Ẹ̀rọ Ṣíṣí Dáyámọ́ńdì Onírúurú fún Àwọn Ohun Èlò Ṣíṣí Dáyámọ́ńdì SíC
Ifihan si Ẹrọ Ige Diamọndi Onirin Waya pupọ
Ẹ̀rọ ìgé onípele-pupọ onípele jẹ́ ẹ̀rọ ìgé onípele-pupọ tí a ṣe fún ṣíṣe àwọn ohun èlò líle àti èyí tí ó lè fọ́. Nípa lílo ọ̀pọ̀lọpọ̀ wáyà tí a fi dáyámọ́ńdì bo, ẹ̀rọ náà lè gé ọ̀pọ̀lọpọ̀ wáyà ní àkókò kan náà ní ìyípo kan, kí ó lè ṣe àṣeyọrí gíga àti ìpele pípé. Ìmọ̀ ẹ̀rọ yìí ti di ohun èlò pàtàkì ní àwọn ilé iṣẹ́ bíi semiconductors, solar photovoltaics, LED, àti àwọn seramiki tó ti ní ìlọsíwájú, pàápàá jùlọ fún àwọn ohun èlò bíi SiC, sapphire, GaN, quartz, àti alumina.
Ní ìfiwéra pẹ̀lú gígé wáyà kanṣoṣo tí a sábà máa ń lò, ìṣètò wáyà oní-pupọ máa ń mú ọ̀pọ̀lọpọ̀ sí ọgọ́rọ̀ọ̀rún àwọn ege fún ìpele kọ̀ọ̀kan, èyí tí ó ń dín àkókò ìyípo kù gidigidi nígbà tí ó ń pa pẹrẹsẹ dáradára mọ́ (Ra < 0.5 μm) àti ìpele ìpele (± 0.02 mm). Apẹẹrẹ onípele rẹ̀ ṣepọ ìfúnpọ̀ wáyà aládàáṣe, àwọn ètò ìdarí iṣẹ́, àti ìṣàyẹ̀wò lórí ayélujára, èyí tí ó ń rí i dájú pé iṣẹ́ àgbékalẹ̀ rẹ̀ yóò pẹ́, dúró ṣinṣin, àti aládàáṣe pátápátá.
Àwọn Ìlànà Ìmọ̀-ẹ̀rọ ti Ẹ̀rọ Ṣíṣí Dáyámọ́ńdì Onírúurú Wáyà
| Ohun kan | Ìlànà ìpele | Ohun kan | Ìlànà ìpele |
|---|---|---|---|
| Iwọn iṣẹ ti o pọ julọ (Square) | 220 × 200 × 350 mm | Mọ́tò wakọ̀ | 17.8 kW × 2 |
| Iwọn iṣẹ ti o pọ julọ (Yipo) | Φ205 × 350 mm | Mọ́tò ìwakọ̀ wáyà | 11.86 kW × 2 |
| Ààyè spindle | Φ250 ±10 × 370 × 2 posis (mm) | Mẹ́ẹ̀tì ìgbéga iṣẹ́ | 2.42 kW × 1 |
| Ààlà pàtàkì | 650 mm | Mọ́tò swing | 0.8 kW × 1 |
| Iyara iṣiṣẹ waya | 1500 m/ìṣẹ́jú | Mọ́tò ìṣètò | 0.45 kW × 2 |
| Iwọn opin waya | Φ0.12–0.25 mm | Mọ́tò ìfúnpá | 4.15 kW × 2 |
| Iyara gbigbe soke | 225 mm/ìṣẹ́jú | Mọ́tò Slurry | 7.5 kW × 1 |
| Ìyípo tábìlì tó pọ̀ jùlọ | ±12° | Agbára ojò omi slurry | 300 L |
| Igun fifọ | ±3° | Ṣíṣàn omi itutu | 200 L/ìṣẹ́jú |
| Ìwọ̀n ìgbà yíyí | ~Igba 30/iṣẹju | Ìpéye ìgbóná | ±2 °C |
| Oṣuwọn ifunni | 0.01–9.99 mm/ìṣẹ́jú | Ibi ti ina elekitiriki ti nwa | 335+210 (mm²) |
| Oṣuwọn kikọ sii waya | 0.01–300 mm/ìṣẹ́jú | Afẹ́fẹ́ tí a fi sínú | 0.4–0.6 MPa |
| Iwọn ẹrọ | 3550 × 2200 × 3000 mm | Ìwúwo | 13,500 kg |
Iṣẹ́ ẹ̀rọ ìwakọ̀ onípele-oníròrò onípele-oníròrò onípele-oníròrò
-
Ìṣíṣẹ́ Gígé Wáyà Púpọ̀
Ọ̀pọ̀lọpọ̀ wáyà dáyámọ́ǹdì ń rìn ní iyàrá ìṣiṣẹ́pọ̀ tó tó 1500 m/ìṣẹ́jú kan. Àwọn pulley tí a fi ìlànà ṣe àti ìdarí ìfọ́mọ́lẹ̀ tí a ti pa (15–130 N) ń jẹ́ kí àwọn wáyà náà dúró ṣinṣin, èyí tí ó ń dín àǹfààní ìyàtọ̀ tàbí ìfọ́ kù. -
Oúnjẹ àti Ipò Tó Tọ́
Ipò tí a fi servo ṣe ń ṣiṣẹ́ ń ṣe àṣeyọrí ±0.005 mm pípéye. Lésà tàbí ìṣètò tí a fi lílo ìran ṣe ń mú kí àwọn àbájáde fún àwọn ìrísí dídíjú pọ̀ sí i. -
Itutu ati Yiyọ idoti kuro
Ẹ̀rọ ìtútù onípele gíga máa ń mú àwọn ìyẹ̀fun kúrò nígbà gbogbo, ó sì máa ń tutù ní ibi iṣẹ́, èyí tí yóò sì dènà ìbàjẹ́ ooru. Ṣíṣe àtúnṣe ìpele púpọ̀ máa ń mú kí ìtútù pẹ́ sí i, ó sì máa ń dín àkókò ìsinmi kù. -
Pẹpẹ Iṣakoso Ọlọgbọn
Àwọn awakọ̀ servo tí wọ́n ń dáhùn sí ìbéèrè gíga (<1 ms) máa ń ṣàtúnṣe ìfúnni, ìfúnni, àti iyàrá wáyà. Ìṣàkóso ohunelo tí a ṣepọ àti yíyípadà paramita tí a tẹ lẹ́ẹ̀kan mú kí iṣẹ́ náà rọrùn.
Àwọn Àǹfààní Pàtàkì ti Ẹ̀rọ Ṣíṣí Dáyámọ́ńdì Onírúurú
-
Iṣẹ́-ṣíṣe gíga
Ó lè gé 50–200 wafers fún ìṣiṣẹ́ kan, pẹ̀lú pípadánù kerf <100 μm, èyí tí ó mú kí lílo ohun èlò sunwọ̀n síi tó 40%. Ìjáde rẹ̀ jẹ́ 5–10× ti àwọn ètò oní-wáyà kanṣoṣo ìbílẹ̀. -
Iṣakoso Konge
Ìdúróṣinṣin ìfúnpá wáyà láàárín ±0.5 N ń mú kí àwọn àbájáde déédé lórí onírúurú ohun èlò tí ó lè jábọ́. Ìṣọ́nà àkókò gidi lórí ìsopọ̀ HMI 10" ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìtọ́jú ohunelo àti iṣẹ́ jíjìnnà. -
Rọrùn, Ṣíṣe Modulu
Ó bá àwọn okùn waya mu láti 0.12–0.45 mm fún onírúurú iṣẹ́ gígé. Ìmúṣe roboti tí a yàn fún àwọn ìlà iṣẹ́ aládàáṣe ni ó lè mú kí gbogbo wọn ṣiṣẹ́. -
Igbẹkẹle Ipele Ile-iṣẹ
Àwọn férémù tí a fi ṣe gígún-gígún/àwọ̀ ṣe máa ń dín ìyípadà kù (<0.01 mm). Àwọn pulley ìtọ́sọ́nà pẹ̀lú àwọn ìbòrí seramiki tàbí carbide máa ń fúnni ní iṣẹ́ tó ju wákàtí 8000 lọ.
Awọn aaye lilo ti Ẹrọ gige Diamond pupọ
-
Àwọn akọ́lé-ìdámọ̀: Gígé SiC fún àwọn modulu agbára EV, àwọn ìṣàlẹ̀ GaN fún àwọn ẹ̀rọ 5G.
-
Àwọn fọ́tòvoltaics: Gígé wafer silikoni iyara giga pẹlu ±10 μm iṣọkan.
-
LED & OpticsÀwọn ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ Sapphire fún àwọn ohun èlò ìrísí ojú tí ó ní ìwọ̀n 20 μm pẹ̀lú ìgé etí.
-
Àwọn ohun èlò ìṣẹ̀dá tí ó ga jùlọ: Ṣiṣẹ́ alumina, AlN, àti àwọn ohun èlò tó jọra fún àwọn ohun èlò ìṣàkóso afẹ́fẹ́ àti ooru.
Awọn Ibeere Nigbagbogbo – Ẹrọ Ige Diamọndi Onirin Waya Pupọ
Q1: Àwọn àǹfààní wo ló wà nínú gígé oní-wáyà púpọ̀ ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ẹ̀rọ oní-wáyà kan?
A: Awọn eto onirin pupọ le ge ọpọlọpọ awọn wafers si ọgọọgọrun ni akoko kanna, eyi ti o mu ki ṣiṣe ṣiṣe pọ si nipasẹ 5–10×. Lilo ohun elo tun ga julọ pẹlu pipadanu kerf labẹ 100 μm, eyiti o jẹ ki o dara julọ fun iṣelọpọ pupọ.
Q2: Iru awọn ohun elo wo ni a le ṣe ilana?
A: A ṣe ẹ̀rọ náà fún àwọn ohun èlò líle àti àwọn ohun èlò tí ó lè fọ́, títí bí silicon carbide (SiC), sapphire, gallium nitride (GaN), quartz, alumina (Al₂O₃), àti aluminiomu nitride (AlN).
Q3: Kí ni ìṣedéédé àti dídára ojú ilẹ̀ tí a lè ṣe?
A: Ríru ojú ilẹ̀ lè dé Ra <0.5 μm, pẹ̀lú ìpéye ìwọ̀n ±0.02 mm. A lè ṣàkóso ìgé etí sí <20 μm, kí ó lè bá àwọn ìlànà ilé-iṣẹ́ semiconductor àti optoelectronic mu.
Q4: Ṣé ilana gige naa fa awọn fifọ tabi ibajẹ?
A: Pẹlu itutu titẹ giga ati iṣakoso titẹ pipade, eewu awọn kikuru kekere ati ibajẹ wahala dinku, ni idaniloju iduroṣinṣin wafer ti o dara julọ.
