Silicon carbide seramiki atẹ mu ohun alumọni carbide seramiki tube ipese ga otutu sintering aṣa processing
Awọn ẹya akọkọ:
1. Silikoni carbide seramiki atẹ
- Lile giga ati yiya resistance: líle sunmo diamond, ati pe o le duro yiya ẹrọ ẹrọ ni sisẹ wafer fun igba pipẹ.
- Imudara igbona giga ati alasọdipúpọ igbona kekere: itusilẹ ooru iyara ati iduroṣinṣin iwọn, yago fun abuku ti o ṣẹlẹ nipasẹ aapọn gbona.
- Fifẹ giga ati ipari dada: Fifọ dada ti de ipele micron, aridaju olubasọrọ ni kikun laarin wafer ati disiki, idinku ibajẹ ati ibajẹ.
Iduroṣinṣin Kemikali: Agbara ipata ti o lagbara, o dara fun mimọ tutu ati awọn ilana etching ni iṣelọpọ semikondokito.
2. Silikoni carbide seramiki tube
- Agbara otutu giga: O le ṣiṣẹ ni agbegbe iwọn otutu giga ju 1600 ° C fun igba pipẹ, o dara fun ilana iwọn otutu giga semikondokito.
O tayọ ipata resistance: sooro si acids, alkalis ati awọn kan orisirisi ti kemikali olomi, o dara fun simi ilana agbegbe.
- Lile giga ati resistance resistance: koju ogbara patiku ati yiya ẹrọ, fa igbesi aye iṣẹ fa.
- Imudara igbona giga ati alasọdipúpọ kekere ti imugboroosi igbona: adaṣe iyara ti ooru ati iduroṣinṣin iwọn, idinku abuku tabi fifọ ti o ṣẹlẹ nipasẹ aapọn gbona.
Iwọn ọja:
paramita atẹ seramiki ohun alumọni carbide:
| (ohun-ini ohun elo) | (Ẹyọ) | (sic) | |
| (Akoonu SiC) | (Wt)% | >99 | |
| (Iwọn ọkà ni aropin) | micron | 4-10 | |
| (iwuwo) | kg/dm3 | > 3.14 | |
| (Porosity ti o han gbangba) | Vo1% | <0.5 | |
| (líle Vickers) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *() Agbara Flexural* (ojuami mẹta) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Agbara titẹ) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Elastic Modulu) | 20ºC | GPA | 420 |
| (Egugun lile) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Iwa-ara gbona) | 20°C | W/(m*K) | 160 |
| (Atako) | 20°C | Ohm.cm | 106-108 |
(Imugboroosi igbona) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Iwọn otutu ti nṣiṣẹ ti o pọju) | oºC | 1700 | |
Silicon carbide seramiki tube paramita:
| Awọn nkan | Atọka |
| α-SIC | 99% iṣẹju |
| Porosity ti o han gbangba | ti o pọju 16%. |
| Olopobobo iwuwo | 2.7g/cm3 iseju |
| Titẹ Agbara ni Iwọn otutu giga | 100 Mpa min |
| olùsọdipúpọ ti Gbona Imugboroosi | K-1 4.7x10 -6 |
| Isọdipúpọ ti Imudara Ooru (1400ºC) | 24 W/mk |
| O pọju. Awọn iwọn otutu ṣiṣẹ | 1650ºC |
Awọn ohun elo akọkọ:
1. Silicon carbide seramiki awo
- Ige Wafer ati didan: ṣiṣẹ bi pẹpẹ ti o ni agbara lati rii daju pe konge giga ati iduroṣinṣin lakoko gige ati didan.
- Ilana Lithography: Wafer ti wa ni titọ ninu ẹrọ lithography lati rii daju pe ipo ti o ga julọ lakoko ifihan.
- Kemikali Mechanical Polishing (CMP): ṣe bi pẹpẹ atilẹyin fun awọn paadi didan, pese titẹ aṣọ ati pinpin ooru.
2. Silikoni carbide seramiki tube
- tube ileru otutu ti o ga: ti a lo fun awọn ohun elo otutu ti o ga gẹgẹbi ileru tan kaakiri ati ileru ifoyina lati gbe awọn wafers fun itọju ilana otutu otutu.
- Ilana CVD / PVD: Bi tube gbigbe ni iyẹwu ifaseyin, sooro si awọn iwọn otutu giga ati awọn gaasi ipata.
- Awọn ẹya ẹrọ Semikondokito: fun awọn oluyipada ooru, awọn opo gigun ti gaasi, ati bẹbẹ lọ, lati mu ilọsiwaju iṣakoso igbona ti ohun elo.
XKH nfunni ni kikun awọn iṣẹ aṣa fun awọn atẹwe seramiki ohun alumọni carbide, awọn agolo mimu ati awọn tubes seramiki carbide silikoni. Silicon carbide seramiki trays ati afamora agolo, XKH le ti wa ni adani ni ibamu si onibara awọn ibeere ti o yatọ si titobi, ni nitobi ati dada roughness, ati atilẹyin pataki ti a bo itọju, mu yiya resistance ati ipata resistance; Fun awọn tubes seramiki carbide silikoni, XKH le ṣe akanṣe ọpọlọpọ iwọn ila opin inu, iwọn ila opin ita, gigun ati eto eka (gẹgẹbi tube ti o ni apẹrẹ tabi tube la kọja), ati pese didan, ibora egboogi-oxidation ati awọn ilana itọju dada miiran. XKH ṣe idaniloju pe awọn alabara le ni anfani ni kikun ti awọn anfani iṣẹ ti awọn ọja seramiki silikoni carbide lati pade awọn ibeere ibeere ti awọn aaye iṣelọpọ giga-giga gẹgẹbi awọn semikondokito, awọn LED ati awọn fọtovoltaics.
Alaye aworan atọka
