Ileru idagba SiC gara SiC Ingot dagba 4inch 6inch 8inch PTV Lely TSSG LPE ọna idagbasoke
Awọn ọna idagbasoke kirisita akọkọ ati awọn abuda wọn
(1) Ọna Gbigbe Ooru Ti ara (PTV)
Ilana: Ni awọn iwọn otutu ti o ga, awọn ohun elo aise ti SiC n tẹriba sinu ipele gaasi kan, eyiti o jẹ atunlo lẹyin naa lori kristali irugbin.
Awọn ẹya akọkọ:
Iwọn idagba giga (2000-2500 ° C).
Didara to gaju, iwọn nla 4H-SiC ati awọn kirisita 6H-SiC le dagba.
Iwọn idagba naa lọra, ṣugbọn didara gara ga.
Ohun elo: Lilo akọkọ ni semikondokito agbara, awọn ẹrọ RF ati awọn aaye giga-giga miiran.
(2) Lely ọna
Ilana: Awọn kirisita ti dagba nipasẹ sublimation lẹẹkọkan ati isọdọtun ti awọn powders SiC ni awọn iwọn otutu giga.
Awọn ẹya akọkọ:
Ilana idagba ko nilo awọn irugbin, ati iwọn gara jẹ kekere.
Didara gara ga, ṣugbọn ṣiṣe idagbasoke jẹ kekere.
Dara fun iwadii yàrá ati iṣelọpọ ipele kekere.
Ohun elo: Ni akọkọ lo ninu iwadii imọ-jinlẹ ati igbaradi ti awọn kirisita SiC iwọn kekere.
(3) Ọna idagbasoke ojutu Irugbin ti o ga julọ (TSSG)
Ilana: Ninu ojutu otutu-giga, awọn ohun elo aise SiC ntu ati ki o kirisita lori okuta kristali irugbin.
Awọn ẹya akọkọ:
Iwọn otutu idagba jẹ kekere (1500-1800 ° C).
Didara to gaju, abawọn kekere SiC kirisita le dagba.
Iwọn idagba jẹ o lọra, ṣugbọn iṣọkan gara dara.
Ohun elo: Dara fun igbaradi ti awọn kirisita SiC didara giga, gẹgẹbi awọn ẹrọ optoelectronic.
(4) Apọju Ipele Omi (LPE)
Ilana: Ninu ojutu irin olomi, SiC aise ohun elo epitaxial idagbasoke lori sobusitireti.
Awọn ẹya akọkọ:
Iwọn otutu idagba jẹ kekere (1000-1500 ° C).
Iwọn idagbasoke iyara, o dara fun idagbasoke fiimu.
Didara gara ga, ṣugbọn sisanra ti ni opin.
Ohun elo: Ni akọkọ ti a lo fun idagbasoke epitaxial ti awọn fiimu SiC, gẹgẹbi awọn sensọ ati awọn ẹrọ optoelectronic.
Awọn ọna ohun elo akọkọ ti ileru garawa silikoni carbide
Ileru garasi SiC jẹ ohun elo mojuto fun igbaradi awọn kirisita sic, ati awọn ọna ohun elo akọkọ rẹ pẹlu:
Ṣiṣe ẹrọ ẹrọ semikondokito agbara: Ti a lo lati dagba didara 4H-SiC ati awọn kirisita 6H-SiC bi awọn ohun elo sobusitireti fun awọn ẹrọ agbara (bii MOSFETs, diodes).
Awọn ohun elo: awọn ọkọ ina mọnamọna, awọn oluyipada fọtovoltaic, awọn ipese agbara ile-iṣẹ, ati bẹbẹ lọ.
Ṣiṣẹda ẹrọ Rf: Ti a lo lati dagba awọn kirisita SiC alaburuku bi awọn sobusitireti fun awọn ẹrọ RF lati pade awọn iwulo igbohunsafẹfẹ giga ti awọn ibaraẹnisọrọ 5G, radar ati awọn ibaraẹnisọrọ satẹlaiti.
Ṣiṣe ẹrọ ohun elo Optoelectronic: Ti a lo lati dagba awọn kirisita SiC didara-giga bi awọn ohun elo sobusitireti fun awọn LED, awọn aṣawari ultraviolet ati awọn lasers.
Iwadi imọ-jinlẹ ati iṣelọpọ ipele kekere: fun iwadii yàrá ati idagbasoke ohun elo tuntun lati ṣe atilẹyin isọdọtun ati iṣapeye ti imọ-ẹrọ idagbasoke gara SiC.
Ṣiṣe ẹrọ ẹrọ iwọn otutu giga: Ti a lo lati dagba awọn kirisita SiC sooro otutu giga bi ohun elo ipilẹ fun afẹfẹ ati awọn sensọ iwọn otutu giga.
Ohun elo ileru SiC ati awọn iṣẹ ti a pese nipasẹ ile-iṣẹ naa
XKH fojusi lori idagbasoke ati iṣelọpọ ti ohun elo ileru garawa SIC, pese awọn iṣẹ wọnyi:
Awọn ohun elo ti a ṣe adani: XKH n pese awọn ileru idagbasoke ti adani pẹlu orisirisi awọn ọna idagbasoke gẹgẹbi PTV ati TSSG gẹgẹbi awọn ibeere onibara.
Atilẹyin imọ-ẹrọ: XKH n pese awọn alabara pẹlu atilẹyin imọ-ẹrọ fun gbogbo ilana lati ilọsiwaju ilana idagbasoke gara si itọju ohun elo.
Awọn iṣẹ ikẹkọ: XKH pese ikẹkọ iṣẹ-ṣiṣe ati itọnisọna imọ-ẹrọ si awọn onibara lati rii daju pe iṣẹ ṣiṣe ti ẹrọ daradara.
Iṣẹ-lẹhin-tita: XKH n pese idahun ni kiakia lẹhin iṣẹ-tita-tita ati awọn iṣagbega ẹrọ lati rii daju pe ilọsiwaju ti iṣelọpọ onibara.
Silicon carbide gara imọ-ẹrọ idagbasoke (bii PTV, Lely, TSSG, LPE) ni awọn ohun elo pataki ni aaye ti itanna agbara, awọn ẹrọ RF ati optoelectronics. XKH n pese awọn ohun elo ileru SiC to ti ni ilọsiwaju ati awọn iṣẹ ni kikun lati ṣe atilẹyin fun awọn alabara ni iṣelọpọ iwọn nla ti awọn kirisita SiC didara giga ati iranlọwọ fun idagbasoke ile-iṣẹ semikondokito.
Alaye aworan atọka
