẹẹni. Nitori awọn ohun-ini itujade kekere wọn ati resistance igbona giga, awọn wafers quartz ti o dapọ jẹ o tayọ fun awọn eto igbale ati awọn ohun elo aerospace.
Q3: Ṣe awọn wafer wọnyi dara fun awọn ohun elo laser UV ti o jinlẹ?
Nitootọ. Quartz Fused ni gbigbe giga si ~ 185 nm, ti o jẹ apẹrẹ fun awọn opiti DUV, awọn iboju iparada lithography, ati awọn eto laser excimer.
Q4: Ṣe o ṣe atilẹyin iṣelọpọ wafer aṣa?
Bẹẹni. A nfun isọdi ni kikun pẹlu iwọn ila opin, sisanra, didara dada, awọn filati / notches, ati ilana laser, da lori awọn ibeere ohun elo rẹ pato.
Nipa re
XKH ṣe amọja ni idagbasoke imọ-ẹrọ giga, iṣelọpọ, ati tita ti gilasi opiti pataki ati awọn ohun elo gara titun. Awọn ọja wa ṣe iranṣẹ ẹrọ itanna opiti, ẹrọ itanna olumulo, ati ologun. A nfun awọn paati opiti Sapphire, awọn ideri lẹnsi foonu alagbeka, Awọn ohun elo amọ, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ati awọn wafers garawa semikondokito. Pẹlu oye oye ati ohun elo gige-eti, a tayọ ni iṣelọpọ ọja ti kii ṣe deede, ni ero lati jẹ oludari awọn ohun elo optoelectronic ile-iṣẹ giga-imọ-ẹrọ.
