Ẹrọ didan Ion Beam fun safire SiC Si

Ẹ̀rọ ìyọ́ Ion Beam fún safire SiC Si Àwòrán tí a fi hàn

Àpèjúwe Kúkúrú:

Ẹ̀rọ Ìṣàfihàn àti Ìmọ́lẹ̀ Ion Beam da lórí ìlànà ìfọ́n ion. Nínú yàrá vacuum gíga kan, orísun ion kan ń mú plasma jáde, èyí tí a máa ń yára di ion tànmọ́lẹ̀ agbára gíga. Ìlà yìí ń bo ojú ohun èlò opitika, ó ń yọ ohun èlò ní ìwọ̀n átọ́míìkì kúrò láti ṣe àtúnṣe ojú ilẹ̀ àti ìparí rẹ̀ lọ́nà tí ó péye.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Àwọn ẹ̀yà ara

Àwòrán Àlàyé

Àkótán Ọjà ti Ẹ̀rọ Ìyọ́ Ion Beam

Gẹ́gẹ́ bí ìlànà tí kìí ṣe ti ara ẹni, ìfọ́mọ́ ion beam ń mú kí ìdààmú ẹ̀rọ kúrò, ó sì ń yẹra fún ìbàjẹ́ lábẹ́ ilẹ̀, èyí sì mú kí ó dára fún ṣíṣe àwọn optics tí ó péye tí a lò nínú ìmọ̀ ìjìnlẹ̀ ayé, afẹ́fẹ́, semiconductors, àti àwọn ohun èlò ìwádìí tó ti pẹ́.

Ilana Iṣiṣẹ ti Ẹrọ didan Ion Beam

Ìran Ion
A máa ń gbé gáàsì aláìlera (fún àpẹẹrẹ, argon) sínú yàrá ìfọ́mọ́, a sì máa ń fi ion sínú rẹ̀ nípasẹ̀ ìtújáde iná mànàmáná láti ṣẹ̀dá plasma.

Ìdásílẹ̀ Ìyára-ìyára àti Ìṣẹ̀dá Ìlà
A máa ń yára sí àwọn ion náà sí ọgọ́rùn-ún tàbí ẹgbẹ̀rún volts elekitironi (eV) tí a sì máa ń ṣe àtúnṣe sí ibi tí ó dúró ṣinṣin, tí a sì ń fojú sí.

Yiyọ Ohun elo kuro
Ìlà ion náà máa ń tú àwọn átọ̀mù jáde láti ojú ilẹ̀ láìsí pé ó ń bẹ̀rẹ̀ sí í ṣe àwọn ìṣesí kẹ́míkà.

Ṣíṣàwárí Àṣìṣe & Ìṣètò Ọ̀nà
A n wọn awọn iyapa ti awọn aworan oju ilẹ pẹlu interferometry. Awọn iṣẹ yiyọ kuro ni a lo lati pinnu awọn akoko gbigbe ati lati ṣẹda awọn ipa ọna irinṣẹ ti o dara julọ.

Àtúnṣe Ìpadé-Ìpadé
Àwọn ìyípo ìyípadà ti ìṣiṣẹ́ àti wíwọ̀n ń tẹ̀síwájú títí tí a ó fi dé àfojúsùn pípéye RMS/PV.

Awọn ẹya pataki ti Ẹrọ didan Ion Beam

Ibamu Dada Gbogbogbo– Ó ń ṣe àgbékalẹ̀ àwọn ojú ilẹ̀ títẹ́jú, onígun mẹ́rẹ̀ẹ̀rin, aspherical, àti freeform dada

Oṣuwọn Yiyọkuro ti o duro ṣinṣin– Mu ki atunṣe nọmba sub-nanometer ṣiṣẹ

Iṣẹ́ Ìtọ́jú Láìsí Ìbàjẹ́– Ko si awọn abawọn tabi awọn iyipada eto inu ilẹ

Iṣẹ́ Tó Déédé– Ṣiṣẹ daradara lori awọn ohun elo ti o yatọ si lile

Àtúnṣe Ìgbohùngbà Kéré/Alábọ́dé- Pa awọn aṣiṣe kuro laisi ṣiṣẹda awọn ohun-ini aarin/giga-igbohunsafẹfẹ

Ibeere Itọju Kekere- Iṣiṣẹ gigun to gun pẹlu akoko isinmi ti o kere ju

Awọn alaye imọ-ẹrọ akọkọ ti ẹrọ didan Ion Beam

Ohun kan	Ìlànà ìpele
Ọ̀nà Ìṣiṣẹ́	Ion sputtering ni agbegbe afẹfẹ giga kan
Irú Ìṣiṣẹ́	Ṣíṣe àyẹ̀wò ojú ilẹ̀ tí kò ní ìfọwọ́kàn àti dídán
Iwọn Iṣẹ Pupọ julọ	Φ4000 mm
Àwọn àáké ìṣípo	Ààlà mẹ́ta / ààlà márùn-ún
Ìdúróṣinṣin Yíyọkúrò	≥95%
Ìpéye ojú ilẹ̀	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (RMS deede < 1 nm; PV < 15 nm)
Agbára Àtúnṣe Ìgbohùngbà	Yí àwọn àṣìṣe ìgbóhùnsáfẹ́fẹ́ kékeré-alabọde kúrò láìsí àfihàn àwọn àṣìṣe ìgbóhùnsáfẹ́fẹ́ àárín/gíga
Iṣẹ́ Tí Ń Tẹ̀síwájú	Ọ̀sẹ̀ mẹ́ta sí márùn-ún láìsí ìtọ́jú afẹ́fẹ́
Iye owo itọju	Kekere

Awọn Agbara Ṣiṣẹ ti Ẹrọ Ion Beam Polishing

Àwọn Irú Ojú Tí A Tẹ̀lé

Rọrùn: Alapin, iyipo, prism

Àkópọ̀: Àsẹ́fù oníṣọ̀kan/àìdọ́gba, àsẹ́fù onípò-ààyè, àsẹ́fù oníyípo

Pàtàkì: Àwọn opitika tó tinrin gan-an, àwọn opitika slat, àwọn opitika hemispherical, àwọn opitika conformal, àwọn àwo ìpele, àwọn ojú ilẹ̀ freeform

Àwọn Ohun Èlò Tí A Tẹ̀lé

Gilasi opitika: Quartz, microcrystalline, K9, ati bẹẹbẹ lọ.

Àwọn ohun èlò infrared: Silikoni, germanium, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.

Àwọn irin: Aluminiomu, irin alagbara, titanium alloy, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.

Àwọn kirisita: YAG, silikoni carbide onígun kan ṣoṣo, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.

Àwọn ohun èlò líle/búburú: Silikoni carbide, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.

Dídára ojú ilẹ̀ / Pípéye

PV < 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

Ìwádìí Ọ̀ràn Ṣíṣe Ìṣiṣẹ́ ti Ẹ̀rọ Ìyọ́ Ion Beam

Ọ̀ràn 1 – Dígí Pẹ̀lẹ́pẹ̀lẹ́

Iṣẹ́ tí a fi ń ṣiṣẹ́: D630 mm quartz flat

Àbájáde: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

Ọ̀ràn 2 – Dígí Ìṣàfihàn X-ray

Iṣẹ́ tí a fi ṣe é: 150 × 30 mm silikoni tí a fi ṣe é

Àbájáde: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; Ìtẹ̀sí 0.13 µrad

Ọ̀ràn 3 – Dígí tí kò sí ní ìsàlẹ̀

Iṣẹ́ iṣẹ́: Dígí ilẹ̀ tí ó wà ní ìta-àyíká D326 mm

Àbájáde: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

Awọn ibeere ti a beere nigbagbogbo nipa awọn gilaasi Quartz

Awọn ibeere ti a beere nigbagbogbo - Ẹrọ didan Ion Beam

Q1: Kí ni ìfọ́mọ́ ion beam?
A1:Ṣíṣe ìfọ́mọ́ ion beam jẹ́ ìlànà tí kìí ṣe ti ara ẹni tí ó ń lo ìpìlẹ̀ àwọn ion tí a fojú sí (bíi àwọn ion argon) láti yọ ohun èlò kúrò nínú ojú iṣẹ́ kan. Àwọn ion náà máa ń yára sí ojú ilẹ̀, wọ́n sì máa ń yọ ohun èlò tí ó wà ní ìpele atomiki kúrò, èyí tí ó máa ń yọrí sí àwọn ìparí tí ó rọrùn púpọ̀. Ìlànà yìí máa ń mú kí ìdààmú ẹ̀rọ àti ìbàjẹ́ ilẹ̀ kúrò, èyí tí ó mú kí ó dára fún àwọn ohun èlò opitika tí ó péye.

Q2: Iru awọn dada wo ni Ion Beam Polishing Machine le ṣe ilana?
A2:ÀwọnẸrọ didan Ion Tanle ṣe ilana ọpọlọpọ awọn dada, pẹlu awọn paati opitika ti o rọrun biiàwọn pẹrẹsẹ, àwọn sẹ́ẹ̀lì, àti àwọn pírísímù, àti àwọn ìrísí ojú-ìwé onípele bíiàwọn aspheres, àwọn aspheres tí kò sí ní axis, àtiawọn oju ilẹ ti o ni irọrunÓ munadoko jùlọ lórí àwọn ohun èlò bí gilasi opitika, infrared optics, àwọn irin, àti àwọn ohun èlò líle/búburú.

Q3: Awọn ohun elo wo ni Ẹrọ Ion Beam Polishing le ṣiṣẹ pẹlu?
A3:ÀwọnẸrọ didan Ion Tanle ṣe àtúnṣe ọpọlọpọ awọn ohun elo, pẹlu:

Gilasi opitika: Quartz, microcrystalline, K9, ati bẹẹ bẹẹ lọ.
Àwọn ohun èlò infurarẹẹdi: Silikoni, germanium, ati bẹẹ bẹẹ lọ.
Àwọn irin: Aluminiomu, irin alagbara, titanium alloy, ati be be lo.
Àwọn ohun èlò kristali: YAG, silikoni carbide oní-kristali kan ṣoṣo, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Àwọn ohun èlò líle/búburú mìíràn: Silikoni carbide, ati bẹẹbẹ lọ.

Nipa re

XKH jẹ́ amọ̀jọ̀gbọ́n nínú ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga, ìṣẹ̀dá, àti títà àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì optíkì pàtàkì àti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì tuntun. Àwọn ọjà wa ń ṣiṣẹ́ fún ẹ̀rọ itanna optíkì, ẹ̀rọ itanna oníbàárà, àti àwọn ológun. A ń pèsè àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ Sapphire optíkì, àwọn ìbòrí lẹ́ǹsì fóònù alágbéká, àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ sémíkà, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, àti àwọn wafers crystal semiconductor. Pẹ̀lú ìmọ̀ tó ní ìmọ̀ àti àwọn ohun èlò tó ti pẹ́, a tayọ nínú ṣíṣe àwọn ohun èlò tí kì í ṣe déédé, a ń gbìyànjú láti jẹ́ ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga tó ń lo ohun èlò optoelectronic.