SiC seramiki atẹ awo lẹẹdi pẹlu CVD SiC bo fun ẹrọ

Ohun alumọni carbide seramiki ti wa ni ko nikan lo ninu awọn tinrin fiimu iwadi oro ipele, gẹgẹ bi awọn epitaxy tabi MOCVD, tabi ni wafer processing, ni okan ti awọn wafer ti ngbe Trays fun MOCVD ti wa ni akọkọ tunmọ si awọn iwadi oro ayika, ati ki o wa ni Nitorina gíga sooro si ooru ati corrosion.SiC-ti a bo ẹjẹ tun ni ga gbona iba ina elekitiriki-ini ati ki o tayọ awọn iwọn otutu.

Isọsọ Ọru Kemikali mimọ Silicon Carbide (CVD SiC) awọn gbigbe wafer fun ṣiṣe iwọn otutu giga Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD).

Awọn gbigbe wafer CVD SiC mimọ ga ni pataki si awọn gbigbe wafer ti aṣa ti a lo ninu ilana yii, eyiti o jẹ graphite ati ti a bo pẹlu Layer ti CVD SiC. Awọn gbigbe ti o da lori lẹẹdi ti a bo wọnyi ko le koju awọn iwọn otutu giga (1100 si 1200 iwọn Celsius) ti o nilo fun ifisilẹ GaN ti bulu imọlẹ giga ti ode oni ati LED funfun. Awọn iwọn otutu ti o ga julọ nfa ki a bo lati se agbekale awọn pinhos kekere nipasẹ eyiti awọn kemikali ilana npa graphite nisalẹ. Awọn patikulu lẹẹdi lẹhinna tan kuro ki o ba GaN jẹ, ti o fa ki a rọpo ọkọ ayọkẹlẹ wafer ti a bo.

CVD SiC ni mimọ ti 99.999% tabi diẹ ẹ sii ati pe o ni adaṣe igbona giga ati resistance mọnamọna gbona. Nitorinaa, o le koju awọn iwọn otutu giga ati awọn agbegbe lile ti iṣelọpọ LED imọlẹ giga. O jẹ ohun elo monolithic ti o lagbara ti o de iwuwo imọ-jinlẹ, ṣe agbejade awọn patikulu iwonba, ati ṣafihan ipata ti o ga pupọ ati idena ogbara. Awọn ohun elo le yi opacity ati conductivity lai ni lenu wo ti fadaka impurities. Awọn aruṣẹ wafer jẹ deede awọn inṣi 17 ni iwọn ila opin ati pe o le di 40 2-4 inch wafers.