LNOI Wafer (Lithium Niobate lori Insulator) Awọn ibaraẹnisọrọ Ibaraẹnisọrọ Imọye Electro-Optic giga
Alaye aworan atọka
Akopọ
Ninu apoti wafer awọn grooves symmetrical wa, awọn iwọn ti eyiti o jẹ aṣọ ti o muna lati ṣe atilẹyin awọn ẹgbẹ meji ti wafer. Apoti gara jẹ gbogbogbo ti ohun elo PP ṣiṣu translucent eyiti o jẹ sooro si iwọn otutu, wọ ati ina aimi. Awọn awọ oriṣiriṣi ti awọn afikun ni a lo lati ṣe iyatọ awọn apakan ilana irin ni iṣelọpọ semikondokito. Nitori iwọn bọtini kekere ti awọn semikondokito, awọn ilana ipon, ati awọn ibeere iwọn patiku ti o muna pupọ ni iṣelọpọ, apoti wafer gbọdọ jẹ iṣeduro agbegbe ti o mọ lati sopọ si iho ifura microenvironment ti awọn ẹrọ iṣelọpọ oriṣiriṣi.
Ilana iṣelọpọ
Ṣiṣẹda ti awọn wafers LNOI ni ọpọlọpọ awọn igbesẹ gangan:
Igbesẹ 1: Igbin Helium ionAwọn ions iliomu ni a ṣe sinu olopobobo LN kirisita ni lilo afọwọsi ion kan. Awọn ions wọnyi sùn ni ijinle kan pato, ti o ṣẹda ọkọ ofurufu ti ko lagbara ti yoo jẹ ki o rọrun lati yọkuro fiimu nikẹhin.
Igbesẹ 2: Ibiyi Sobusitireti ipilẹOhun alumọni lọtọ tabi wafer LN ti wa ni oxidized tabi Layer pẹlu SiO2 ni lilo PECVD tabi ifoyina gbona. Awọn oniwe-oke dada ti wa ni planarized fun aipe imora.
Igbesẹ 3: Isopọmọ LN si SobusitiretiKristali LN ti a gbin ion ti wa ni yiyi ati so mọ wafer ipilẹ ni lilo isọpọ wafer taara. Ninu awọn eto iwadii, benzocyclobutene (BCB) le ṣee lo bi alemora lati ṣe irọrun sisopọ labẹ awọn ipo ti o ni okun.
Igbesẹ 4: Itoju Ooru ati Iyapa FiimuAnnealing activates awọn ti nkuta Ibiyi ni riri riri, muu Iyapa ti awọn tinrin fiimu (oke LN Layer) lati olopobobo. Agbara ẹrọ ni a lo lati pari exfoliation.
Igbesẹ 5: didan ojuPolishing Mechanical Mechanical (CMP) ti lo lati dan dada LN oke, imudarasi didara opiti ati ikore ẹrọ.
Imọ paramita
| Ohun elo | Opitika Ipele LiNbO3 wafes (funfun or Dudu) | |
| Curie Iwọn otutu | 1142± 0.7 ℃ | |
| Ige Igun | X/Y/Z ati be be lo | |
| Iwọn / iwọn | 2 "/ 3"/4" ± 0.03mm | |
| Tol(±) | <0.20 mm ± 0.005mm | |
| Sisanra | 0.18 ~ 0.5mm tabi diẹ ẹ sii | |
| Alakoko Alapin | 16mm / 22mm / 32mm | |
| TTV | <3μm | |
| Teriba | -30 | |
| Ijagun | <40μm | |
| Iṣalaye Alapin | Gbogbo wa | |
| Dada Iru | Didan Ẹgbẹ Kanṣoṣo(SSP)/Awọn ẹgbẹ meji didan(DSP) | |
| Didan ẹgbẹ Ra | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Eti Awọn ilana | R = 0.2mm C-iru or Bullnose | |
| Didara | Ọfẹ of kiraki (nyoju ati awọn ifisi) | |
| Opitika doped | Mg/Fẹ/Zn/MgO ati be be lo fun opitika ite LN wafers fun beere | |
| Wafer Dada Awọn ilana | Atọka itọka | Ko si = 2.2878 / Ne = 2.2033 @ 632nm wefulenti / prism coupler ọna. |
| Kokoro, | Ko si | |
| Awọn patikulu c>0.3μ m | <= 30 | |
| Bibẹrẹ, Chipping | Ko si | |
| Àbùkù | Ko si awọn dojuijako eti, awọn fifọ, awọn ami ri, awọn abawọn | |
| Iṣakojọpọ | Qty / Wafer apoti | 25pcs fun apoti |
Lo Awọn ọran
Nitori iṣiṣẹpọ ati iṣẹ rẹ, LNOI ni a lo kọja awọn ile-iṣẹ lọpọlọpọ:
Photonics:Iwapọ modulators, multiplexers, ati photonic iyika.
RF/Acoustics:Awọn oluyipada Acousto-optic, awọn asẹ RF.
Iṣiro Kuatomu:Awọn aladapọ igbohunsafẹfẹ alailopin ati awọn olupilẹṣẹ-bata photon.
Aabo & Ofurufu:Gyros opitika pipadanu kekere, awọn ẹrọ iyipada-igbohunsafẹfẹ.
Awọn ẹrọ iṣoogun:Awọn ohun alumọni opitika ati awọn iwadii ifihan agbara-igbohunsafẹfẹ.
FAQ
Q: Kini idi ti LNOI ṣe fẹ ju SOI ni awọn eto opiti?
A:LNOI ṣe ẹya elekitiro-opiki olùsọdipúpọ ati iwọn akoyawo jakejado, muu ṣiṣẹ ṣiṣe ti o ga julọ ni awọn iyika photonic.
Q: Njẹ CMP jẹ dandan lẹhin pipin?
A:Bẹẹni. Ilẹ LN ti o han ni o ni inira lẹhin gige-ion ati pe o gbọdọ jẹ didan lati pade awọn pato-ite opitika.
Q: Kini iwọn wafer ti o pọju ti o wa?
A:Awọn wafer LNOI ti iṣowo jẹ akọkọ 3” ati 4”, botilẹjẹpe diẹ ninu awọn olupese n dagbasoke awọn iyatọ 6”.
Q: Njẹ Layer LN le tun lo lẹhin-pipin bi?
A:Kirisita mimọ le jẹ didan ati tun lo ni igba pupọ, botilẹjẹpe didara le dinku lẹhin awọn iyipo pupọ.
Q: Njẹ awọn wafers LNOI ni ibamu pẹlu sisẹ CMOS?
A:Bẹẹni, wọn ṣe apẹrẹ lati ṣe ibamu pẹlu awọn ilana iṣelọpọ semikondokito aṣa, pataki nigbati awọn sobusitireti ohun alumọni lo.
