Ohun èlò ìfọṣọ atẹ seramiki silikoni carbide Silikoni carbide ipese silinda otutu giga sisẹ aṣa
Awọn ẹya pataki:
1. Àtẹ seramiki silikoni carbide
- Agbara giga ati resistance aṣọ: lile naa sunmọ okuta iyebiye, o si le koju ibajẹ ẹrọ ni sisẹ wafer fun igba pipẹ.
- Agbara igbona giga ati iwọn imugboro ooru kekere: gbigbe ooru yiyara ati iduroṣinṣin iwọn, yago fun iyipada ti wahala ooru fa.
- Pípẹ́ tó ga àti pípẹ́ tó dáa: Pípẹ́ tó dáa dé ìpele micron, ó ń rí i dájú pé ó fara kan gbogbo wafer àti disk, èyí sì ń dín ìbàjẹ́ àti ìbàjẹ́ kù.
Iduroṣinṣin kemikali: Agbara ipata ti o lagbara, o dara fun mimọ tutu ati awọn ilana didasilẹ ni iṣelọpọ semiconductor.
2. Pọ́ọ̀bù seramiki silikoni carbide
- Agbara otutu giga: O le ṣiṣẹ ni ayika iwọn otutu giga loke 1600°C fun igba pipẹ, o dara fun ilana iwọn otutu giga semiconductor.
O tayọ resistance ipata: resistance si awọn acids, alkalis ati ọpọlọpọ awọn kemikali olomi, o dara fun awọn agbegbe ilana lile.
- Agbara giga ati resistance yiya: koju ibajẹ patikulu ati yiya ẹrọ, fa igbesi aye iṣẹ gun.
- Agbara igbona giga ati iye kekere ti imugboroosi ooru: gbigbe ooru ati iduroṣinṣin iwọn ni iyara, idinku iyipada tabi fifọ ti wahala ooru fa.
Ọja Paramita:
Paramita atẹ seramiki silikoni carbide:
| (Ohun ìní ohun èlò) | (Ẹyọ kan) | (ssic) | |
| (Àkóónú SiC) | (Wt)% | >99 | |
| (Iwọn ọkà apapọ) | mákírónù | 4-10 | |
| (Ìwọ̀n) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Ó hàn gbangba pé ó ní ihò) | Ìwọ̀n 1% | <0.5 | |
| (Ile lile Vickers) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *() Agbára ìrọ̀rùn* (àwọn ojú ìwé mẹ́ta) | 20ºC | MPA | 450 |
| (Agbara titẹ) | 20ºC | MPA | 3900 |
| (Modulusi onírọ̀rùn) | 20ºC | GPA | 420 |
| (Ipa fifọ) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Ìlànà ooru) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Ìdènà) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Iwọn otutu iṣiṣẹ to pọ julọ) | oºC | 1700 | |
Paramita tube seramiki silikoni carbide:
| Àwọn ohun kan | Àtọ́ka |
| α-SIC | 99% ìṣẹ́jú |
| Porosity tó hàn gbangba | 16% tó pọ̀ jùlọ |
| Ìwọ̀n Púpọ̀ | 2.7g/cm3 min |
| Agbara titẹ ni iwọn otutu giga | 100 Mpa min |
| Isodipupo ti Imugboroosi Ooru | K-1 4.7x10 -6 |
| Isodipupo ti Ifarada Ooru (1400ºC) | 24 W/mk |
| Iwọn otutu Iṣiṣẹ to pọ julọ | 1650ºC |
Awọn ohun elo akọkọ:
1. Àwo seramiki silikoni carbide
- Gígé àti fífọ Wafer: ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí pẹpẹ ìgbádùn láti rí i dájú pé ó péye àti pé ó dúró ṣinṣin nígbà tí a bá ń gé àti fínfín.
- Ilana Lithography: A fi wafer naa sinu ẹrọ lithography lati rii daju pe ipo ti o peye ga lakoko ifihan.
- Ìmọ́lẹ̀ Kemikali (CMP): ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí pẹpẹ àtìlẹ́yìn fún àwọn pádì ìmọ́lẹ̀, ó ń pèsè ìfúnpọ̀ àti ìpínkiri ooru kan náà.
2. Pọ́ọ̀bù seramiki silikoni carbide
- Pọ́ọ̀bù ìgbóná ooru gíga: a lò ó fún àwọn ohun èlò ìgbóná ooru gíga bíi ìgbóná ìtújáde àti ìgbóná oxidation láti gbé àwọn wafers fún ìtọ́jú ìgbóná ooru gíga.
- Ilana CVD/PVD: Gẹ́gẹ́ bí ọ̀pá ìdènà nínú yàrá ìṣesí, tí ó dúró ṣinṣin sí àwọn iwọ̀n otútù gíga àti àwọn gáàsì tí ó ń pa.
- Awọn ohun elo ẹrọ Semiconductor: fun awọn paarọ ooru, awọn opo gigun gaasi, ati bẹbẹ lọ, lati mu ilọsiwaju iṣakoso ooru ti awọn ẹrọ dara si.
XKH n pese oniruuru awọn iṣẹ akanṣe fun awọn atẹ seramiki silikoni carbide, awọn agolo fifa ati awọn tube seramiki silikoni carbide. Awọn atẹ seramiki silikoni carbide ati awọn agolo fifa, a le ṣe adani XKH gẹgẹbi awọn ibeere alabara ti awọn iwọn oriṣiriṣi, awọn apẹrẹ ati awọn rirọ oju, ati ṣe atilẹyin itọju ibora pataki, mu resistance yiya ati resistance ipata pọ si; Fun awọn tube seramiki silikoni carbide, XKH le ṣe adani oniruuru iwọn ila opin inu, iwọn ila opin ita, gigun ati eto ti o ni idiju (bii tube apẹrẹ tabi tube ti o ni iho), ati pese didan, ideri anti-oxidation ati awọn ilana itọju dada miiran. XKH rii daju pe awọn alabara le lo anfani kikun ti awọn anfani iṣẹ ti awọn ọja seramiki silikoni carbide lati pade awọn ibeere ti o nilo ti awọn aaye iṣelọpọ giga gẹgẹbi awọn semiconductors, awọn LED ati awọn photovoltaics.
Àwòrán Àlàyé
