SiC sobusitireti 3inch 350um sisanra HPSI iru NOMBA Ite idinwon ite
Awọn ohun-ini
Paramita | Ipele iṣelọpọ | Iwadi ite | Idiwon ite | Ẹyọ |
Ipele | Ipele iṣelọpọ | Iwadi ite | Idiwon ite | |
Iwọn opin | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Sisanra | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Wafer Iṣalaye | Lori-ipo: <0001> ± 0.5° | Lori-ipo: <0001> ± 2.0° | Lori-ipo: <0001> ± 2.0° | ìyí |
Ìwúwo Micropipe (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm-2 ^ -2-2 |
Itanna Resistivity | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Dopant | Undoped | Undoped | Undoped | |
Primary Flat Iṣalaye | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | ìyí |
Primary Flat Gigun | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
Secondary Flat Gigun | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
Atẹle Flat Iṣalaye | 90° CW lati alapin akọkọ ± 5.0° | 90° CW lati alapin akọkọ ± 5.0° | 90° CW lati alapin akọkọ ± 5.0° | ìyí |
Iyasoto eti | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV / TTV / Teriba / Warp | 3 / 10 / ± 30 / 40 | 3 / 10 / ± 30 / 40 | 5/15 / ±40/45 | µm |
Dada Roughness | Si-oju: CMP, C-oju: didan | Si-oju: CMP, C-oju: didan | Si-oju: CMP, C-oju: didan | |
Awọn dojuijako (Imọlẹ giga-giga) | Ko si | Ko si | Ko si | |
Awọn Awo Hex (Imọlẹ-kikankikan) | Ko si | Ko si | Agbegbe akopọ 10% | % |
Awọn agbegbe Polytype (Imọlẹ-kikankikan) | Agbegbe akopọ 5% | Agbegbe akopọ 20% | Agbegbe akopọ 30% | % |
Awọn idọti (Imọlẹ-kikankikan) | ≤ 5 scratches, akojo ipari ≤ 150 | ≤ 10 scratches, akojo ipari ≤ 200 | ≤ 10 scratches, akojo ipari ≤ 200 | mm |
Chipping eti | Ko si ≥ 0.5 mm fifẹ/ijinle | 2 laaye ≤ 1 mm iwọn / ijinle | 5 laaye ≤ 5 mm iwọn / ijinle | mm |
Idoti Dada | Ko si | Ko si | Ko si |
Awọn ohun elo
1. Ga-Power Electronics
Imudara igbona ti o ga julọ ati bandgap jakejado ti awọn wafers SiC jẹ ki wọn jẹ apẹrẹ fun agbara giga, awọn ẹrọ igbohunsafẹfẹ giga:
●MOSFETs ati IGBTs fun iyipada agbara.
● Awọn ọna ṣiṣe agbara ọkọ ina mọnamọna ti ilọsiwaju, pẹlu awọn inverters ati awọn ṣaja.
●Smart akoj amayederun ati sọdọtun agbara awọn ọna šiše.
2. RF ati Makirowefu Systems
Awọn sobusitireti SiC jẹ ki RF-igbohunsafẹfẹ giga ati awọn ohun elo makirowefu pẹlu pipadanu ifihan agbara pọọku:
● Awọn ibaraẹnisọrọ ati awọn ọna ẹrọ satẹlaiti.
●Aerospace Reda awọn ọna šiše.
● To ti ni ilọsiwaju 5G nẹtiwọki irinše.
3. Optoelectronics ati Sensosi
Awọn ohun-ini alailẹgbẹ ti SiC ṣe atilẹyin ọpọlọpọ awọn ohun elo optoelectronic:
● Awọn aṣawari UV fun ibojuwo ayika ati imọran ile-iṣẹ.
● LED ati awọn sobusitireti lesa fun ina-ipinle ti o lagbara ati awọn ohun elo titọ.
● Awọn sensọ giga-giga fun afẹfẹ afẹfẹ ati awọn ile-iṣẹ ọkọ ayọkẹlẹ.
4. Iwadi ati Idagbasoke
Oniruuru ti awọn onipò (Igbejade, Iwadi, Dummy) jẹ ki idanwo gige-eti ati adaṣe ẹrọ ni ile-ẹkọ giga ati ile-iṣẹ.
Awọn anfani
● Gbẹkẹle:O tayọ resistivity ati iduroṣinṣin kọja awọn onipò.
● Aṣaṣe:Awọn iṣalaye ti a ṣe deede ati awọn sisanra lati baamu awọn iwulo oriṣiriṣi.
● Mimọ to gaju:Tiwqn ti ko ni idaniloju ṣe idaniloju awọn iyatọ ti o ni ibatan aimọ diẹ.
●Iwọnwọn:Pade awọn ibeere ti iṣelọpọ ibi-pupọ ati iwadii esiperimenta.
Awọn wafer SiC mimọ giga-inch 3 jẹ ẹnu-ọna rẹ si awọn ẹrọ ṣiṣe giga ati awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ tuntun. Fun awọn ibeere ati awọn alaye ni pato, kan si wa loni.
Lakotan
Awọn 3-inch High Purity Silicon Carbide (SiC) Wafers, ti o wa ni Gbóògì, Iwadi, ati Dummy Grades, jẹ awọn sobusitireti Ere ti a ṣe apẹrẹ fun ẹrọ itanna agbara giga, awọn eto RF/microwave, optoelectronics, ati R&D ilọsiwaju. Awọn wafers wọnyi ṣe ẹya aiṣiṣẹ, awọn ohun-ini idabobo ologbele pẹlu resistivity ti o dara julọ (≥1E10 Ω·cm fun Ite Iṣelọpọ), iwuwo micropipe kekere (≤1 cm-2 ^ -2-2), ati didara dada iyalẹnu. Wọn ti wa ni iṣapeye fun awọn ohun elo ṣiṣe giga, pẹlu iyipada agbara, awọn ibaraẹnisọrọ telikomunikasonu, imọ UV, ati awọn imọ-ẹrọ LED. Pẹlu awọn iṣalaye isọdi, adaṣe igbona ti o ga julọ, ati awọn ohun-ini ẹrọ ti o lagbara, awọn wafers SiC wọnyi jẹ ki o munadoko, iṣelọpọ ẹrọ igbẹkẹle ati awọn imotuntun ilẹ jakejado awọn ile-iṣẹ.