Àwo/àwo seramiki SiC fún ohun ìdìmú wafer 4inch 6inch fún ICP

Àwo/àwo seramiki SiC fún ohun èlò ìdìmú wafer 4inch 6inch fún ICP Àwòrán tí a fi hàn

Àpèjúwe Kúkúrú:

Àwo seramiki SiC jẹ́ ohun èlò tó ń ṣiṣẹ́ dáadáa tí a fi Silicon Carbide tó mọ́ tónítóní ṣe, tí a ṣe fún lílò ní àyíká ooru tó le koko, kẹ́míkà, àti ẹ̀rọ. Nítorí pé ó ní agbára tó ga, agbára ìgbóná, àti agbára ìdènà ìbàjẹ́, àwo SiC náà jẹ́ ohun èlò tó ń gbé wafer, susceptor, tàbí structural component nínú àwọn ilé iṣẹ́ semiconductor, LED, photovoltaic, àti afẹ́fẹ́.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Àwọn ẹ̀yà ara

Àkótán àwo seramiki SiC

Pẹ̀lú ìdúróṣinṣin ooru tó ga tó 1600°C àti ìdènà tó dára sí àwọn gáàsì tó ń ṣiṣẹ́ dáadáa àti àyíká plasma, àwo SiC náà ń rí i dájú pé iṣẹ́ rẹ̀ dúró ṣinṣin nígbà tí a bá ń fi ooru gbígbóná, tí a ń kó sínú ìdọ̀tí, àti tí a ń tàn káàkiri. Ìrísí rẹ̀ tó wúwo, tí kò ní ihò, ń dín ìṣẹ̀dá àwọn èròjà kù, èyí sì mú kí ó dára fún lílo àwọn ohun èlò tó mọ́ tónítóní nínú àwọn ibi ìfọṣọ tàbí yàrá ìwẹ̀nùmọ́.

Ohun elo awo seramiki SiC

1. Ṣíṣe Semiconductor

Àwọn àwo seramiki SiC ni a sábà máa ń lò gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ wafer, àwọn ohun èlò ìfàmọ́ra, àti àwọn àwo ìpele nínú àwọn ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor bíi CVD (Chemical Vapor Deposition), PVD (Physical Vapor Deposition), àti àwọn ètò ìfọ́. Ìgbékalẹ̀ ooru tó dára àti ìfàsẹ́yìn ooru tó kéré jẹ́ kí wọ́n lè máa tọ́jú ìpele otútù tó dọ́gba, èyí tó ṣe pàtàkì fún ṣíṣe wafer tó péye. Ìdènà SiC sí àwọn gáàsì àti plasma tó ń pa nǹkan run ń jẹ́ kí ó pẹ́ ní àwọn àyíká tó le koko, èyí sì ń dín ìbàjẹ́ pàtákì àti ìtọ́jú ohun èlò kù.

2. Ile-iṣẹ LED - ICP Etching

Nínú ẹ̀ka iṣẹ́ ẹ̀rọ LED, àwọn àwo SiC jẹ́ àwọn ohun pàtàkì nínú àwọn ètò ìfọṣọ ICP (Inductively Coupled Plasma). Gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun tí ó ní wafer holders, wọ́n pèsè pẹpẹ tí ó dúró ṣinṣin àti tí ó lágbára láti ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn wafer sapphire tàbí GaN nígbà tí a bá ń ṣe iṣẹ́ plasma. Ìdènà plasma wọn tí ó dára, ìdúróṣinṣin ojú ilẹ̀, àti ìdúróṣinṣin oníwọ̀n ń ran lọ́wọ́ láti rí i dájú pé ìfọṣọ náà péye àti pé ó bára mu, èyí tí ó ń yọrí sí ìbísí àti iṣẹ́ ẹ̀rọ nínú àwọn chips LED.

3. Awọn fọtovoltaics (PV) ati Agbara Oorun

A tun lo awọn awo seramiki SiC ninu iṣelọpọ sẹẹli oorun, paapaa lakoko awọn igbesẹ sintering otutu giga ati annealing. Ailera wọn ni awọn iwọn otutu giga ati agbara lati koju yiyipada rii daju pe a ṣe ilana wafers silicon nigbagbogbo. Ni afikun, eewu idoti kekere wọn ṣe pataki fun mimu ṣiṣe awọn sẹẹli photovoltaic ṣiṣẹ.

Àwọn Ohun-ini Àwo Seramiki SiC

1. Agbara ati Lile ti o tayọ fun ẹrọ

Àwọn àwo seramiki SiC ní agbára ẹ̀rọ gíga gan-an, pẹ̀lú agbára ìfọ́mọ́ra tó wọ́pọ̀ tó ju 400 MPa lọ àti líle Vickers tó ju 2000 HV lọ. Èyí mú kí wọ́n má lè fara da ìbàjẹ́ ẹ̀rọ, ìfọ́mọ́ra àti ìbàjẹ́, èyí tó ń mú kí wọ́n máa ṣiṣẹ́ fún ìgbà pípẹ́ kódà lábẹ́ ẹrù gíga tàbí ìyípo ooru tó ń wáyé leraléra.

2. Ìgbékalẹ̀ Ooru Gíga

SiC ní agbára ìgbóná tó dára gan-an (nígbà gbogbo 120–200 W/m·K), èyí tó ń jẹ́ kí ó pín ooru káàkiri ojú rẹ̀. Ohun ìní yìí ṣe pàtàkì nínú àwọn iṣẹ́ bíi fífẹ́ wafer, fífi sínú ilé, tàbí sínẹ́rì, níbi tí ìṣọ̀kan ìwọ̀n otútù bá ara mu ní ipa lórí ìbísí àti dídára ọjà náà.

3. Iduroṣinṣin Ooru to gaju

Pẹ̀lú ojú ìyọ́ gíga (2700°C) àti ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru kékeré (4.0 × 10⁻⁶/K), àwọn àwo seramiki SiC ń pa ìṣedéédé oníwọ̀n àti ìdúróṣinṣin ìṣètò mọ́ lábẹ́ àwọn ìyípo ìgbóná àti ìtútù kíákíá. Èyí mú kí wọ́n dára fún lílò nínú àwọn ilé ìgbóná ooru gíga, àwọn yàrá afẹ́fẹ́, àti àyíká plasma.

Àwọn Ohun-ìní Ìmọ̀-ẹ̀rọ
Àtọ́ka	Ẹyọ kan	Iye
Orúkọ Ohun Èlò		Àtúnṣe Sintered Silicon Carbide	Silikoni Kabọidi ti ko ni titẹ	Àtúnṣe Silikoni Carbide
Àkójọpọ̀		RBSiC	SSiC	R-SiC
Ìwọ̀n Púpọ̀	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
Agbára Rírọ̀	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Agbára Ìfúnpọ̀	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Líle	Knoop	2700	2800	/
Ìfaradà tó lágbára	MPa m1/2	4.5	4	/
Ìgbékalẹ̀ Ooru	W/mk	95	120	23
Isodipupo ti Imugboroosi Ooru	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Ooru Kan pato	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Iwọn otutu ti o pọ julọ ninu afẹfẹ	℃	1200	1500	1600
Modulu Rirọ	Gpa	360	410	240

Àwo seramiki SiC Ìbéèrè àti Ìdáhùn

Q: Kini awọn ohun-ini ti awo silikoni carbide?

A: Àwọn àwo Silikoni carbide (SiC) ni a mọ̀ fún agbára gíga wọn, líle wọn, àti ìdúróṣinṣin ooru wọn. Wọ́n ní agbára ìgbóná ooru tó dára àti ìfẹ̀sí ooru tó kéré, èyí tó ń rí i dájú pé iṣẹ́ wọn ṣeé gbẹ́kẹ̀lé lábẹ́ àwọn iwọn otutu tó le koko. SiC náà jẹ́ aláìlera ní ti kẹ́míkà, ó ń kojú àwọn acids, alkalis, àti àwọn àyíká plasma, èyí tó mú kí ó dára fún ṣíṣe semiconductor àti LED. Ojú rẹ̀ tó wúwo, tó sì mọ́lẹ̀ ń dín ìṣẹ̀dá pàtákì kù, ó sì ń mú kí yàrá mímọ́ báramu. Àwọn àwo SiC ni a ń lò fún àwọn ohun èlò wafer, susceptors, àti àwọn ohun èlò ìrànlọ́wọ́ nínú àwọn àyíká tó gbóná àti tó ń pa ara run káàkiri àwọn ilé iṣẹ́ semiconductor, photovoltaic, àti afẹ́fẹ́.