Paddle Cantilever Silikoni Carbide (SiC Cantilever Paddle)
Àwòrán Àlàyé
Àkótán Ọjà
Páàdì cantilever silicon carbide, tí a ṣe láti inú carbide silicon carbide tí a so pọ̀ mọ́ reaction-performance (RBSiC), jẹ́ èròjà pàtàkì tí a ń lò nínú àwọn ẹ̀rọ gbígbé ẹrù àti ìtọ́jú wafer fún àwọn ohun èlò semiconductor àti photovoltaic.
Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn paddles quartz tàbí graphite ìbílẹ̀, àwọn paddles cantilever SiC ní agbára ẹ̀rọ tó ga jùlọ, líle gíga, ìfẹ̀sí ooru tó kéré, àti ìdènà ipata tó tayọ. Wọ́n ń pa ìdúróṣinṣin ìṣètò tó dára mọ́ lábẹ́ ooru gíga, wọ́n ń bá àwọn ohun tó le koko ti àwọn ìwọ̀n wafer ńlá, ìgbésí ayé iṣẹ́ gígùn, àti ìbàjẹ́ tó kéré gan-an mu.
Pẹ̀lú ìdàgbàsókè àwọn ìlànà semiconductor tí ń lọ sí àwọn iwọn ila opin wafer tí ó tóbi, ìṣiṣẹ́ tí ó ga jùlọ, àti àyíká ìṣiṣẹ́ mímọ́, àwọn paddles cantilever SiC ti rọ́pò àwọn ohun èlò ìbílẹ̀ díẹ̀díẹ̀, wọ́n sì di àṣàyàn tí ó dára jùlọ fún àwọn iná mànàmáná tí ń fọ́nká, LPCVD, àti àwọn ohun èlò tí ó ní iwọ̀n otútù gíga tí ó jọra.
Àwọn Ẹ̀yà Ọjà
-
Iduroṣinṣin otutu giga to dara julọ
-
Nṣiṣẹ ni igbẹkẹle ni 1000–1300℃ laisi iyipada.
-
Iwọn otutu iṣẹ to pọ julọ titi di 1380℃.
-
-
Agbara Gbigbe-Gbigbe Giga
-
Agbára títẹ̀ títí dé 250–280 MPa, ó ga ju àwọn paddles quartz lọ.
-
Ó lè lo àwọn wafer oníwọ̀n tó tóbi (300 mm àti jù bẹ́ẹ̀ lọ).
-
-
Iṣẹ́ Gígùn àti Ìtọ́jú Kéré Jù
-
Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru kékeré (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), ó bá àwọn ohun èlò ìbòrí LPCVD mu dáadáa.
-
Ó dín ìfọ́ àti ìfọ́ tí ó ń fa wàhálà kù, ó sì ń fa ìfọmọ́ àti ìtọ́jú pẹ́ẹ́pẹ̀ẹ̀pẹ́.
-
-
Àìfaradà àti Ìmọ́tótó
-
Agbara to dara si awọn acids ati alkalis.
-
Ìrísí kékeré tó ní ihò tó ṣí sílẹ̀ <0.1%, èyí tó dín ìṣẹ̀dá àwọn èròjà àti ìtújáde àìmọ́ kù.
-
-
Apẹrẹ Ibamu Adaṣiṣẹ-Aifọwọyi
-
Ìrísí onípele tí ó dúró ṣinṣin pẹ̀lú ìṣedéédé onípele gíga.
-
Láìsí ìfọ̀rọ̀wérọ̀, ó ń dọ́gba pẹ̀lú àwọn ètò ìgbékalẹ̀ àti ṣíṣí àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ roboti, èyí tí ó ń jẹ́ kí iṣẹ́ àgbékalẹ̀ aládàáṣe ní kíkún.
-
Àwọn Ohun-ìní Ti ara & Kẹ́míkà
| Ohun kan | Ẹyọ kan | Dátà |
|---|---|---|
| Iwọn otutu Iṣẹ to pọ julọ | ℃ | 1380 |
| Ìwọ̀n | g/cm³ | 3.04 – 3.08 |
| Ṣíṣí Porosity | % | < 0.1 |
| Agbára Títẹ̀ | MPA | 250 (20℃), 280 (1200℃) |
| Modulu ti Elasticity | GPA | 330 (20℃), 300 (1200℃) |
| Ìgbékalẹ̀ Ooru | W/m·K | 45 (1200℃) |
| Isọdipọ Imugboroosi Ooru | K⁻¹×10⁻⁶ | 4.5 |
| Líle Vickers | HV2 | ≥ 2100 |
| Agbára Àsídì/Àlíìnì | - | O tayọ |
-
Awọn gigun boṣewa:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
-
Awọn iwọn aṣa wa lori ibeere
Àwọn ohun èlò ìlò
-
Ile-iṣẹ Semikondaktọ
-
LPCVD (Ìfipamọ́ afẹ́fẹ́ kẹ́míkà tí ó ní ìfúnpọ̀ díẹ̀)
-
Awọn ilana itankale (phosphorus, boron, ati bẹbẹ lọ)
-
Ìfọwọ́sí ooru
-
-
Ile-iṣẹ Fọtòvoltaiki
-
Ìtanka ati ìbòrí Polysilicon ati monocrystalline wafer
-
Gbigbọn otutu giga ati passivation
-
-
Àwọn Pápá Míràn
-
Awọn agbegbe ibajẹ ti o ni iwọn otutu giga
-
Awọn eto mimu wafer konge ti o nilo igbesi aye iṣẹ pipẹ ati idoti kekere
-
Àwọn Àǹfààní Oníbàárà
-
Awọn idiyele iṣiṣẹ ti o dinku– Ìgbésí ayé gígùn ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ìgbálẹ̀ quartz, èyí tí ó dín àkókò ìsinmi àti ìgbà ìyípadà kù.
-
Ìmújáde Tó Ga Jù– Ẹ̀gbin tó kéré gan-an máa ń mú kí ojú ilẹ̀ wafer mọ́ tónítóní, ó sì máa ń dín ìwọ̀n àbùkù kù.
-
Ẹ̀rí-Ọjọ́-ọ̀la– Ni ibamu pẹlu awọn iwọn wafer nla ati awọn ilana semiconductor iran-atẹle.
-
Iṣẹ́-ṣíṣe Tí Ó Ní Ìlọsíwájú– Ni ibamu ni kikun pẹlu awọn eto adaṣe roboti, ni atilẹyin iṣelọpọ iwọn didun giga.
Awọn ibeere ti a beere nigbagbogbo – Silikoni Carbide Cantilever Paddle
Q1: Kí ni pádì oníṣẹ́ abẹ́rẹ́ oníṣẹ́ abẹ́rẹ́ oníṣẹ́ abẹ́rẹ́?
A: Ó jẹ́ ohun èlò ìtọ́jú àti ìtọ́jú wafer tí a fi silicon carbide (RBSiC) ṣe. A ń lò ó ní gbogbogbòò nínú àwọn ilé ìgbóná ìtújáde, LPCVD, àti àwọn ìlànà semikondokito àti photovoltaic mìíràn tí ó ní iwọ̀n otutu gíga.
Q2: Kilode ti o fi yan SiC ju awọn paddles quartz lọ?
A: Ti a ba fiwe pẹlu awọn paadi quartz, awọn paadi SiC nfunni:
-
Agbara ẹrọ ti o ga julọ ati agbara fifuye-ẹru
-
Iduroṣinṣin ooru to dara julọ ni awọn iwọn otutu to 1380℃
-
Igbesi aye iṣẹ to gun pupọ ati awọn iyipo itọju ti o dinku
-
Ìṣẹ̀dá pàǹtíkì àti ewu ìbàjẹ́ tó kéré síi
-
Ibamu pẹlu awọn iwọn wafer ti o tobi ju (300 mm ati loke)
Q3: Awọn iwọn wafer wo ni SiC cantilever paddle le ṣe atilẹyin fun?
A: Àwọn ìbọn ìrọ̀lẹ́ tó wọ́pọ̀ wà fún àwọn ẹ̀rọ ìgbóná 2378 mm, 2550 mm, àti 2660 mm. Àwọn ìwọ̀n tí a ṣe àdáni wà fún ìtìlẹ́yìn àwọn ìbọn ìrọ̀lẹ́ tó tó 300 mm àti jù bẹ́ẹ̀ lọ.
Nipa re
XKH jẹ́ amọ̀jọ̀gbọ́n nínú ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga, ìṣẹ̀dá, àti títà àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì optíkì pàtàkì àti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì tuntun. Àwọn ọjà wa ń ṣiṣẹ́ fún ẹ̀rọ itanna optíkì, ẹ̀rọ itanna oníbàárà, àti àwọn ológun. A ń pèsè àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ Sapphire optíkì, àwọn ìbòrí lẹ́ǹsì fóònù alágbéká, àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ sémíkà, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, àti àwọn wafers crystal semiconductor. Pẹ̀lú ìmọ̀ tó ní ìmọ̀ àti àwọn ohun èlò tó ti pẹ́, a tayọ nínú ṣíṣe àwọn ohun èlò tí kì í ṣe déédé, a ń gbìyànjú láti jẹ́ ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga tó ń lo ohun èlò optoelectronic.
