SiC seramiki opin ipa fifun apa fun gbigbe wafer
SiC seramiki opin effector Áljẹbrà
SiC (Silicon Carbide) seramiki opin-ipa jẹ paati pataki ni awọn ọna mimu wafer pipe-giga ti a lo ninu iṣelọpọ semikondokito ati awọn agbegbe microfabrication ilọsiwaju. Imọ-ẹrọ lati pade awọn ibeere ibeere ti ultra-mimọ, iwọn otutu giga, ati awọn agbegbe iduroṣinṣin to gaju, ipa-ipari amọja pataki yii ṣe idaniloju igbẹkẹle ati gbigbe gbigbe-ọfẹ ti kotimọ ti awọn wafers lakoko awọn igbesẹ iṣelọpọ bọtini bii lithography, etching, ati ifisilẹ.
Lilo awọn ohun-ini ohun elo ti o ga julọ ti ohun alumọni ohun alumọni-gẹgẹbi imudara igbona giga, lile lile, inertness kemikali ti o dara julọ, ati imugboroja igbona ti o kere ju-ipari-ipari seramiki SiC nfunni lile ẹrọ ti ko ni ibamu ati iduroṣinṣin iwọn paapaa labẹ gigun kẹkẹ igbona iyara tabi ni awọn iyẹwu ilana ibajẹ. Iran kekere patiku rẹ ati awọn abuda resistance pilasima jẹ ki o baamu ni pataki fun yara mimọ ati awọn ohun elo sisẹ igbale, nibiti mimu iduroṣinṣin dada wafer ati idinku idoti patiku jẹ pataki julọ.
SiC seramiki opin ipa Ohun elo
1. Semikondokito wafer mimu
Awọn olupilẹṣẹ ipari seramiki SiC jẹ lilo pupọ ni ile-iṣẹ semikondokito fun mimu awọn wafer ohun alumọni lakoko iṣelọpọ adaṣe. Awọn olupilẹṣẹ ipari wọnyi ni igbagbogbo gbe sori awọn apa roboti tabi awọn ọna gbigbe igbale ati pe a ṣe apẹrẹ lati gba awọn wafer ti awọn titobi lọpọlọpọ bii 200mm ati 300mm. Wọn ṣe pataki ninu awọn ilana pẹlu Kemikali Vapor Deposition (CVD), Ifilọlẹ Vapor Ti ara (PVD), etching, ati itankale—nibiti awọn iwọn otutu giga, awọn ipo igbale, ati awọn gaasi ibajẹ jẹ wọpọ. Atako igbona alailẹgbẹ ti SiC ati iduroṣinṣin kemikali jẹ ki o jẹ ohun elo pipe lati koju iru awọn agbegbe lile laisi ibajẹ.
2. Cleanroom ati Igbale ibamu
Ninu yara mimọ ati awọn eto igbale, nibiti idoti patiku gbọdọ dinku, awọn ohun elo amọ SiC nfunni awọn anfani pataki. Awọn ohun elo ti ipon, dan dada koju patiku iran, ran bojuto wafer iyege nigba gbigbe. Eyi jẹ ki awọn ipa ipari SiC ni pataki ni ibamu daradara fun awọn ilana to ṣe pataki bi iwọn Ultraviolet Lithography (EUV) ati Deposition Layer Atomic (ALD), nibiti mimọ jẹ pataki. Pẹlupẹlu, SiC's kekere itusilẹ ati giga resistance pilasima ṣe idaniloju iṣẹ igbẹkẹle ninu awọn iyẹwu igbale, gigun igbesi aye awọn irinṣẹ ati idinku igbohunsafẹfẹ itọju.
3. Ga-konge ipo Systems
Itọkasi ati iduroṣinṣin jẹ pataki ni awọn eto mimu wafer ilọsiwaju, pataki ni metrology, ayewo, ati ohun elo titete. Awọn ohun elo seramiki SiC ni olusọdipúpọ kekere pupọ ti imugboroosi gbona ati lile giga, eyiti o gba laaye ipa ipari lati ṣetọju iṣedede igbekalẹ rẹ paapaa labẹ gigun kẹkẹ gbona tabi fifuye ẹrọ. Eyi ṣe idaniloju pe awọn wafers wa ni deede ni deede lakoko gbigbe, idinku eewu ti awọn scratches micro-scratches, aiṣedeede, tabi awọn aṣiṣe wiwọn — awọn nkan ti o ṣe pataki pupọ si ni awọn apa ilana ilana sub-5nm.
SiC seramiki opin ipa Properties
1. Ga darí Agbara ati líle
Awọn ohun elo seramiki SiC ni agbara ẹrọ alailẹgbẹ, pẹlu agbara iyipada nigbagbogbo ju 400 MPa ati awọn iye lile lile Vickers loke 2000 HV. Eyi jẹ ki wọn ni sooro gaan si aapọn ẹrọ, ipa, ati yiya, paapaa lẹhin lilo iṣẹ ṣiṣe gigun. Rigiditi giga ti SiC tun dinku iṣipopada lakoko awọn gbigbe wafer iyara-giga, ni idaniloju deede ati ipo atunṣe.
2. O tayọ Gbona Iduroṣinṣin
Ọkan ninu awọn ohun-ini ti o niyelori julọ ti awọn ohun-elo SiC ni agbara wọn lati koju awọn iwọn otutu ti o ga pupọ-nigbagbogbo to 1600 ° C ni awọn agbegbe inert-laisi sisọnu iduroṣinṣin ẹrọ. Alasọdipalẹ kekere wọn ti imugboroja igbona (~ 4.0 x 10⁻⁶ / K) ṣe idaniloju iduroṣinṣin iwọn labẹ gigun kẹkẹ gbona, ṣiṣe wọn jẹ apẹrẹ fun awọn ohun elo bii CVD, PVD, ati annealing otutu otutu.
SiC seramiki opin ipa Q&A
Q: Ohun elo wo ni a lo ni ipa opin wafer?
A:Awọn olupilẹṣẹ ipari Wafer jẹ igbagbogbo lati awọn ohun elo ti o funni ni agbara giga, iduroṣinṣin gbona, ati iran patiku kekere. Lara awọn wọnyi, Silicon Carbide (SiC) seramiki jẹ ọkan ninu awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju julọ ati ti o fẹ. Awọn ohun elo seramiki SiC jẹ lile pupọ, iduroṣinṣin gbona, inert kemikali, ati sooro lati wọ, ti o jẹ ki wọn jẹ apẹrẹ fun mimu awọn wafer ohun alumọni elege ni yara mimọ ati awọn agbegbe igbale. Ti a ṣe afiwe si quartz tabi awọn irin ti a bo, SiC nfunni ni iduroṣinṣin iwọn giga labẹ awọn iwọn otutu giga ati pe ko ta awọn patikulu silẹ, eyiti o ṣe iranlọwọ lati yago fun idoti.
