Àwọn Ohun Èlò Ìgbé-Orí Lésà Semiconductor
Àwòrán Àlàyé
Àkótán Ọjà ti Ẹ̀rọ Lílọ Lésà
Ohun èlò ìtọ́jú laser Semiconductor jẹ́ ọ̀nà àbájáde tuntun fún ìtẹ̀síwájú ingot nínú iṣẹ́ ṣíṣe ohun èlò semiconductor. Láìdàbí àwọn ọ̀nà ìtọ́jú wafering ìbílẹ̀ tí ó gbára lé ẹ̀rọ ìtọ́jú, gígé waya diamond, tàbí ètò ìṣiṣẹ́ kẹ́míkà, ìpìlẹ̀ laser yìí ní àyípadà tí kò ní ìfọwọ́kàn, tí kò sì ní parun fún yíyọ àwọn ìpele tín-tín láti inú àwọn ingots semiconductor onípele púpọ̀.
A ṣe àtúnṣe rẹ̀ fún àwọn ohun èlò tó ní ìrísí tó lágbára bíi gallium nitride (GaN), silicon carbide (SiC), sapphire, àti gallium arsenide (GaAs), Semiconductor Laser Lift-Off Equipment ń jẹ́ kí a gé àwọn fíìmù wafer-scale sójú tààrà láti inú ingot kristal. Ìmọ̀ ẹ̀rọ tuntun yìí dín ìdọ̀tí ohun èlò kù, ó ń mú kí iṣẹ́ rẹ̀ sunwọ̀n sí i, ó sì ń mú kí ìdúróṣinṣin substrate pọ̀ sí i — gbogbo èyí ló ṣe pàtàkì fún àwọn ẹ̀rọ ìran tó ń bọ̀ nínú ẹ̀rọ itanna agbára, àwọn ẹ̀rọ RF, photonics, àti àwọn micro-displays.
Pẹ̀lú ìtẹnumọ́ lórí ìṣàkóso aládàáṣe, ìṣẹ̀dá ìtànṣán, àti ìṣàyẹ̀wò ìbáṣepọ̀ ohun èlò laser, a ṣe ẹ̀rọ Semiconductor Laser Lift-Off láti ṣepọ pọ̀ mọ́ àwọn iṣẹ́ ìṣiṣẹ́ semiconductor láìsí ìṣòro nígbàtí ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìyípadà àti ìṣiṣẹ́ ìṣiṣẹ́ àti ìlọ́po ìwọ̀n.
Ìmọ̀-ẹ̀rọ àti Ìlànà Iṣiṣẹ́ ti Ẹ̀rọ Lílesá Líle
Ilana ti Semiconductor Laser Lift-Off Equipment ṣe bẹrẹ nipa fifi ina fun awọn oluranlowo lati ẹgbẹ kan nipa lilo ina ina ultraviolet ti o ni agbara giga. Itanna yii dojukọ jinle inu kan pato, nigbagbogbo ni ọna asopọ ti a ṣe apẹrẹ, nibiti gbigba agbara ti pọ si nitori iyatọ opitika, ooru, tabi kemikali.
Ní ipele gbigba agbara yii, igbona agbegbe ti o wa ni agbegbe yoo yorisi bugbamu kekere-kiakia, imugboroosi gaasi, tabi fifọ ti fẹlẹfẹlẹ oju-ọna kan (fun apẹẹrẹ, fiimu ti o ni wahala tabi oxide ẹbọ). Idilọwọ yii ti a ṣakoso ni deede yoo fa ki fẹlẹfẹlẹ kristali oke — pẹlu sisanra ti awọn mewa micrometers — yọ kuro ninu ipilẹ ingot ni mimọ.
Ohun èlò ìwádìí laser Semiconductor Lift-Off ń lo àwọn orí ìwádìí tí a fi ń ṣe ìṣelọ́pọ́, ìṣàkóso z-axis tí a lè ṣètò, àti ìṣàfihàn àkókò gidi láti rí i dájú pé gbogbo ìlù ń fúnni ní agbára ní ibi tí a fẹ́ dé. A tún lè ṣe àtúnṣe ohun èlò náà pẹ̀lú agbára ìlọsókè tàbí agbára ìlọsókè púpọ̀ láti mú kí ìtúpalẹ̀ rọrùn sí i àti láti dín wahala tí ó kù kù. Lóòótọ́, nítorí pé ìtànṣán laser kì í kan ohun èlò náà ní ti ara, ewu ìfọ́ microcrack, ìtẹ̀ríba, tàbí ìfọ́ ojú ilẹ̀ ti dínkù gidigidi.
Èyí mú kí ọ̀nà títẹ̀ tí a fi lésà gbé kalẹ̀ jẹ́ ohun tó ń yí eré padà, pàápàá jùlọ ní àwọn ibi tí a ti nílò àwọn wáfárì onípele ultra-flat, ultra-tinrin pẹ̀lú sub-micron TTV (Total Sickness Variation).
Àwọn ohun èlò ìdìde laser semiconductor
| Gígùn ìgbì | IR/SHG/THG/FHG |
|---|---|
| Fífẹ̀ Pulse | Nanosecond, Picosecond, Femtosecond |
| Ètò Ìṣípààrọ̀ | Ètò opitika tí a ti ṣe àtúnṣe tàbí ètò opitika Galvano |
| Ipele XY | 500 mm × 500 mm |
| Ibiti Iṣiṣẹ naa wa | 160 mm |
| Iyara Iṣipopada | Àṣejù 1,000 mm/sẹ́ẹ́kì |
| Àtúnṣe | ±1 μm tabi kere si |
| Ipese Ipo pipe: | ±5 μm tabi kere si |
| Ìwọ̀n Wafer | 2–6 inches tabi ti a ṣe adani |
| Iṣakoso | Windows 10, 11 àti PLC |
| Folti Ipese Agbara | AC 200 V ±20 V, Ìpele kan ṣoṣo, 50/60 kHz |
| Awọn Iwọn Ita | 2400 mm (W) × 1700 mm (D) × 2000 mm (H) |
| Ìwúwo | 1,000 kg |
Awọn Ohun elo Ile-iṣẹ ti Awọn Ẹrọ Lift-Off Laser
Ohun èlò ìdìde laser semiconductor ń yí bí a ṣe ń pèsè àwọn ohun èlò káàkiri ọ̀pọ̀lọpọ̀ agbègbè semiconductor padà kíákíá:
- Awọn Ẹrọ Agbara GaN Inaro ti Ẹrọ Lift-Off Laser
Gbígbé àwọn fíìmù GaN-on-GaN tín-tín-tín láti inú àwọn ingots tó pọ̀ ń jẹ́ kí àwọn ìlànà ìdarí inaro àti àtúnlo àwọn ohun èlò tó wọ́n ní iye owó.
- SiC Wafer Thinning fun Schottky ati awọn ẹrọ MOSFET
Ó dín sisanra fẹlẹfẹlẹ ẹ̀rọ kù nígbàtí ó ń pa ààlà ìpìlẹ̀ mọ́ — ó dára fún àwọn ẹ̀rọ itanna agbára tí ó ń yípadà kíákíá.
- LED àti Àwọn Ohun Èlò Ìfihàn tí a fi ṣe Sapphire ti Ohun Èlò Lílesá
Ó ń mú kí ìyàsọ́tọ̀ tó munadoko láàárín àwọn ìpele ẹ̀rọ láti inú àwọn ìpele sapphire boules láti ṣe àtìlẹ́yìn fún iṣẹ́-ṣíṣe micro-LED tín-ín-rín, tí a ṣe àtúnṣe sí i ní ooru.
- III-V Imọ-ẹrọ Ohun elo ti Ẹrọ Lift-Off Laser
Ó ń ṣe ìrànlọ́wọ́ fún ìyàsọ́tọ̀ àwọn ìpele GaAs, InP, àti AlGaN fún ìṣọ̀kan optoelectronic tó ti ní ìlọsíwájú.
- Ìṣẹ̀dá Ẹ̀rọ Ìṣiṣẹ́ Ààbò àti Ẹ̀rọ Ìdámọ̀ràn Tín-Wafer
Ó ń ṣe àwọn ìpele iṣẹ́ tín-tín fún àwọn sensọ̀ titẹ, àwọn accelerometers, tàbí àwọn photodiodes, níbi tí ìwọ̀nba jẹ́ ìdènà iṣẹ́.
- Awọn ẹrọ itanna ti o rọ ati ti o han gbangba
Ó ń pèsè àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ tín-tín tó yẹ fún àwọn ìfihàn tó rọrùn, àwọn àyíká tí a lè wọ̀, àti àwọn fèrèsé olóye tó hàn gbangba.
Nínú ọ̀kọ̀ọ̀kan àwọn agbègbè wọ̀nyí, Semiconductor Laser Lift-Off Equipment kó ipa pàtàkì nínú mímú kí a dínkù síi, àtúnlo ohun èlò, àti ìrọ̀rùn iṣẹ́.
Àwọn Ìbéèrè Tí A Ń Béèrè Lóòrèkóòrè (FAQ) nípa Ẹ̀rọ Lílọ Lésà
Q1: Kí ni sisanra tó kéré jùlọ tí mo lè ṣe nípa lílo ohun èlò ìdìde laser semiconductor?
A1:Lọ́pọ̀ ìgbà, ó máa ń wà láàárín 10-30 microns, ó sinmi lórí ohun èlò náà. Ìlànà náà lè mú kí àwọn àbájáde rẹ̀ rọrùn pẹ̀lú àwọn ètò tí a ṣe àtúnṣe.
Q2: Ṣe a le lo eyi lati ge ọpọlọpọ awọn wafer lati inu ingot kanna?
A2:Bẹ́ẹ̀ni. Ọ̀pọ̀ àwọn oníbàárà ló ń lo ọ̀nà ìyọkúrò lésà láti ṣe ìyọkúrò àwọn ìpele tín-tín púpọ̀ láti inú ingot kan ṣoṣo.
Q3: Awọn ẹya aabo wo ni o wa ninu iṣẹ laser agbara giga?
A3:Àwọn ìdènà ìpele 1, àwọn ètò ìdènà ìdènà, ààbò ìbò, àti ìdènà aládàáṣe jẹ́ ohun tí a ṣe déédéé.
Q4: Báwo ni ètò yìí ṣe rí ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn gígé wáyà dáyámọ́ǹdì ní ti iye owó rẹ̀?
A4:Bó tilẹ̀ jẹ́ pé capex àkọ́kọ́ lè ga jù bẹ́ẹ̀ lọ, gbígbé lésà kúrò yóò dín iye owó tí a lè lò kù, ìbàjẹ́ ohun èlò, àti àwọn ìgbésẹ̀ lẹ́yìn ìṣiṣẹ́ kù gidigidi — èyí yóò dín iye owó gbogbo ohun ìní (TCO) kù fún ìgbà pípẹ́.
Q5: Ṣé ìlànà náà lè yípadà sí ìwọ̀n ingots 6-inch tàbí 8-inch?
A5:Dájúdájú. Pẹpẹ náà ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ohun èlò tó tó 12-inch pẹ̀lú ìpínkiri ìràwọ̀ kan náà àti àwọn ìpele ìṣípo ńlá.
Nipa re
XKH jẹ́ amọ̀jọ̀gbọ́n nínú ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga, ìṣẹ̀dá, àti títà àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì optíkì pàtàkì àti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì tuntun. Àwọn ọjà wa ń ṣiṣẹ́ fún ẹ̀rọ itanna optíkì, ẹ̀rọ itanna oníbàárà, àti àwọn ológun. A ń pèsè àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ Sapphire optíkì, àwọn ìbòrí lẹ́ǹsì fóònù alágbéká, àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ sémíkà, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, àti àwọn wafers crystal semiconductor. Pẹ̀lú ìmọ̀ tó ní ìmọ̀ àti àwọn ohun èlò tó ti pẹ́, a tayọ nínú ṣíṣe àwọn ohun èlò tí kì í ṣe déédé, a ń gbìyànjú láti jẹ́ ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga tó ń lo ohun èlò optoelectronic.
