SiCOI wafer 4inch 6inch HPSI SiC SiO2 Si subatrate be

Apejuwe kukuru:

Iwe yii ṣafihan alaye Akopọ ti Silicon Carbide-on-Insulator (SiCOI) wafers, ni pataki ni idojukọ lori 4-inch ati awọn sobusitireti 6-inch ti o nfihan awọn ipele idabobo ologbele-mimọ giga (HPSI) silikoni carbide (SiC) awọn fẹlẹfẹlẹ ti a so mọ silikoni dioxide (SiO₂) idabobo awọn ipele atẹtẹ silikoni (Si). Eto SiCOI darapọ itanna iyasọtọ, igbona, ati awọn ohun-ini ẹrọ ti SiC pẹlu awọn anfani ipinya itanna ti Layer oxide ati atilẹyin ẹrọ ti sobusitireti ohun alumọni. Lilo HPSI SiC ṣe ilọsiwaju iṣẹ ẹrọ nipasẹ didinkuro ifọkasi sobusitireti ati idinku awọn adanu parasitic, ṣiṣe awọn wafer wọnyi jẹ apẹrẹ fun agbara giga, igbohunsafẹfẹ giga, ati awọn ohun elo semikondokito iwọn otutu giga. Ilana iṣelọpọ, awọn abuda ohun elo, ati awọn anfani igbekalẹ ti iṣeto ni multilayer yii ni a jiroro, tẹnumọ ibaramu rẹ si awọn ẹrọ itanna agbara iran atẹle ati awọn eto microelectromechanical (MEMS). Iwadi naa tun ṣe afiwe awọn ohun-ini ati awọn ohun elo ti o pọju ti 4-inch ati 6-inch SiCOI wafers, ti n ṣe afihan iwọn ati awọn ifojusọna isọpọ fun awọn ẹrọ semikondokito to ti ni ilọsiwaju.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Awọn ẹya ara ẹrọ

SiCOI wafer ká be

HPB (Imudanu Iṣẹ-giga) BIC (Sircuit Integrated) ati SOD (Silicon-on-Diamond or Silicon-on-Insulator-like technology). O pẹlu:

Awọn Metiriki Iṣẹ:

Ṣe atokọ awọn paramita bii deede, awọn oriṣi aṣiṣe (fun apẹẹrẹ, “Ko si aṣiṣe,” “ijinna iye”), ati awọn wiwọn sisanra (fun apẹẹrẹ, “Isanra-Layer sisanra/kg”).

Tabili ti o ni awọn iye nọmba (o ṣee ṣe adanwo tabi awọn ilana ilana) labẹ awọn akọle bii “ADDR/SYGBDT,” “10/0,” abbl.

Data Sisanra Layer:

Awọn titẹ sii ti atunwi ti o ni aami "L1 Sisanra (A)" si "Sisanra L270 (A)" (ṣeeṣe ni Ångströms, 1 Å = 0.1 nm).

Ṣe imọran igbekalẹ ọpọ-siwa kan pẹlu iṣakoso sisanra deede fun Layer kọọkan, aṣoju ninu awọn wafers semikondokito ilọsiwaju.

SiCOI Wafer Be

SiCOI (Silicon Carbide on Insulator) jẹ eto wafer amọja ti o ṣajọpọ ohun alumọni carbide (SiC) pẹlu Layer insulating, ti o jọra si SOI (Silicon-on-Insulator) ṣugbọn iṣapeye fun awọn ohun elo agbara-giga / iwọn otutu. Awọn ẹya pataki:

Akopọ Layer:

Top Layer: Silicon Carbide (SiC)-kirisitali kan fun arinbo elekitironi giga ati iduroṣinṣin gbona.

Insulator ti a sin: Ni deede SiO₂ (oxide) tabi diamond (ni SOD) lati dinku agbara parasitic ati ilọsiwaju ipinya.

Ipilẹ Sobusitireti: Silikoni tabi polycrystalline SiC fun atilẹyin ẹrọ

SiCOI wafer ká ini

Itanna Properties Wide Bandgap (3.2 eV fun 4H-SiC): Ṣiṣe awọn foliteji didenukole giga (> 10 × ti o ga ju ohun alumọni) dinku awọn ṣiṣan jijo, imudarasi ṣiṣe ni awọn ẹrọ agbara.

Gbigbe Itanna Giga:~ 900 cm²/V·s (4H-SiC) la. ~ 1,400 cm²/V·s (Si), ṣugbọn iṣẹ-giga to dara julọ.

Atako Lori Kekere:Awọn transistors ti o da lori SiCOI (fun apẹẹrẹ, MOSFETs) ṣe afihan awọn adanu idari kekere.

Idabobo to dara julọ:Afẹfẹ ti a sin (SiO₂) tabi Layer diamond dinku agbara parasitic ati agbelebu.

Gbona PropertiesImudara Ooru to gaju: SiC (~ 490 W / m · K fun 4H-SiC) vs. Si (~ 150 W / m · K) .Diamond (ti o ba lo bi insulator) le kọja 2,000 W / m · K, imudara itusilẹ ooru.

Iduroṣinṣin Ooru:Ṣiṣẹ ni igbẹkẹle> 300 ° C (vs. ~ 150 ° C fun ohun alumọni) .Dinku awọn ibeere itutu ni ẹrọ itanna agbara.

3. Mechanical & Kemikali PropertiesLile Gidigidi (~ 9.5 Mohs): Koju aṣọ, ṣiṣe SiCOI duro fun awọn agbegbe lile.

Kemikali ailagbara:Koju ifoyina ati ipata, paapaa ni awọn ipo ekikan/alkaline.

Imugboroosi Gbona Kekere:Baramu daradara pẹlu awọn ohun elo otutu giga miiran (fun apẹẹrẹ, GaN).

4. Awọn anfani Igbekale (vs. Bulk SiC tabi SOI)

Awọn adanu Sobusitireti Dinku:Layer idabobo ṣe idilọwọ jijo lọwọlọwọ sinu sobusitireti.

Imudara Iṣe RF:Agbara parasitic isalẹ jẹ ki iyipada yiyara (wulo fun awọn ẹrọ 5G/mmWave).

Apẹrẹ Rọ:Layer oke SiC tinrin ngbanilaaye fun igbelowọn ẹrọ iṣapeye (fun apẹẹrẹ, awọn ikanni tinrin ni awọn transistors).

Afiwera pẹlu SOI & Olopobobo SiC

Ohun ini	SiCOI	SOI (Si/SiO₂/Si)	Olopobobo SiC
Bandgap	3.2 eV (SiC)	1.1 eV (Si)	3.2 eV (SiC)
Gbona Conductivity	Giga (SiC + diamond)	Kekere (SiO₂ ṣe opin sisan ooru)	Ga (SiC nikan)
Foliteji didenukole	Giga pupọ	Déde	Giga pupọ
Iye owo	Ti o ga julọ	Isalẹ	Ti o ga julọ (SiC mimọ)

SiCOI wafer ká ohun elo

Agbara Electronics
SiCOI wafers ti wa ni lilo pupọ ni iwọn-giga ati awọn ẹrọ semikondokito agbara giga gẹgẹbi MOSFETs, Schottky diodes, ati awọn iyipada agbara. Bandgap jakejado ati foliteji didenukole giga ti SiC jẹ ki iyipada agbara daradara pẹlu awọn adanu ti o dinku ati imudara iṣẹ igbona.

Awọn ẹrọ Igbohunsafẹfẹ Redio (RF).
Layer idabobo ni awọn wafers SiCOI dinku agbara parasitic, ṣiṣe wọn dara fun awọn transistors igbohunsafẹfẹ giga ati awọn amplifiers ti a lo ninu awọn ibaraẹnisọrọ, radar, ati awọn imọ-ẹrọ 5G.

Awọn ọna ṣiṣe Microelectromechanical (MEMS)
SiCOI wafers n pese aaye ti o lagbara fun iṣelọpọ awọn sensọ MEMS ati awọn oṣere ti n ṣiṣẹ ni igbẹkẹle ni awọn agbegbe lile nitori ailagbara kemikali SiC ati agbara ẹrọ.

Ga-otutu Electronics
SiCOI jẹ ki ẹrọ itanna ti o ṣetọju iṣẹ ati igbẹkẹle ni awọn iwọn otutu ti o ga, ti o ni anfani ọkọ ayọkẹlẹ, afẹfẹ, ati awọn ohun elo ile-iṣẹ nibiti awọn ohun elo ohun alumọni aṣa ti kuna.

Photonic ati Optoelectronic Awọn ẹrọ
Apapo awọn ohun-ini opiti SiC ati Layer idabobo n ṣe imudarapọpọ awọn iyika photonic pẹlu imudara igbona iṣakoso.

Ìtọjú-lile Electronics
Nitori ifarada ifarabalẹ itọsi ti SiC, awọn wafers SiCOI jẹ apẹrẹ fun aaye ati awọn ohun elo iparun ti o nilo awọn ẹrọ ti o duro de awọn agbegbe ti itanna giga.

SiCOI wafer ká Q&A

Q1: Kini wafer SiCOI?

A: SiCOI duro fun Silicon Carbide-on-Insulator. O jẹ eto wafer semikondokito nibiti Layer tinrin ti ohun alumọni carbide (SiC) ti so mọ Layer idabobo (nigbagbogbo silikoni oloro, SiO₂), eyiti o ni atilẹyin nipasẹ sobusitireti ohun alumọni kan. Ẹya yii ṣajọpọ awọn ohun-ini to dara julọ ti SiC pẹlu ipinya itanna lati insulator.

Q2: Kini awọn anfani akọkọ ti awọn wafers SiCOI?

A: Awọn anfani akọkọ pẹlu foliteji didenukole giga, bandgap jakejado, adaṣe igbona ti o dara julọ, líle ẹrọ ti o ga julọ, ati agbara parasitic dinku ọpẹ si Layer insulating. Eyi nyorisi iṣẹ ṣiṣe ẹrọ ilọsiwaju, ṣiṣe, ati igbẹkẹle.

Q3: Kini awọn ohun elo aṣoju ti awọn wafers SiCOI?

A: Wọn lo ninu ẹrọ itanna agbara, awọn ẹrọ RF ti o ga-igbohunsafẹfẹ, awọn sensọ MEMS, awọn ẹrọ itanna otutu otutu, awọn ohun elo fọtoniki, ati awọn ẹrọ itanna-itọsi-lile.