SICOI (Silicon Carbide on Insulator) Wafers SiC Film ON ohun alumọni
Alaye aworan atọka
Agbekale ti Silicon Carbide on Insulator (SICOI) wafers
Silicon Carbide lori Insulator (SICOI) wafers jẹ awọn sobusitireti iran-atẹle ti o ṣepọ awọn ohun-ini ti ara ati itanna ti o ga julọ ti ohun alumọni carbide (SiC) pẹlu awọn abuda ipinya itanna ti o tayọ ti Layer idabobo, gẹgẹ bi ohun alumọni oloro (SiO₂) tabi ohun alumọni nitride (Si₃N₄). Wafer SICOI aṣoju kan ni Layer SiC epitaxial tinrin, fiimu idabobo agbedemeji, ati sobusitireti ipilẹ ti o ṣe atilẹyin, eyiti o le jẹ silikoni tabi SiC.
Eto arabara yii jẹ iṣelọpọ lati pade awọn ibeere lile ti agbara-giga, igbohunsafẹfẹ giga, ati awọn ẹrọ itanna iwọn otutu giga. Nipa iṣakojọpọ Layer idabobo, awọn wafers SICOI dinku agbara parasitic ati dinku awọn sisanwo jijo, nitorinaa aridaju awọn loorekoore iṣẹ ṣiṣe giga, ṣiṣe to dara julọ, ati ilọsiwaju iṣakoso igbona. Awọn anfani wọnyi jẹ ki wọn niyelori pupọ ni awọn apa bii awọn ọkọ ina, awọn amayederun ibaraẹnisọrọ 5G, awọn eto afẹfẹ, ẹrọ itanna RF ti ilọsiwaju, ati awọn imọ-ẹrọ sensọ MEMS.
Ilana iṣelọpọ ti SICOI Wafers
SICOI (Silicon Carbide on Insulator) wafers ti wa ni ti ṣelọpọ nipasẹ ohun to ti ni ilọsiwajuwafer imora ati thinning ilana:
-
SiC sobusitireti Growth– Didara SiC wafer ẹyọkan-crystal kan (4H / 6H) ti pese sile bi ohun elo oluranlọwọ.
-
Insulating Layer idorikodoFiimu idabobo (SiO₂ tabi Si₃N₄) ti wa ni akoso lori wafer ti ngbe (Si tabi SiC).
-
Wafer imora- Wafer SiC ati wafer ti ngbe ni a so pọ labẹ iwọn otutu giga tabi iranlọwọ pilasima.
-
Tinrin & didan– Wafer olugbeowosile SiC ti dinrin si awọn micrometers diẹ ati didan lati ṣaṣeyọri oju didan atomiki kan.
-
Ipari Ayẹwo- Wafer SICOI ti o pari ti ni idanwo fun isokan sisanra, aibikita dada, ati iṣẹ idabobo.
Nipasẹ ilana yii, atinrin lọwọ SiC Layerpẹlu itanna ti o dara julọ ati awọn ohun-ini gbona ni idapo pẹlu fiimu idabobo ati sobusitireti atilẹyin, ṣiṣẹda ipilẹ iṣẹ ṣiṣe giga fun agbara iran atẹle ati awọn ẹrọ RF.
Key anfani ti SICOI Wafers
| Ẹka ẹya | Imọ Abuda | Awọn anfani pataki |
|---|---|---|
| Ilana Ohun elo | 4H/6H-SiC Layer lọwọ + fiimu idabobo (SiO₂/Si₃N₄) + Si tabi SiC ti ngbe | Ṣe aṣeyọri ipinya itanna to lagbara, dinku kikọlu parasitic |
| Itanna Properties | Agbara didenukole giga (> 3 MV / cm), pipadanu dielectric kekere | Iṣapeye fun giga-foliteji ati iṣẹ-igbohunsafẹfẹ giga |
| Gbona Properties | Imudara igbona to 4.9 W/cm · K, iduroṣinṣin loke 500°C | Imukuro ooru ti o munadoko, iṣẹ ṣiṣe ti o dara julọ labẹ awọn ẹru igbona lile |
| Darí Properties | Lile to gaju (Mohs 9.5), olùsọdipúpọ kekere ti imugboroosi gbona | Logan lodi si aapọn, mu igbesi aye ẹrọ pọ si |
| Dada Didara | Dada ti o ni didan pupọ (Ra <0.2 nm) | Ṣe igbega epitaxy ti ko ni abawọn ati iṣelọpọ ẹrọ ti o gbẹkẹle |
| Idabobo | Resistivity> 10¹⁴ Ω·cm, lọwọlọwọ jijo kekere | Iṣiṣẹ ti o gbẹkẹle ni RF ati awọn ohun elo ipinya giga-giga |
| Iwọn & Isọdi | Wa ni awọn ọna kika 4, 6, ati 8-inch; SiC sisanra 1-100 μm; idabobo 0.1-10 μm | Apẹrẹ rọ fun oriṣiriṣi awọn ibeere ohun elo |
Mojuto elo Area
| Ohun elo Apa | Aṣoju Lilo Awọn igba | Awọn anfani iṣẹ |
|---|---|---|
| Agbara Electronics | Awọn oluyipada EV, awọn ibudo gbigba agbara, awọn ẹrọ agbara ile-iṣẹ | Ga didenukole foliteji, dinku yi pada pipadanu |
| RF & 5G | Awọn amplifiers agbara ibudo ipilẹ, awọn paati igbi-milimita | Awọn parasitics kekere, ṣe atilẹyin awọn iṣẹ-ibiti GHz |
| Awọn sensọ MEMS | Awọn sensọ titẹ ayika lile, MEMS-ite lilọ kiri | Iduroṣinṣin igbona giga, sooro si itankalẹ |
| Aerospace & olugbeja | Awọn ibaraẹnisọrọ satẹlaiti, awọn modulu agbara avionics | Igbẹkẹle ni awọn iwọn otutu to gaju ati ifihan itankalẹ |
| Akoj Smart | HVDC converters, ri to-ipinle Circuit breakers | Idabobo giga dinku pipadanu agbara |
| Optoelectronics | Awọn LED UV, awọn sobusitireti lesa | Didara kirisita giga ṣe atilẹyin itujade ina to munadoko |
Ṣiṣe ti 4H-SiCOI
Ṣiṣejade ti awọn wafers 4H-SiCOI ti waye nipasẹwafer imora ati thinning lakọkọ, muu awọn atọkun idabobo ti o ga didara ati abawọn SiC ti nṣiṣe lọwọ ti ko ni abawọn.
-
a: Sikematiki ti iṣelọpọ ohun elo 4H-SiCOI.
-
b: Aworan ti 4-inch 4H-SiCOI wafer nipa lilo sisopọ ati tinrin; awọn agbegbe abawọn ti samisi.
-
c: Sisanra uniformity karakitariasesonu ti 4H-SiCOI sobusitireti.
-
d: Opitika aworan ti a 4H-SiCOI kú.
-
e: Sisan ilana fun iṣelọpọ SiC microdisk resonator.
-
f: SEM ti microdisk resonator ti pari.
-
g: SEM ti o tobi ti o nfihan ogiri ẹgbẹ resonator; Inset AFM ṣe afihan didan dada nanoscale.
-
h: Agbelebu-apakan SEM alaworan ti o ni apẹrẹ parabolic oke.
FAQ on SICOI Wafers
Q1: Awọn anfani wo ni awọn wafers SICOI ni lori awọn wafers SiC ti aṣa?
A1: Ko dabi awọn sobusitireti SiC boṣewa, awọn wafers SICOI pẹlu Layer idabobo ti o dinku agbara parasitic ati awọn ṣiṣan jijo, ti o yori si ṣiṣe ti o ga julọ, esi igbohunsafẹfẹ to dara julọ, ati iṣẹ ṣiṣe igbona giga.
Q2: Kini awọn iwọn wafer wa ni igbagbogbo?
A2: Awọn wafer SICOI ni a ṣejade ni 4-inch, 6-inch, ati awọn ọna kika 8-inch, pẹlu SiC ti a ṣe adani ati sisanra idabobo ti o wa da lori awọn ibeere ẹrọ.
Q3: Awọn ile-iṣẹ wo ni anfani julọ lati awọn wafers SICOI?
A3: Awọn ile-iṣẹ bọtini pẹlu ẹrọ itanna agbara fun awọn ọkọ ina mọnamọna, ẹrọ itanna RF fun awọn nẹtiwọọki 5G, MEMS fun awọn sensọ aerospace, ati optoelectronics bii UV LEDs.
Q4: Bawo ni Layer idabobo ṣe ilọsiwaju iṣẹ ẹrọ?
A4: Fiimu idabobo (SiO₂ tabi Si₃N₄) ṣe idilọwọ jijo lọwọlọwọ ati dinku ọrọ-agbelebu itanna, ṣiṣe ifarada foliteji ti o ga julọ, iyipada daradara diẹ sii, ati dinku isonu ooru.
Q5: Ṣe awọn wafers SICOI dara fun awọn ohun elo otutu-giga?
A5: Bẹẹni, pẹlu imudara igbona giga ati resistance ti o kọja 500 ° C, awọn wafers SICOI jẹ apẹrẹ lati ṣiṣẹ ni igbẹkẹle labẹ ooru pupọ ati ni awọn agbegbe lile.
Q6: Njẹ awọn wafers SICOI le jẹ adani?
A6: Nitootọ. Awọn aṣelọpọ nfunni awọn apẹrẹ ti a ṣe fun awọn sisanra kan pato, awọn ipele doping, ati awọn akojọpọ sobusitireti lati pade awọn iwadii oniruuru ati awọn iwulo ile-iṣẹ.
