English

SiC Epitaxial Wafer fun Awọn ẹrọ Agbara – 4H-SiC, N-Iru, Irẹwẹsi Alailẹgbẹ

SiC Epitaxial Wafer fun Awọn Ẹrọ Agbara - 4H-SiC, N-Iru, Aworan Ti Afihan Aṣiṣe Kekere
  • SiC Epitaxial Wafer fun Awọn ẹrọ Agbara – 4H-SiC, N-Iru, Irẹwẹsi Alailẹgbẹ
  • SiC Epitaxial Wafer fun Awọn ẹrọ Agbara – 4H-SiC, N-Iru, Irẹwẹsi Alailẹgbẹ
  • SiC Epitaxial Wafer fun Awọn ẹrọ Agbara – 4H-SiC, N-Iru, Irẹwẹsi Alailẹgbẹ

Apejuwe kukuru:

SiC Epitaxial Wafer wa ni ipilẹ ti awọn ẹrọ semikondokito iṣẹ-giga ti ode oni, paapaa awọn ti a ṣe apẹrẹ fun agbara giga, igbohunsafẹfẹ giga, ati awọn iṣẹ iwọn otutu. Kukuru fun Silicon Carbide Epitaxial Wafer, SiC Epitaxial Wafer kan ni didara didara kan, Layer SiC epitaxial tinrin ti o dagba ni oke olopobobo SiC sobusitireti kan. Lilo imọ-ẹrọ SiC Epitaxial Wafer ti n pọ si ni iyara ni awọn ọkọ ayọkẹlẹ ina, awọn grids smart, awọn ọna agbara isọdọtun, ati oju-ofurufu nitori awọn ohun-ini ti ara ati ẹrọ itanna ti o ga julọ ni akawe si awọn wafer ti o da lori ohun alumọni.


Awọn ẹya ara ẹrọ

Alaye aworan atọka

SiC Epitaxial Wafer-4
SiC Epitaxial Wafer-6 - 副本

Ọrọ Iṣaaju

SiC Epitaxial Wafer wa ni ipilẹ ti awọn ẹrọ semikondokito iṣẹ-giga ti ode oni, paapaa awọn ti a ṣe apẹrẹ fun agbara giga, igbohunsafẹfẹ giga, ati awọn iṣẹ iwọn otutu. Kukuru fun Silicon Carbide Epitaxial Wafer, SiC Epitaxial Wafer kan ni didara didara kan, Layer SiC epitaxial tinrin ti o dagba ni oke olopobobo SiC sobusitireti kan. Lilo imọ-ẹrọ SiC Epitaxial Wafer ti n pọ si ni iyara ni awọn ọkọ ayọkẹlẹ ina, awọn grids smart, awọn ọna agbara isọdọtun, ati oju-ofurufu nitori awọn ohun-ini ti ara ati ẹrọ itanna ti o ga julọ ni akawe si awọn wafer ti o da lori ohun alumọni.

Awọn ilana iṣelọpọ ti SiC Epitaxial Wafer

Ṣiṣẹda SiC Epitaxial Wafer nilo ilana isọdi ikemi ti o ni idari pupọ (CVD). Layer epitaxial jẹ igbagbogbo dagba lori sobusitireti SiC monocrystalline ni lilo awọn gaasi bii silane (SiH₄), propane (C₃H₈), ati hydrogen (H₂) ni awọn iwọn otutu ti o kọja 1500°C. Idagba epitaxial ti iwọn otutu ti o ga julọ ṣe idaniloju titete crystalline ti o dara julọ ati awọn abawọn to kere julọ laarin Layer epitaxial ati sobusitireti.

Ilana naa pẹlu ọpọlọpọ awọn ipele bọtini:

  1. Igbaradi sobusitireti: Wafer ipilẹ SiC ti wa ni mimọ ati didan si didan atomiki.

  2. CVD idagbasoke: Ni a ga-mimọ riakito, ategun fesi lati beebe kan nikan-crystal Layer SiC lori sobusitireti.

  3. Iṣakoso doping: N-type tabi P-type doping ti wa ni idasilẹ lakoko epitaxy lati ṣe aṣeyọri awọn ohun-ini itanna ti o fẹ.

  4. Ayewo ati Metrology: Aworan microscopy, AFM, ati X-ray diffraction ti wa ni lilo lati mọ daju sisanra Layer, doping fojusi, ati abawọn iwuwo.

Kọọkan SiC Epitaxial Wafer ni abojuto ni pẹkipẹki lati ṣetọju awọn ifarada ṣinṣin ni isokan sisanra, fifẹ dada, ati atako. Agbara lati ṣatunṣe awọn aye wọnyi jẹ pataki fun awọn MOSFET foliteji giga, awọn diodes Schottky, ati awọn ẹrọ agbara miiran.

Sipesifikesonu

Paramita Sipesifikesonu
Awọn ẹka Imọ ohun elo, Awọn sobsitireti Crystal Nikan
Polytype 4H
Doping N Iru
Iwọn opin 101 mm
Ifarada Opin ± 5%
Sisanra 0.35 mm
Ifarada Sisanra ± 5%
Primary Flat Gigun 22 mm (± 10%)
TTV (Iyatọ Sisanra Lapapọ) ≤10µm
Ijagun ≤25µm
FWHM ≤30 Arc-aaya
Dada Ipari Rq ≤0.35 nm

Awọn ohun elo ti SiC Epitaxial Wafer

Awọn ọja SiC Epitaxial Wafer jẹ pataki ni awọn apa pupọ:

  • Awọn ọkọ ina (EVS): SiC Epitaxial Wafer-orisun awọn ẹrọ mu powertrain ṣiṣe ati ki o din àdánù.

  • Agbara isọdọtun: Lo ninu inverters fun oorun ati afẹfẹ agbara awọn ọna šiše.

  • Industrial Power Agbari: Mu agbara-igbohunsafẹfẹ ṣiṣẹ, iyipada iwọn otutu giga pẹlu awọn adanu kekere.

  • Aerospace ati olugbeja: Apẹrẹ fun awọn agbegbe lile to nilo awọn semikondokito to lagbara.

  • 5G Awọn ibudo ipilẹAwọn paati SiC Epitaxial Wafer ṣe atilẹyin awọn iwuwo agbara ti o ga julọ fun awọn ohun elo RF.

SiC Epitaxial Wafer ngbanilaaye awọn apẹrẹ iwapọ, yiyi yiyara, ati ṣiṣe iyipada agbara ti o ga julọ ni akawe si awọn wafer silikoni.

Awọn anfani ti SiC Epitaxial Wafer

Imọ-ẹrọ SiC Epitaxial Wafer nfunni awọn anfani pataki:

  1. Ga didenukole Foliteji: withstands foliteji soke si 10 igba ti o ga ju Si wafers.

  2. Gbona Conductivity: SiC Epitaxial Wafer ṣe itọ ooru ni iyara, gbigba awọn ẹrọ laaye lati ṣiṣẹ kula ati diẹ sii ni igbẹkẹle.

  3. Awọn iyara Yiyi to gaju: Isalẹ yi pada adanu jeki ga ṣiṣe ati miniaturization.

  4. Bandgap jakejado: Ṣe idaniloju iduroṣinṣin ni awọn foliteji ti o ga julọ ati awọn iwọn otutu.

  5. Agbara Ohun elo: SiC jẹ inert kemikali ati agbara agbara, apẹrẹ fun awọn ohun elo ti o nbeere.

Awọn anfani wọnyi jẹ ki SiC Epitaxial Wafer jẹ ohun elo yiyan fun iran atẹle ti semikondokito.

FAQ: SiC Epitaxial Wafer

Q1: Kini iyatọ laarin SiC wafer ati SiC Epitaxial Wafer kan?
Wafer SiC kan tọka si sobusitireti olopobobo, lakoko ti SiC Epitaxial Wafer pẹlu Layer doped ti o dagba ni pataki ti a lo ninu iṣelọpọ ẹrọ.

Q2: Awọn sisanra wo wa fun awọn fẹlẹfẹlẹ SiC Epitaxial Wafer?
Awọn fẹlẹfẹlẹ Epitaxial ni igbagbogbo wa lati awọn micrometers diẹ si ju 100 μm, da lori awọn ibeere ohun elo.

Q3: Njẹ SiC Epitaxial Wafer dara fun awọn agbegbe iwọn otutu giga bi?
Bẹẹni, SiC Epitaxial Wafer le ṣiṣẹ ni awọn ipo loke 600°C, ti o ṣe ohun alumọni ni pataki.

Q4: Kini idi ti iwuwo abawọn jẹ pataki ni SiC Epitaxial Wafer?
Iwọn abawọn kekere ṣe ilọsiwaju iṣẹ ẹrọ ati ikore, pataki fun awọn ohun elo foliteji giga.

Q5: Njẹ N-type ati P-type SiC Epitaxial Wafers mejeeji wa?
Bẹẹni, awọn oriṣi mejeeji ni a ṣe ni lilo iṣakoso gaasi dopant deede lakoko ilana epitaxial.

Q6: Kini awọn iwọn wafer jẹ boṣewa fun SiC Epitaxial Wafer?
Awọn iwọn ila opin pẹlu 2-inch, 4-inch, 6-inch, ati siwaju sii 8-inch fun iṣelọpọ iwọn didun giga.

Q7: Bawo ni idiyele SiC Epitaxial Wafer ni ipa ati ṣiṣe?
Lakoko ti o jẹ gbowolori diẹ sii ju ohun alumọni lọ, SiC Epitaxial Wafer dinku iwọn eto ati ipadanu agbara, imudarasi ṣiṣe iye owo lapapọ fun igba pipẹ.

  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

    • Jẹmọ Products

    Kọ ifiranṣẹ rẹ nibi ki o si fi si wa
    Lu tẹ lati wa tabi ESC lati tii