Graphite awo atẹ seramiki SiC pẹlu ibora CVD SiC fun ẹrọ

A kìí ṣe pé a ń lo àwọn ohun èlò seramiki silikoni carbide ní ìpele ìfipamọ́ fíìmù tinrin nìkan, bíi epitaxy tàbí MOCVD, tàbí nínú ṣíṣe wafer, ní àárín ibi tí a ti kọ́kọ́ fi àwọn àwo wafer carrier fún MOCVD sí àyíká ìfipamọ́, nítorí náà wọ́n jẹ́ aláìlera sí ooru àti ìbàjẹ́ gidigidi. Àwọn ohun èlò tí a fi SiC bo tún ní agbára ìdarí ooru gíga àti àwọn ànímọ́ ìpínkiri ooru tó dára jùlọ.

Àwọn ohun èlò ìfọṣọ oníná tí a fi ń gbé ... (MOCVD) jáde ní ìwọ̀n otútù gíga.

Àwọn ohun èlò ìrù wafer CVD SiC mímọ́ ga ju àwọn ohun èlò ìrù wafer àtọwọ́dá tí a lò nínú ìlànà yìí lọ, èyí tí a fi graphite ṣe tí a sì fi fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ CVD SiC bò. Àwọn ohun èlò ìrù wafer tí a fi graphite bo yìí kò le fara da ooru gíga (1100 sí 1200 degrees Celsius) tí a nílò fún ìtọ́jú GaN ti LED aláwọ̀ búlúù àti funfun tí ó mọ́lẹ̀ lónìí. Ìwọ̀n otútù gíga náà ń mú kí ìbòrí náà ní ihò kéékèèké tí àwọn kẹ́míkà ìṣiṣẹ́ náà fi ń ba graphite tí ó wà ní ìsàlẹ̀ jẹ́. Àwọn èròjà graphite náà yóò wá yọ jáde tí wọ́n sì ba GaN jẹ́, èyí tí yóò sì mú kí a rọ́pò ohun èlò ìrù wafer tí a fi bò.

CVD SiC ní ìmọ́tótó tó 99.999% tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ, ó sì ní ìgbóná ooru tó ga àti ìdènà ìgbóná ooru. Nítorí náà, ó lè fara da àwọn iwọn otutu tó ga àti àyíká líle ti iṣẹ́ ọnà LED tó ní ìmọ́lẹ̀ gíga. Ó jẹ́ ohun èlò monolithic tó lágbára tó dé ìwọ̀n ìmọ̀ ẹ̀rọ, tó ń mú àwọn èròjà díẹ̀ jáde, tó sì ń fi ìpalára àti ìfọ́ra tó ga hàn. Ohun èlò náà lè yí ìbòjú àti ìfaradà padà láìsí àwọn ohun ìdọ̀tí irin. Àwọn ohun èlò wafer sábà máa ń jẹ́ 17 inches ní ìwọ̀n ìlà, wọ́n sì lè gba tó 40 2-4 inches wafers.