SiC seramiki Chuck atẹ seramiki afamora agolo machining ti adani
Awọn abuda ohun elo:
1.High líle: awọn Mohs líle ti silikoni carbide ni 9.2-9.5, keji nikan lati Diamond, pẹlu lagbara yiya resistance.
2. Imudaniloju ti o ga julọ: imudani ti o gbona ti ohun alumọni carbide jẹ giga bi 120-200 W / m · K, eyi ti o le yọ ooru kuro ni kiakia ati pe o dara fun ayika otutu otutu.
3. Alasọdipupo imugboroja igbona kekere: Ohun elo imugboroja silikoni carbide gbona jẹ kekere (4.0-4.5 × 10⁻⁶ / K), tun le ṣetọju iduroṣinṣin iwọn ni iwọn otutu giga.
4. Kemikali iduroṣinṣin: silikoni carbide acid ati alkali ipata resistance, o dara fun lilo ninu kemikali corrosive ayika.
5. Agbara ẹrọ ti o ga julọ: carbide silikoni ni agbara fifun giga ati agbara titẹ, ati pe o le duro ni aapọn ẹrọ nla.
Awọn ẹya:
1.In awọn ile-iṣẹ semikondokito, awọn wafers ti o nipọn pupọ nilo lati gbe sori ago igbale igbale, a ti lo ifasilẹ igbale lati ṣe atunṣe awọn wafers, ati ilana ti fifa, tinrin, fifọ, fifọ ati gige ni a ṣe lori awọn wafers.
2.Silicon carbide sucker ni o ni itọsi igbona ti o dara, o le fa kikuru akoko gbigbọn ati mimu, mu ilọsiwaju iṣelọpọ ṣiṣẹ.
3.Silicon carbide vacuum sucker tun ni o ni o dara acid ati alkali ipata resistance.
4.Compared with the traditional corundum carrier plate, shorten the loading and unloading alapapo ati itutu akoko, mu awọn iṣẹ ṣiṣe; Ni akoko kanna, o le dinku yiya laarin awọn apẹrẹ oke ati isalẹ, ṣetọju deede ọkọ ofurufu ti o dara, ati fa igbesi aye iṣẹ naa pọ si nipa 40%.
5.Awọn ohun elo ti o yẹ jẹ kekere, iwuwo ina. O rọrun fun awọn oniṣẹ lati gbe awọn pallets, idinku eewu ijamba ijamba ti o fa nipasẹ awọn iṣoro gbigbe nipasẹ iwọn 20%.
6.Size: iwọn ila opin ti o pọju 640mm; Fifẹ: 3um tabi kere si
Aaye ohun elo:
1. Semikondokito ẹrọ
●Ṣiṣe wafer:
Fun imuduro wafer ni fọtolithography, etching, ifisilẹ fiimu tinrin ati awọn ilana miiran, ni idaniloju iṣedede giga ati aitasera ilana. Iwọn otutu giga rẹ ati resistance ipata jẹ o dara fun awọn agbegbe iṣelọpọ semikondokito lile.
● Idagbasoke Epitaxial:
Ni SiC tabi GaN epitaxial idagbasoke, bi awọn kan ti ngbe lati ooru ati ki o fix wafers, aridaju iwọn otutu uniformity ati gara ni awọn iwọn otutu ti o ga, imudarasi iṣẹ ẹrọ.
2. Photoelectric ẹrọ
● LED iṣelọpọ:
Ti a lo lati ṣe atunṣe oniyebiye tabi sobusitireti SiC, ati bi alapapo alapapo ni ilana MOCVD, lati rii daju isokan ti idagbasoke epitaxial, mu ilọsiwaju itanna LED ṣiṣẹ daradara ati didara.
●Laser diode:
Gẹgẹbi imuduro pipe-giga, titunṣe ati sobusitireti alapapo lati rii daju iduroṣinṣin iwọn otutu ilana, mu agbara iṣelọpọ pọ si ati igbẹkẹle ti diode lesa.
3. Machining konge
● Ṣiṣẹda paati opiti:
O ti wa ni lo fun ojoro konge irinše bi opitika tojú ati Ajọ lati rii daju ga konge ati kekere idoti nigba processing, ati ki o jẹ dara fun ga-kikankikan machining.
●Ṣiṣẹ́ seramiki:
Gẹgẹbi imuduro iduroṣinṣin to gaju, o dara fun ẹrọ titọ ti awọn ohun elo seramiki lati rii daju pe iṣiṣẹ ẹrọ ati aitasera labẹ iwọn otutu giga ati agbegbe ibajẹ.
4. Imọ adanwo
● Idanwo iwọn otutu giga:
Gẹgẹbi ẹrọ imuduro apẹẹrẹ ni awọn agbegbe iwọn otutu ti o ga, o ṣe atilẹyin awọn adanwo iwọn otutu ti o ga ju 1600°C lati rii daju iṣọkan iwọn otutu ati iduroṣinṣin ayẹwo.
● Idanwo igbale:
Bi apẹẹrẹ ojoro ati alapapo ti ngbe ni igbale ayika, lati rii daju awọn išedede ati repeatability ti awọn ṣàdánwò, o dara fun igbale bo ati ooru itoju.
Awọn alaye imọ-ẹrọ:
| (ohun-ini ohun elo) | (Ẹyọ) | (sic) | |
| (Akoonu SiC) |
| (Wt)% | >99 |
| (Iwọn ọkà ni aropin) |
| micron | 4-10 |
| (iwuwo) |
| kg/dm3 | > 3.14 |
| (Porosity ti o han gbangba) |
| Vo1% | <0.5 |
| (líle Vickers) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| * (Agbara Flexural) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Agbara titẹ) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Elastic Modulu) | 20ºC | GPA | 420 |
| (Egugun lile) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (Iwa-ara gbona) | 20°C | W/(m*K) | 160 |
| (Atako) | 20°C | Ohm.cm | 106-108 |
|
| a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| oºC | 1700 |
Pẹlu awọn ọdun ti ikojọpọ imọ-ẹrọ ati iriri ile-iṣẹ, XKH ni anfani lati ṣe deede awọn ipilẹ bọtini bii iwọn, ọna alapapo ati apẹrẹ adsorption igbale ti chuck ni ibamu si awọn iwulo pataki ti alabara, ni idaniloju pe ọja naa ni ibamu daradara si ilana alabara. SiC siliki carbide seramiki chucks ti di awọn ohun elo ti ko ṣe pataki ni sisẹ wafer, idagbasoke epitaxial ati awọn ilana bọtini miiran nitori imudara igbona ti o dara julọ, iduroṣinṣin otutu giga ati iduroṣinṣin kemikali. Paapa ni iṣelọpọ ti awọn ohun elo semikondokito iran-kẹta gẹgẹbi SiC ati GaN, ibeere fun ohun alumọni carbide seramiki chucks tẹsiwaju lati dagba. Ni ọjọ iwaju, pẹlu idagbasoke iyara ti 5G, awọn ọkọ ina mọnamọna, oye atọwọda ati awọn imọ-ẹrọ miiran, awọn ifojusọna ohun elo ti awọn chucks seramiki silikoni carbide ni ile-iṣẹ semikondokito yoo gbooro sii.
Alaye aworan atọka
