SiC seramiki atẹ awo lẹẹdi pẹlu CVD SiC bo fun ẹrọ

SiC seramiki atẹ awo lẹẹdi pẹlu CVD SiC bo fun ohun elo Ifihan Aworan

Apejuwe kukuru:

Shanghai Xinkehui Awọn ohun elo Tuntun Co., Ltd. ṣe agbejade Φ380mm – Φ600mm semikondokito etching disk, disk bearing wafer, silikoni carbide tray, SIC tray, silikoni carbide tray, ICP etching tray, etching tray, silicon carbide purity> 99.9%, SIC tray life service life jẹ igba mẹrin ti atẹ CVD ti o da lori graphite, lilo igba pipẹ laisi ibajẹ, Resistant to FH acid, ipata H2So4 ti o ni idojukọ.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Alaye ọja

ọja Tags

Awọn ohun elo ohun alumọni carbide kii ṣe lilo nikan ni ipele ifisilẹ fiimu tinrin, gẹgẹbi epitaxy tabi MOCVD, tabi ni sisẹ wafer, ni ọkan ninu eyiti awọn atẹ ti ngbe wafer fun MOCVD ti kọkọ tẹriba si agbegbe ifisilẹ, ati nitorinaa o ni sooro pupọ si ooru ati ibajẹ.Awọn ọkọ ayọkẹlẹ ti SiC ti a bo tun ni imudara igbona giga ati awọn ohun-ini pinpin igbona ti o dara julọ.

Isọsọ Ọru Kemikali mimọ Silicon Carbide (CVD SiC) awọn gbigbe wafer fun ṣiṣe iwọn otutu giga Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD).

Awọn gbigbe wafer CVD SiC mimọ ga ni pataki si awọn gbigbe wafer ti aṣa ti a lo ninu ilana yii, eyiti o jẹ graphite ati ti a bo pẹlu Layer ti CVD SiC. Awọn gbigbe ti o da lori lẹẹdi ti a bo wọnyi ko le koju awọn iwọn otutu giga (1100 si 1200 iwọn Celsius) ti o nilo fun ifisilẹ GaN ti bulu imọlẹ giga ti ode oni ati LED funfun. Awọn iwọn otutu ti o ga julọ nfa ki a bo lati se agbekale awọn pinhos kekere nipasẹ eyiti awọn kemikali ilana npa graphite nisalẹ. Awọn patikulu lẹẹdi lẹhinna yọ kuro ki o si ba GaN jẹ, ti o fa ki a rọpo ọkọ wafer ti a bo.

CVD SiC ni mimọ ti 99.999% tabi diẹ ẹ sii ati pe o ni iṣiṣẹ igbona giga ati resistance mọnamọna gbona. Nitorinaa, o le koju awọn iwọn otutu giga ati awọn agbegbe lile ti iṣelọpọ LED imọlẹ giga. O jẹ ohun elo monolithic ti o lagbara ti o de iwuwo imọ-jinlẹ, ṣe agbejade awọn patikulu iwonba, ati ṣafihan ipata ti o ga pupọ ati idena ogbara. Awọn ohun elo le yi opacity ati conductivity lai ni lenu wo ti fadaka impurities. Awọn aruṣẹ wafer jẹ deede awọn inṣi 17 ni iwọn ila opin ati pe o le di 40 2-4 inch wafers.