Sobusitireti oniyebiye ti a ṣe apẹrẹ PSS 2inch 4inch 6inch ICP gbẹ etching le ṣee lo fun awọn eerun LED
Mojuto ti iwa
1. Awọn abuda ohun elo: Ohun elo sobusitireti jẹ oniyebiye okuta oniyebiye kan (Al₂O₃), pẹlu lile lile, giga ooru resistance ati iduroṣinṣin kemikali.
2. Ipilẹ oju: Ilẹ ti wa ni akoso nipasẹ photolithography ati etching sinu igbakọọkan micro-nano ẹya, gẹgẹ bi awọn cones, pyramids tabi hexagonal arrays.
3. Išẹ opitika: Nipasẹ apẹrẹ apẹrẹ oju-aye, ifarabalẹ lapapọ ti ina ni wiwo ti dinku, ati imudara isediwon ina ti wa ni ilọsiwaju.
4. Iṣẹ ṣiṣe igbona: Sobusitireti oniyebiye ni o ni itọsi igbona ti o dara julọ, o dara fun awọn ohun elo LED agbara giga.
5. Awọn pato iwọn: Awọn iwọn ti o wọpọ jẹ 2 inches (50.8mm), 4 inches (100mm) ati 6 inches (150mm).
Awọn agbegbe ohun elo akọkọ
1. LED iṣelọpọ:
Imudara isediwon ina ti o ni ilọsiwaju: PSS dinku pipadanu ina nipasẹ apẹrẹ apẹrẹ, imudarasi imọlẹ LED ni pataki ati ṣiṣe itanna.
Didara idagbasoke epitaxial ti ilọsiwaju: Eto apẹrẹ ti o pese ipilẹ idagbasoke ti o dara julọ fun awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial GaN ati ilọsiwaju iṣẹ LED.
2. Diode lesa (LD):
Awọn lasers agbara ti o ga julọ: Imudara igbona giga ati iduroṣinṣin ti PSS jẹ o dara fun awọn diodes lesa agbara giga, imudarasi iṣẹ ṣiṣe itusilẹ ooru ati igbẹkẹle.
Ilọkuro kekere lọwọlọwọ: Mu idagbasoke epitaxial pọ si, dinku lọwọlọwọ ala ti diode lesa, ati imudara ṣiṣe.
3. Aworan:
Ifamọ giga: Gbigbe ina giga ati iwuwo abawọn kekere ti PSS ṣe ilọsiwaju ifamọ ati iyara esi ti olutọpa fọto.
Idahun iwoye nla: o dara fun wiwa fọtoelectric ni ultraviolet si ibiti o han.
4. Awọn ẹrọ itanna agbara:
Idaabobo foliteji giga: Idabobo giga Sapphire ati iduroṣinṣin gbona jẹ o dara fun awọn ẹrọ agbara foliteji giga.
Imudara gbigbona ti o munadoko: Imudaniloju gbigbona ti o ga julọ ṣe ilọsiwaju iṣẹ ṣiṣe ti ooru ti awọn ẹrọ agbara ati ki o pẹ igbesi aye iṣẹ.
5. Awọn ẹrọ RF:
Išẹ igbohunsafẹfẹ giga: pipadanu dielectric kekere ati iduroṣinṣin igbona giga ti PSS dara fun awọn ẹrọ RF igbohunsafẹfẹ giga.
Ariwo kekere: Filati giga ati iwuwo abawọn kekere dinku ariwo ẹrọ ati ilọsiwaju didara ifihan.
6. Biosensors:
Wiwa ifamọ giga: Gbigbe ina giga ati iduroṣinṣin kemikali ti PSS dara fun awọn biosensors ifamọ giga.
Biocompatibility: Ibamu biocompatibility ti oniyebiye jẹ ki o dara fun awọn ohun elo iṣoogun ati biodetection.
Sobusitireti oniyebiye (PSS) ti a ṣe pẹlu ohun elo epitaxial GaN:
Sobusitireti oniyebiye ti a ṣe apẹrẹ (PSS) jẹ sobusitireti pipe fun idagbasoke epitaxial GaN (gallium nitride). Iduroṣinṣin lattice ti sapphire wa nitosi GaN, eyiti o le dinku awọn aiṣedeede lattice ati awọn abawọn ninu idagbasoke epitaxial. Eto micro-nano ti oju PSS kii ṣe ilọsiwaju imudara isediwon ina nikan, ṣugbọn tun ṣe ilọsiwaju didara gara ti Layer epitaxial GaN, nitorinaa imudarasi iṣẹ ati igbẹkẹle ti LED.
Imọ paramita
| Nkan | Sobusitireti oniyebiye ti a ṣe apẹrẹ (2 ~ 6inch) | ||
| Iwọn opin | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Sisanra | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Dada Iṣalaye | C-ofurufu (0001) kuro-igun si ọna M-ipo (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| C-ofurufu (0001) kuro-igun si A-ipo (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| Primary Flat Iṣalaye | A-ofurufu (11-20) ± 1,0 ° | ||
| Primary Flat Gigun | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R-ofurufu | aago mẹsan-an | ||
| Iwaju dada Ipari | Apẹrẹ | ||
| Pada dada Ipari | SSP: Ilẹ-Fine, Ra = 0.8-1.2um; DSP:Epi-didan,Ra<0.3nm | ||
| Lesa Mark | Ẹgbe ẹhin | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| teriba | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| IGBAGBO | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Iyasoto eti | ≤2 mm | ||
| Apeere Specification | Apẹrẹ Apẹrẹ | Dome, Konu, Pyramid | |
| Iga Àpẹẹrẹ | 1.6 ~ 1.8μm | ||
| Apẹrẹ Iwọn | 2.75 ~ 2.85μm | ||
| Aaye Apẹrẹ | 0.1 ~ 0.3μm | ||
XKH ṣe amọja ni ipese didara giga, awọn sobusitireti oniyebiye ti a ṣe adani (PSS) pẹlu atilẹyin imọ-ẹrọ ati iṣẹ lẹhin-tita lati ṣe iranlọwọ fun awọn alabara lati ṣaṣeyọri imudara daradara ni aaye ti LED, ifihan ati optoelectronics.
1. Ipese PSS ti o ga julọ: Awọn apẹrẹ oniyebiye ti a ṣe apẹrẹ ni orisirisi awọn titobi (2 ", 4", 6 ") lati pade awọn aini LED, ifihan ati awọn ẹrọ optoelectronic.
2. Apẹrẹ ti a ṣe adani: Ṣe akanṣe eto micro-nano dada (bii cone, pyramid tabi hexagonal array) ni ibamu si awọn alabara nilo lati mu imudara isediwon ina.
3. Atilẹyin imọ-ẹrọ: Pese apẹrẹ ohun elo PSS, iṣapeye ilana ati ijumọsọrọ imọ-ẹrọ lati ṣe iranlọwọ fun awọn alabara mu iṣẹ ṣiṣe ọja.
4. Atilẹyin idagbasoke Epitaxial: PSS ti o ni ibamu pẹlu GaN ohun elo epitaxial ti pese lati rii daju pe idagbasoke ipele ipele ti o ga julọ.
5. Idanwo ati iwe-ẹri: Pese ijabọ ayẹwo didara PSS lati rii daju pe awọn ọja pade awọn iṣedede ile-iṣẹ.
Alaye aworan atọka
