LNOI Wafer (Lithium Niobate on Insulator) Ìbánisọ̀rọ̀ Ìmọ̀ràn Agbára Elektro-Optic Gíga
Àwòrán Àlàyé
Àkótán Àkótán
Nínú àpótí wafer náà ni àwọn ihò oníwọ̀n tó dọ́gba wà, àwọn ìwọ̀n wọn sì dọ́gba láti gbé ẹ̀gbẹ́ méjèèjì ti wafer náà ró. A sábà máa ń fi ohun èlò PP ike tó tànmọ́lẹ̀ ṣe àpótí kirisita náà, èyí tó lè kojú ìgbóná, ìbàjẹ́ àti iná mànàmáná tó dúró ṣinṣin. A máa ń lo àwọn àwọ̀ afikún tó yàtọ̀ síra láti fi ṣe ìyàtọ̀ sí àwọn ẹ̀ka iṣẹ́ irin nínú iṣẹ́ semiconductor. Nítorí ìwọ̀n kékeré ti semiconductor, àwọn àpẹẹrẹ tó wúwo, àti àwọn ohun tí a nílò láti fi ṣe iṣẹ́ náà, àpótí wafer gbọ́dọ̀ ní àyíká tó mọ́ tónítóní láti so mọ́ ihò ìṣesí àpótí microenvironment ti àwọn ẹ̀rọ ìṣelọ́pọ́ tó yàtọ̀ síra.
Ọ̀nà Ṣíṣe Ẹ̀rọ
Iṣelọpọ awọn wafers LNOI ni ọpọlọpọ awọn igbesẹ deede:
Igbesẹ 1: Gbigbe Hẹliọmu IoniA máa ń fi àwọn ion helium sínú kristal LN tó pọ̀ nípa lílo ohun èlò ìfàmọ́ra ion. Àwọn ion wọ̀nyí máa ń dúró sí ìjìnlẹ̀ pàtó kan, wọ́n á sì di ìpele tí kò lágbára tó máa jẹ́ kí fíìmù náà rọrùn.
Igbesẹ 2: Ṣíṣẹ̀dá Ilẹ̀ Àpẹ̀rẹ̀A fi SiO2 tàbí ohun èlò ìfọṣọ oníná mànàmáná tí ó yàtọ̀ síra ṣe oxidized tàbí fídíò pẹ̀lú SiO2 nípa lílo PECVD tàbí oxidation thermal. A fi ojú òkè rẹ̀ ṣe planarized fún ìsopọ̀ tó dára jùlọ.
Igbesẹ 3: So LN pọ mọ SubstrateA máa yí kirisita LN tí a fi ion sínú rẹ̀ padà, a sì so mọ́ ìpìlẹ̀ wafer nípa lílo ìsopọ̀ wafer tààrà. Nínú àwọn ètò ìwádìí, a lè lo benzocyclobutene (BCB) gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìlẹ̀mọ́ láti mú kí ìsopọ̀ rọrùn lábẹ́ àwọn ipò tí kò le koko.
Igbesẹ 4: Itọju Ooru ati Iyapa FiimuAtunkun omi n mu ki dida nudulu ṣiṣẹ ni ijinle ti a fi sii, ti o fun laaye lati ya fiimu tinrin naa (oke LN) kuro ninu opo naa. Agbára ẹ̀rọ ni a lo lati pari yiyọ kuro.
Igbesẹ 5: Ṣíṣe àtúnṣe ojú ilẹ̀A lo Kemikali Mechanical Polishing (CMP) lati dan oju oke LN, lati mu didara opitika ati iṣelọpọ ẹrọ dara si.
Àwọn Ìlànà Ìmọ̀-ẹ̀rọ
| Ohun èlò | Opitiki Ipele LiNbO3 àwọn ìpara omi (funfun) or Dúdú) | |
| Curie Igba otutu | 1142±0.7℃ | |
| Gígé Igun | X/Y/Z àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ | |
| Ìwọ̀n/ìwọ̀n | 2”/3”/4” ±0.03mm | |
| Tol(±) | <0.20 mm ±0.005mm | |
| Sisanra | 0.18~0.5mm tabi ju bẹẹ lọ | |
| Àkọ́bẹ̀rẹ̀ Pẹpẹ | 16mm/22mm/32mm | |
| TV | <3μm | |
| Ọrun tẹríba | -30 | |
| Ìfọwọ́sowọ́pọ̀ | <40μm | |
| Ìtọ́sọ́nà Pẹpẹ | Gbogbo wa ni | |
| Ilẹ̀ Irú | A ti dán ẹ̀gbẹ́ kan ṣoṣo (SSP)/Ẹgbẹ́ Méjì (DSP) | |
| Ti di didan ẹgbẹ Ra | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Igun eti Àwọn ìlànà tí a gbé kalẹ̀ | R=0.2mm Irú-C or Imú màlúù | |
| Dídára | Ọfẹ of ìfọ́ (àwọn ìfọ́ àti àwọn ìfikún) | |
| Opitiki ti a mu oògùn | Mg/Fe/Zn/MgO àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ fún ohun èlò ìrísí ojú ipele LN àwọn àkàrà kéékèèké fun ti a beere | |
| Wafer Ilẹ̀ Àwọn ìlànà tí a gbé kalẹ̀ | Atọka Refractive | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm wavelength/prism sopọ̀ mọ́ ọ̀nà. |
| Ẹ̀gbin, | Kò sí | |
| Àwọn èròjà c>0.3μ m | <=30 | |
| Fọ́, Ṣíṣí | Kò sí | |
| Àbùkù | Kò sí ìfọ́ etí, ìfọ́, àmì gígé, àbàwọ́n kankan | |
| Àkójọ | Iye/Àpótí Wáfà | Àwọn pọ́ọ̀tì 25 fún àpótí kan |
Àwọn Àpò Lílò
Nítorí pé ó ní agbára àti iṣẹ́ tó pọ̀, a ń lo LNOI káàkiri ọ̀pọ̀lọpọ̀ ilé iṣẹ́:
Àwọn fọ́tòníkì:Àwọn ohun èlò onípele kékeré, àwọn ohun èlò onípele púpọ̀, àti àwọn ìyíká fọ́tòníkì.
RF/Akọsitiki:Àwọn ohun èlò amúlétutù acousto-optic, àwọn àlẹ̀mọ́ RF.
Ìṣirò Kọ́tánọ́mù:Àwọn àdàpọ̀ ìgbóhùnsáfẹ́fẹ́ tí kìí ṣe ìlà àti àwọn olùpèsè fọ́tòn-pair.
Idaabobo ati Aerospace:Àwọn gyros opitika tí ó ń dínkù díẹ̀, àwọn ẹ̀rọ tí ń yí ìgbòkègbodò padà.
Awọn Ẹrọ Iṣoogun:Àwọn ohun èlò ìwádìí ojú àti àwọn ohun èlò ìwádìí ìgbohùngbà gíga.
Awọn ibeere ti a maa n beere nigbagbogbo
Q: Kí ló dé tí a fi fẹ́ràn LNOI ju SOI lọ nínú àwọn ètò ìrísí ojú?
A:LNOI ní àwọn iye electro-optic tó ga jùlọ àti àwọn ibi tí ó gbòòrò síi, èyí tó ń mú kí iṣẹ́ rẹ̀ ga síi nínú àwọn àyíká photonic.
Q: Ṣé CMP jẹ́ dandan lẹ́yìn pípínyà?
A:Bẹ́ẹ̀ni. Ojú LN tí a fi hàn yìí máa ń gbọ̀n lẹ́yìn tí a bá ti gé ion kúrò, ó sì gbọ́dọ̀ jẹ́ dídán láti bá àwọn ìlànà ìpele optical mu.
Q: Kini iwọn wafer ti o pọ julọ ti o wa?
A:Àwọn ìṣẹ́ LNOI tí wọ́n ń tà ní ìpele 3” àti 4”, bó tilẹ̀ jẹ́ pé àwọn olùtajà kan ń ṣe àgbékalẹ̀ àwọn onírúurú 6”.
Q: Ṣe a le tun lo ipele LN lẹhin pipin?
A:A le tun didan kirisita ipilẹ naa ki a tun lo o ni igba pupọ, botilẹjẹpe didara naa le bajẹ lẹhin ọpọlọpọ awọn iyipo.
Q: Ǹjẹ́ àwọn wafer LNOI bá ìṣiṣẹ́ CMOS mu?
A:Bẹ́ẹ̀ni, a ṣe wọ́n láti bá àwọn ìlànà ìṣe semiconductor ìbílẹ̀ mu, pàápàá jùlọ nígbà tí a bá lo àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ silicon.
