Ọpọn Ilé Ilé Itura Onípele Silikoni Carbide (SiC)

Àwòrán Pọ́ọ̀bù Ilé Ìdáná Oníná Sílíkónì (SiC)

Àpèjúwe Kúkúrú:

Ọpọn Furnace Silicon Carbide (SiC) n ṣiṣẹ gẹgẹbi iyẹwu ilana akọkọ ati ààlà titẹ fun awọn iṣejade gaasi-ipele giga ati awọn itọju ooru ti a lo ninu iṣelọpọ semiconductor, iṣelọpọ photovoltaic, ati iṣelọpọ ohun elo ilọsiwaju.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Àwọn ẹ̀yà ara

Àwòrán Àlàyé

Ipo ati Ipese Iye Ọja

Pọ́ọ̀bù yìí, tí a fi ẹ̀rọ SiC kan ṣoṣo ṣe, tí a fi àfikún ṣe, tí a so pọ̀ mọ́ fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ ààbò CVD-SiC tí ó nípọn, ń fúnni ní agbára ìgbóná tó tayọ, ìbàjẹ́ díẹ̀, ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ tó lágbára, àti agbára ìdènà kẹ́míkà tó tayọ.
Apẹrẹ rẹ rii daju pe iwọn otutu naa jẹ deedee, awọn akoko iṣẹ gigun, ati iṣẹ igba pipẹ ti o duro ṣinṣin.

Àwọn Àǹfààní Àkọ́kọ́

Ó ń mú kí ìdúróṣinṣin ìwọ̀n otútù, ìmọ́tótó, àti ìṣiṣẹ́ gbogbogbòò ohun èlò pọ̀ sí i (OEE).
Ó dín àkókò ìfẹ̀yìntì kù fún ìwẹ̀nùmọ́, ó sì mú kí àwọn àkókò ìrọ́pò gùn sí i, èyí sì dín iye owó gbogbo tí ó ní (TCO) kù.
Ó pèsè yàrá tó pẹ́ tó lè máa lo àwọn kẹ́míkà tó ní oxidative àti chlorine tó ní ìwọ̀n otútù tó ga pẹ̀lú ewu tó kéré.

Afẹ́fẹ́ àti Fèrèsé Ìlànà Tó Wúlò

Àwọn gáàsì tó ń ṣe àtúnṣe: oxygen (O₂) ati awọn adalu oxidizing miiran
Àwọn gáàsì agbérù/ààbò: nitrogen (N₂) àti àwọn gáàsì aláìlágbára tí ó mọ́
Àwọn ẹ̀yà tó bá ara wọn mu: àwọn gáàsì tí ó ní chlorine (ìṣàkóṣo ìfojúsùn àti àkókò gbígbé)

Awọn ilana deede: ìfọ́mọ́ra gbígbẹ/ọtí, ìfọ́mọ́ra, ìtànkálẹ̀, ìfipamọ́ LPCVD/CVD, ìṣiṣẹ́ ojú ilẹ̀, ìfàsẹ́yìn fọ́tòvoltaic, ìdàgbàsókè fíìmù tín-tín-iṣẹ́, ìfọ́mọ́ra carbonization, nitridation, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.

Awọn Ipo Iṣiṣẹ

Iwọn otutu: iwọn otutu yara titi de 1250 °C (gba aaye aabo laaye 10–15% da lori apẹrẹ ẹrọ igbona ati ΔT)
Ìfúnpá: láti ìpele ìfúnpá kékeré/LPCVD sí ìfúnpá rere tí ó súnmọ́ ojú-ọjọ́ (àpẹẹrẹ ìkẹyìn fún àṣẹ ríra)

Àwọn Ohun Èlò àti Ìlànà Ìṣètò

Ara SiC Monolithic (Afikun ti a ṣe)

β-SiC tàbí multiphase SiC oníwọ̀n gíga, tí a kọ́ gẹ́gẹ́ bí ohun èlò kan ṣoṣo—kò sí àwọn ìsopọ̀ tàbí àwọn ìsopọ̀ tí a fi ìdábùú ṣe tí ó lè jò tàbí ṣẹ̀dá àwọn ibi ìdààmú.
Agbara igbona giga n mu ki idahun ooru yara ati iṣọkan iwọn otutu axial/radial ti o dara julọ wa.
Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru tí ó kéré, tí ó dúró ṣinṣin (CTE) ń ṣe ìdánilójú ìdúróṣinṣin oníwọ̀n àti àwọn èdìdì tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé ní àwọn iwọ̀n otútù tí ó ga.

Ibora Iṣẹ-ṣiṣe CVD SiC

A ti kó àwọn ohun tí ó wà ní ibi tí a kó pamọ́ sí, tí ó mọ́ gan-an (àwọn ohun tí ó ní ìdọ̀tí ojú ilẹ̀/àwọ̀ tí ó wà ní ìwọ̀n <5 ppm) láti dín ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò ìdàpọ̀ àti ìtújáde ion irin kù.
Agbára kẹ́míkà tó lágbára gan-an lòdì sí àwọn gáàsì tó ń gbé chlorine àti oxidizing, tó ń dènà ìkọlù ògiri tàbí àtúntò rẹ̀.
Àwọn àṣàyàn sísanra pàtó fún agbègbè láti ṣe ìwọ̀n ìdènà ìpalára àti ìdáhùn ooru.

Àǹfààní Àpapọ̀: ara SiC ti o lagbara n pese agbara eto ati gbigbe ooru, lakoko ti ipele CVD ṣe idaniloju mimọ ati resistance ipata fun igbẹkẹle ati iṣelọpọ ti o pọju.

Àwọn Àfojúsùn Ìṣiṣẹ́ Pàtàkì

Iwọn otutu lilo nigbagbogbo:≤ 1250 °C
Àwọn ohun àìmọ́ tó pọ̀ nínú ìpìlẹ̀:< 300 ppm
Àwọn ohun àìmọ́ ojú CVD-SiC:< 5 ppm
Àwọn ìfaradà ìwọ̀n: OD ±0.3–0.5 mm; ìsopọ̀mọ́ra ≤ 0.3 mm/m (ó lè ṣòro jù bẹ́ẹ̀ lọ)
Àìlágbára ògiri inú: Ra ≤ 0.8–1.6 µm (ìparí rẹ̀ tí a fi dídán tàbí tí ó sún mọ́ dígí jẹ́ àṣàyàn)
Ìwọ̀n jíjò èéfín èéfín: ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
Ìfaradà ooru-ìpayà: ó yege gigun kẹkẹ gbígbóná/tútù tí a ń tún ṣe láìsí ìfọ́ tàbí ìfọ́
Àkójọpọ̀ yàrá mímọ́: ISO Class 5–6 pẹ̀lú àwọn ìpele ìyókù patiku/irin-ion tí a fọwọ́ sí

Àwọn ètò àti àwọn àṣàyàn

Jọ́mátìrì: OD 50–400 mm (tóbi ju bí a ṣe ń ṣe àyẹ̀wò lọ) pẹ̀lú ìkọ́lé gígùn kan ṣoṣo; fífẹ̀ ògiri tí a ṣe àtúnṣe fún agbára ẹ̀rọ, ìwúwo, àti ìṣàn ooru.
Àwọn àpẹẹrẹ ìparíàwọn flanges, bell-mouth, bayonet, àwọn òrùka tí a lè rí, àwọn ihò O-ring, àti àwọn ibùdó ìfàsẹ́yìn tàbí ìfúnpá tí a ṣe àdáni.
Àwọn ibùdó ìṣiṣẹ́: àwọn ohun èlò ìfọwọ́sowọ́pọ̀ thermocouple, àwọn ìjókòó aláwòrán, àwọn ọ̀nà ìfàsẹ́yìn gaasi—gbogbo wọn ni a ṣe fún iṣẹ́ tí ó ní iwọ̀n otútù gíga, tí ó sì lè má jẹ́ kí omi jò mọ́.
Àwọn ètò ìbòrí: ogiri inu (aiyipada), ogiri ita, tabi ibora kikun; aabo ti a fojusi tabi sisanra ti a ṣe iwọn fun awọn agbegbe ti o ni ipa giga.
Ìtọ́jú àti ìmọ́tótó ojú ilẹ̀: awọn ipele roughness pupọ, mimọ ultrasonic/DI, ati awọn ilana yan/gbẹ ti aṣa.
Àwọn ẹ̀yà ara ẹ̀rọ: àwọn fèrèsé graphite/seramiki/irin, èdìdì, ibi tí àwọn ohun èlò wà, àwọn àpò ìtọ́jú, àti àwọn àpótí ìpamọ́.

Afiwe Iṣe-ṣiṣe

Mẹ́tírìkì	Ọpọn SiC	Ọpọn Quartz	Púùpù Aluminu	Ọpọn Gráfítì
Agbara itusilẹ ooru	Gíga, aṣọ ìbora	Kekere	Kekere	Gíga
Agbára/ìgbóná gíga	O tayọ	Dáradára	Ó dára	Ó dára (ó ní ìmọ̀lára oxidation)
Ìyàrá gbígbóná	O tayọ	Aláìlera	Díẹ̀díẹ̀	O tayọ
Ìmọ́tótó / àwọn ion irin	O tayọ (kekere)	Díẹ̀díẹ̀	Díẹ̀díẹ̀	Àwọn aláìní
Ìfàmọ́ra àti Ìmọ̀-ẹ̀rọ-ìkẹ́míkà	O tayọ	Dáradára	Ó dára	Díẹ̀ (ó ń ṣe oxidizes)
Iye owo vs. igbesi aye iṣẹ	Ìgbésí ayé àárín / gígùn	Kekere / kukuru	Alabọde / Alabọde	Aarin / Ayika ni opin

Àwọn Ìbéèrè Tí A Ń Béèrè Lóòrèkóòrè (FAQ)

Ìbéèrè 1. Kí ló dé tí o fi yan ara SiC monolithic tí a tẹ̀ jáde pẹ̀lú 3D?
A. Ó mú àwọn ìsopọ̀ àti ìgbálẹ̀ tí ó lè jò tàbí kí ó kó ìdààmú jọ kúrò, ó sì ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn geometries onípele pẹ̀lú ìṣedéédé ìwọ̀n tí ó dúró ṣinṣin.

Ibeere 2: Njẹ SiC ko ni agbara lati koju awọn gaasi ti o ni chlorine?
A. Bẹ́ẹ̀ni. CVD-SiC kò lágbára rárá láàárín ìwọ̀n otútù àti ìwọ̀n ìfúnpá tí a sọ. Fún àwọn agbègbè tí ó ní ipa gíga, a gbani nímọ̀ràn láti lo àwọn ìbòrí tí ó nípọn tí a fi sí àyíká àti àwọn ètò ìfọ́/ẹ̀fúùfù tí ó lágbára.

Q3. Báwo ló ṣe ń sàn ju àwọn ọ̀pọ́ quartz lọ?
A. SiC n pese igbesi aye iṣẹ gigun, iṣọkan iwọn otutu to dara julọ, idoti awọn ohun elo/irin-ion kekere, ati TCO ti o dara si - paapaa ju ~900 °C lọ tabi ninu awọn afefe oxidizing/chlorine ti a fi chlorine kun.

Q4. Ṣé ọ̀pá náà lè kojú ìgbóná kíákíá?
A. Bẹ́ẹ̀ni, tí a bá tẹ̀lé ìlànà ΔT tó pọ̀jù àti ìwọ̀n rampu. Sísopọ̀ ara gíga-κ SiC pẹ̀lú ìpele CVD tín-ínrín ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ìyípadà ooru kíákíá.

Ibeere 5. Nigbawo ni a nilo rirọpo?
A. Rọpo ọpọn naa ti o ba ri awọn fifọ flange tabi eti, awọn ihò ti a fi bo tabi fifa, awọn oṣuwọn jijo ti o pọ si, gbigbe iwọn otutu ti o pọju, tabi ipilẹṣẹ awọn ohun elo ti ko dara.

Nipa re

XKH jẹ́ amọ̀jọ̀gbọ́n nínú ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga, ìṣẹ̀dá, àti títà àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì optíkì pàtàkì àti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì tuntun. Àwọn ọjà wa ń ṣiṣẹ́ fún ẹ̀rọ itanna optíkì, ẹ̀rọ itanna oníbàárà, àti àwọn ológun. A ń pèsè àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ Sapphire optíkì, àwọn ìbòrí lẹ́ǹsì fóònù alágbéká, àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ sémíkà, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, àti àwọn wafers crystal semiconductor. Pẹ̀lú ìmọ̀ tó ní ìmọ̀ àti àwọn ohun èlò tó ti pẹ́, a tayọ nínú ṣíṣe àwọn ohun èlò tí kì í ṣe déédé, a ń gbìyànjú láti jẹ́ ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga tó ń lo ohun èlò optoelectronic.