SiC seramiki awo / atẹ fun 4inch 6inch wafer dimu fun ICP

Apejuwe kukuru:

Awo seramiki SiC jẹ ẹya paati iṣẹ ṣiṣe giga ti a ṣe lati inu Silicon Carbide mimọ-giga, ti a ṣe apẹrẹ fun lilo ni igbona pupọ, kemikali, ati awọn agbegbe ẹrọ. Olokiki fun líle ailẹgbẹ rẹ, adaṣe igbona, ati resistance ipata, awo SiC naa ni lilo pupọ bi agbẹru wafer, susceptor, tabi paati igbekale ni semikondokito, LED, fọtovoltaic, ati awọn ile-iṣẹ afẹfẹ.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Awọn ẹya ara ẹrọ

SiC seramiki awo Áljẹbrà

Pẹlu iduroṣinṣin igbona to dayato si 1600 ° C ati resistance to dara julọ si awọn gaasi ifaseyin ati awọn agbegbe pilasima, awo SiC ṣe idaniloju iṣẹ ṣiṣe deede lakoko etching iwọn otutu giga, fifisilẹ, ati awọn ilana itankale. Ipon rẹ, microstructure ti ko ni la kọja dinku iran patiku, jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun awọn ohun elo mimọ-olekenka ni igbale tabi awọn eto mimọ.

SiC seramiki awo Ohun elo

1. Semikondokito Manufacturing

Awọn awo seramiki SiC ni a maa n lo nigbagbogbo bi awọn gbigbe wafer, awọn ifaramọ, ati awọn abọ ẹsẹ ni awọn ohun elo iṣelọpọ semikondokito bii CVD (Deposition Vapor Kemikali), PVD (Deposition Vapor Ti ara), ati awọn eto etching. Imudara igbona ti o dara julọ ati imugboroja igbona kekere gba wọn laaye lati ṣetọju pinpin iwọn otutu aṣọ, eyiti o ṣe pataki fun sisẹ wafer pipe-giga. Idaduro SiC si awọn gaasi ibajẹ ati awọn pilasima ṣe idaniloju agbara ni awọn agbegbe lile, ṣe iranlọwọ lati dinku ibajẹ patiku ati itọju ohun elo.

2. LED Industry - ICP Etching

Ninu eka iṣelọpọ LED, awọn awo SiC jẹ awọn paati bọtini ni awọn eto etching ICP (Plasma Inductively Coupled). Ṣiṣẹ bi awọn dimu wafer, wọn pese ipilẹ iduroṣinṣin ati igbona gbona lati ṣe atilẹyin sapphire tabi awọn wafers GaN lakoko sisẹ pilasima. Idaabobo pilasima ti o dara julọ, fifẹ dada, ati iduroṣinṣin onisẹpo ṣe iranlọwọ rii daju pe iṣedede etching giga ati isokan, ti o yori si alekun ikore ati iṣẹ ẹrọ ni awọn eerun LED.

3. Photovoltaics (PV) ati Solar Energy

Awọn awo seramiki SiC tun jẹ lilo ninu iṣelọpọ sẹẹli oorun, ni pataki lakoko sisọ ni iwọn otutu giga ati awọn igbesẹ didanu. Inertness wọn ni awọn iwọn otutu ti o ga ati agbara lati koju ijakadi rii daju ṣiṣe deede ti awọn wafers ohun alumọni. Ni afikun, eewu ibajẹ kekere wọn jẹ pataki fun mimu ṣiṣe ti awọn sẹẹli fọtovoltaic ṣiṣẹ.

SiC seramiki awo Properties

1. Iyatọ Mechanical Agbara ati Lile

Awọn awo seramiki SiC ṣe afihan agbara ẹrọ ti o ga pupọ, pẹlu agbara iyipada aṣoju ti o kọja 400 MPa ati lile Vickers ti o de> 2000 HV. Eyi jẹ ki wọn ni sooro gaan si yiya ẹrọ, abrasion, ati abuku, ni idaniloju igbesi aye iṣẹ pipẹ paapaa labẹ ẹru giga tabi gigun kẹkẹ igbona tun.

2. Giga Gbona Conductivity

SiC ni o ni o tayọ gbona iba ina elekitiriki (ni deede 120-200 W/m · K), gbigba o lati boṣeyẹ pin ooru kọja awọn oniwe-dada. Ohun-ini yii ṣe pataki ni awọn ilana bii etching wafer, ifisilẹ, tabi sisọpọ, nibiti iṣọkan iwọn otutu kan taara ikore ọja ati didara.

3. Superior Gbona iduroṣinṣin

Pẹlu aaye yo ti o ga (2700°C) ati onisọdipúpọ kekere ti imugboroosi igbona (4.0 × 10⁻⁶/K), awọn awo seramiki SiC ṣetọju deede iwọn ati iduroṣinṣin igbekalẹ labẹ alapapo iyara ati awọn iyipo itutu agbaiye. Eyi jẹ ki wọn jẹ apẹrẹ fun awọn ohun elo ni awọn ileru iwọn otutu giga, awọn iyẹwu igbale, ati awọn agbegbe pilasima.

Imọ-ini
Atọka	Ẹyọ	Iye
Orukọ ohun elo		Ifesi Sintered Silicon Carbide	Pressureless Sintered Silicon Carbide	Ohun alumọni Carbide ti a tunṣe
Tiwqn		RBSiC	SSiC	R-SiC
Olopobobo iwuwo	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
Agbara Flexural	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Agbara Imudara	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Lile	Knoop	2700	2800	/
Kikan Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Gbona Conductivity	W/mk	95	120	23
olùsọdipúpọ ti Gbona Imugboroosi	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Ooru pato	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Iwọn otutu ti o pọju ni afẹfẹ	℃	1200	1500	1600
Modulu rirọ	Gpa	360	410	240

SiC seramiki awo Q&A

Q: Kini awọn ohun-ini ti awo-ara silikoni carbide?

A: Awọn apẹrẹ silikoni carbide (SiC) ni a mọ fun agbara giga wọn, lile, ati iduroṣinṣin gbona. Wọn funni ni adaṣe igbona ti o dara julọ ati imugboroja igbona kekere, aridaju iṣẹ ṣiṣe igbẹkẹle labẹ awọn iwọn otutu to gaju. SiC tun jẹ inert kemikali, sooro si acids, alkalis, ati awọn agbegbe pilasima, ti o jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun semikondokito ati sisẹ LED. Ipon rẹ, dada didan dinku iran patiku, mimu ibaramu yara mimọ. Awọn awo SiC jẹ lilo pupọ bi awọn gbigbe wafer, awọn ifaramọ, ati awọn paati atilẹyin ni iwọn otutu giga ati awọn agbegbe ibajẹ kọja semikondokito, fọtovoltaic, ati awọn ile-iṣẹ afẹfẹ.